• 제목/요약/키워드: Spectrum Charge

검색결과 174건 처리시간 0.027초

전하트랩형 NVSM의 게이트 유전막을 위한 질화산화막의 재산화특성에 관한 연구 (Characteristics of reoxidation of nitried oxide for gate dielectric of charge trapping NVSM)

  • 이상은;한태현;서광열
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제11권5호
    • /
    • pp.224-230
    • /
    • 2001
  • 초박막 게이트 유전막 및 비휘발성 기억소자의 게이트 유전막으로 연구되고 있는 $NO/N_2O$ 열처리된 재산화 질화산 화막의 특성을 D-SIMS(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry), ToF-SIMS(Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry), AES(Auger Electron Spectroscopy)으로 조사하였다. 시료는 초기산화막 공정후에 NO 및 $N_2O$ 열처리를 수행하였으며, 다시 재산화공정을 통하여 질화산화막내 질소의 재분포를 형성토록하였다. 재산화에 있어서 습식산화시 공정에 사용된 수소에 의한 영향으로 계면 근처에 축적된 질소가 Si≡N 결합을 쉽게 이탈함에 따라 방출이 촉진되어 건식산화에 비하여 질소의 감소가 더욱 두드러지게 나타났다. 재산화에 따른 질화산화막내 질소의 거동은 외부로의 방출과 기판으로의 확산이 동시에 나타난다. 재산화후 질화산화막내 축적된 질소의 결합종을 분석한 결과, 초기산화막 계면근처의 질소는 SiON의 결합종이 주도적으로 나타나는 반면 재산화 후 새롭게 형성된 $Si-SiO_2$ 계면근처로 확산한 질소는 $Si_2NO$ 결합종이 주로 검출된다. SiON에 의한 질소의 미결합손과 $Si_2$NO에 의한 실리콘의 미겨랍손은 기억특성에 기여하는 결함을 포함하기 때문에 재산화 질화산화막내 존재하는 SiON과 $Si_2$NO 결합종은 모두 전하트랩의 기원과 관련된 결합상태로 예상된다.

  • PDF

진동형 각속도 검출 센서를 위한 애널로그 신호처리 ASIC의 구현 (Implementation of Analog Signal Processing ASIC for Vibratory Angular Velocity Detection Sensor)

  • 김청월;이병렬;이상우;최준혁
    • 대한전자공학회논문지SD
    • /
    • 제40권4호
    • /
    • pp.65-73
    • /
    • 2003
  • 본 논문은 진동형 각속도 검출 센서로부터 각속도 신호를 검출하는 애널로그 신호처리 ASIC의 구현에 관한 것이다. 각속도 검출 센서의 출력은 구조적으로 콘덴서의 용량변화로 나타나므로 이를 검출하기 위하여 전하 증폭기를 이용하였으며, 센서의 구동에 필요한 자체발진회로는 각속도 검출 센서의 공진 특성을 이용한 정현파 발진회로로 구현하였다. 특히 센서의 제조 공정으로 인한 특성 변화나 온도 변화와 같은 외부 요인에 의한 자체발진특성의 열화를 방지하기 위하여 자동이득조절회로를 사용하였다. 진동형 각속도 검출 센서의 동작특성에 의하여 진폭변조 형태로 나타나는 각속도 신호를 검출하기 위하여 동기검파회로를 사용하였다. 동기검파회로에서는 반송파의 크기에 따라 검파신호의 크기가 달라지는 현상을 방지하기 위하여 스위칭 방식의 곱셈회로를 사용하였다. 설계된 칩은 0.5㎛ CMOS 공정으로 구현하였으며, 1.2㎜×1㎜의 칩 크기로 제작되었다. 실험 결과 3V의 전원전압에서 3.6mA의 전류를 소비하였으며, 칩과 각속도 센서를 결합한 정상동작상태에서 직류에서 50㎐까지 잡음 스펙트럼 밀도는 -95 dBrms/√㎐에서 -100 dBrms/√㎐ 사이에 존재하였다.

