Chemical-Mechanical Polishing (CMP) refers to a material removal process done by rubbing a work piece against a polishing pad under load in the presence of chemically active, abrasive containing slurry. CMP process is a combination of chemical dissolution and mechanical action. The mechanical action of CMP involves tribology. The liquid slurry is trapped between the wafer(work piece) and pad(tooling) forming a lubricating film. For the first step to understand material removal rate of the CMP process, the lubricational analyses were done with commercial 100mm diameter silicon wafers to get nominal clearance of the slurry film, roll and pitch angle at the steady state. For this purpose, we calculate slurry pressure, resultant forces and moments at the steady state in the range of typical industrial polishing conditions.
Chemical-Mechanical Polishing (CMP) refers to a material removal process done by rubbing a work piece against a polishing pad under load in the presence of chemically active, abrasive containing slurry. CU process is a combination of chemical dissolution and mechanical action. The mechanical action of CMP involves tribology. The liquid slurry is trapped between the wafer (work piece) and pad (tooling) forming a lubricating film. For the first step to understand material removal rate of the CMP process, the lubricational analyses were done with commercial 100mm diameter silicon wafers to get nominal clearance of the slurry film, roll and pitch angle at the steady state. For this purpose, we calculate slurry pressure, resultant forces and moments at the steady state in the range of typical industrial polishing conditions.
In case of hollow cylinder extrusion using porthole die, the effects of extrusion parameters-temperature, the speed of extrusion, the shape of the die and mandrel-on metal flow in porthole die extrusion of aluminum have been investigated. However, there have been few studies about condenser tube extruded by porthole die. This study was designed to evaluate metal flow, welding pressure, extrusion load, tendency of mandrel deflection according to variation of chamber length. in porthole die. Estimation was carried out using finite element method. Porthole die is analyzed in as non-steady state. Analytical results provide useful information the optimal design of porthole die.
The object of the present work is the numerical analysis of the computer hard disk slider. The pressure between slider and disk surfaces is calculated using the Boundary Fitted Coordinate System and Divergence Formulation for the nonlinear Reynolds' equation solution. The optimization scheme is applied to search for the steady state position of the slider. The simplified method is given for the case of the fixed inclined pad. The film thickness ratios and pitching and rolling angles are considered as alternative choice of the slider's coordinates. The behavior of the objective function for the Negative Pressure slider is studied in details. Methods of conjugate directions and feasible directions are applied.
This paper presents the results of 3-D analysis on steady state flow in the region where the leakage in a cable tunnel is occurred due to high excess ground water pressure. In numerical modeling, a relief well is selected as a method of reduction in water pressure at the surrounding region of the cable tunnel. The distribution of ground water level after dewatering by relief wells is analyzed, Results show that the amount of dewatering level in the layer of hard rock is about 4.2∼8.6m, and that in the layer of fracture zone is about 5.8∼8.2m. The predicted settlement at the cable tunnel due to the increase of effective stress by dewatering is 0.3mm.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제20권5호
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pp.58-67
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1996
In the present study, the pressure distribution, wall shear stress distribution and friction factor of developing turbulent pulsating flows are investigated theoretically and experimentally in the entrance region of a square duct. The pressure distribution for turbulent pulsating flows are in good agreement with the theoretical values. The time-averaged pressure gradients of the turbulent pulsating flows show the same tendency as those of turbulent steady flows as the time-averged Reynolds number $(Re_{ta})$ increase. Mean shear stresses in the turbulent pulsating flow increase more in the inlet flow region than in the fully developed flow region and approach to almost constant value in the fully developed flow region. In the turbulent pulsating flow, the friction factor of the quasi-steady state flow $({\lambda}_{q, tu})$ follow friction factor's law in turbulent steady flow. The entrance length of the turbulent pulsating flow is not influenced by the time-averaged Reynolds number $(Re_{ta})$ and it is about 40 times as large as the hydraulic diameter.
International Journal of Fluid Machinery and Systems
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제4권1호
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pp.85-96
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2011
Steady state computations are routinely used by design engineers to evaluate and compare losses in hydraulic components. In the case of the draft tube diffuser, however, experiments have shown that while a significant number of operating conditions can adequately be evaluated using steady state computations, a few operating conditions require unsteady simulations to accurately evaluate losses. This paper presents a study that assesses the predictive capacity of a combination of steady and unsteady RANS numerical computations to predict draft tube losses over the complete range of operation of a Francis turbine. For the prediction of the draft tube performance using k-${\varepsilon}$ turbulence model, a methodology has been proposed to average global performance indicators of steady flow computations such as the pressure recovery factor over an adequate number of periods to obtain correct results. The methodology will be validated using two distinct flow solvers, CFX and OpenFOAM, and through a systematic comparison with experimental results obtained on the FLINDT model draft tube.
When the heat release and acoustic pressure fluctuations are generated in the combustor by irregular combustion, these fluctuations affect the mass flow rate of the propellants injected through the injectors. Also, the variations of the mass flow rate by these fluctuations again bring about irregular combustion and furthermore that is related with combustion instability. Therefore, it is very important to identify the mass variation for the pressure fluctuation on the injector and to investigate its transfer function. So, we first have studied quantifying the variation of mass flow rate generated in simplex swirl injector by injection pressure fluctuation. To acquire the transient mass flow rate in orifice with time, we have tried to measure of the flow axial velocity and liquid film thickness in orifice. The axial velocity is acquired through theoretical approach after measuring the pressure in orifice and the flow area in the orifice is measured by electric conductance method. As results, mass flow rate calculated by axial velocity and liquid film thickness measuring in orifice accorded with mass flow rate acquired by direct measuring method in the small error range within 1 percents in steady state and within 6 percents as average mass flow rate in pulsated state. Hence this method can be used to measure the mass flow rate not only in steady state but also in unsteady state because the mass flow rate in the orifice can acquire with time and this method shows very high accuracy based on the experimental results.
KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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제2C권5호
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pp.246-252
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2002
Two-dimensional steady state simulations of planar type radio frequency inductively coupled plasma (RFICP) have been performed. The characteristics of RFICP were investigated in terms of power transfer efficiency, equivalent circuit analysis, spatial distribution of plasma density and electron temperature. Plasma density and electron temperature were determined from the equations of ambipolar diffusion and energy conservation. Joule heating, ionization, excitation and elastic collision loss were included as the source terms of the electron energy equation. The electromagnetic field was calculated from the vector potential formulation of ampere's law. The peak electron temperature decreases from about 4eV to 2eV as pressure increases from 5 mTorr to 100 mTorr. The peak density increases with increasing pressure. Electron temperatures at the center of the chamber are almost independent of input power and electron densities linearly increase with power level. The results agree well with theoretical analysis and experimental results. A single turn, edge feeding antenna configuration shows better density uniformity than a four-turn antenna system at relatively low pressure conditions. The thickness of the dielectric window should be minimized to reduce power loss. The equivalent resistance of the system increases with both power and pressure, which reflects the improvement of power transfer efficiency.
In this paper, a pressure control type ratio control valve(RCV) is designed for a metal belt CVT. Steady state and transient characteristics of the pressure control CVT are investigated by simulations and experiments. In addition, P-line is proposed to predict the shift performance. It is found that the bigger the pressure margin, the faster the shift response. It is expected that the P-line can be used in design of the RCV to meet the desired shift performance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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