반응 스퍼터링법으로 제조한 $Y_2O_3$ 박막의 잔류응력과 성장 방향성
(Residual Stress and Growth Orientation in $Y_2O_3$ Thin Films Deposited by Reactive Sputtering)
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- 한국세라믹학회지
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- 제32권8호
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- pp.950-956
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- 1995