FIB를 이용한 다이아몬드 기판 위의 나노급 미세 패턴의 형상 가공 (Nano-scale Patterning on Diamond substrates using an FIB)

  • 송오성;김종률
    • 한국산학기술학회논문지
    • /
    • 제7권6호
    • /
    • pp.1047-1055
    • /
    • 2006
  • 필드이온빔(FIB) 가공기를 써서 초고강도의 벌크다이아몬드를 가공하기 위해 이온 소오스의 종류와 가공 조건에 따른 나노급 미세 선폭의 최적조건을 알아보고 이에 근거한 2차원적인 텍스트의 가공과 3차원적인 박막요소의 가공을 시도하였다. 다이아몬드 기판과 실리콘 기판을 Ga과 $H_2O$ 소오스를 이용하는 FIB를 써서 30 kV 빔 전류를 10 pA $\sim$ 5 nA로 변화시키면서 패터닝하고 이때 각각 20 ${\mu}m$ 길이로 생성되는 선형 패턴의 선폭, 깊이, 에치속도, 에치형상, 깊이선폭비 (aspect ratio)를 확인하였다. 다이아몬드도 실리콘 기판과 마찬가지로 나노급 패턴의 형성이 가능하였다. $H_2O$ 소오스를 채용한 경우가 에치 깊이가 2배 정도 증가하였으며 동일한 가공 조건에서는 실리콘에 비해 다이아몬드의 에치 선폭이 감소는 경향이 있었다. 특히 다이아몬드는 절연성 때문에 차지가 축적되어 가공 중 이온빔이 불안정해지는 문제가 있었으나 차지 중화 모드를 이용하여 성공적으로 sub-100 nm급 선폭의 미세 가공이 가능하였다. 확인된 선폭가공 조건에 근거하여 2차원적으로 0.3carat의 보석용 다이아몬드의 거들부에 300여개의 글자를 FIB를 활용하여 선폭 240 nm정도로 명확히 기록하는 것이 가능하였다. $Ga^+$이온과 30 eV-30 pA로 조건에서 비교적 넓은 선폭과 Z축 depth 고정범위에서 많은 개인정보의 기록이 영구적으로 가능하였으며 전자현미경으로 재생이 가능하였다. 3차원적으로 두께 $1{\mu}m$의 박막요소를 FIB가공과 백금 용접으로 떼어낸 후 FIB가공으로 두께가 100 nm가 되도록 한 후 투과전자현미경을 이용하여 성분 분석을 하는 것이 성공적으로 수행될 수 있었다.

  • PDF

CaMoO4:RE3+ (RE=Eu, Dy) 형광체의 제조와 광학 특성 (Synthesis and Optical Properties of CaMoO4:RE3+ (RE=Eu, Dy) Phosphors)

  • 조신호
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제22권2호
    • /
    • pp.79-85
    • /
    • 2013
  • 희토류 이온 $Eu^{3+}$$Dy^{3+}$가 각각 도핑된 $CaMoO_4$ 광체 분말을 고상반응법으로 합성하였다. 모든 형광체 분말의 결정 구조는 활성제 이온의 종류와 농도비에 관계없이 주 회절 피크(112)를 갖는 정방 정계이었다. $Eu^{3+}$ 이온이 도핑된 형광체의 경우에, $Eu^{3+}$ 이온의 농도가 0.01~0.10 mol 영역에서 결정 입자의 크기는 전반적으로 증가하였고, 비교적 균일한 크기 분포를 가지면서 조약돌 형태를 나타내었으며, 흡광 스펙트럼은 311 nm를 정점으로 넓게 퍼져있는 전하 전달 밴드와 파장 영역 360~470nm에서 약한 피크를 갖는 다수의 흡수선이 관측되었으며, 주 발광 스펙트럼은 $Eu^{3+}$ 이온의 $^5D_0{\rightarrow}^7F_2$ 전이에 의한 618 nm에 피크를 갖는 강한 적색 발광이었다. $Dy^{3+}$ 이온이 도핑된 분말의 경우에, 흡광 스펙트럼은 303 nm에 피크를 갖는 전하 전달 밴드와 상대적으로 세기가 약한 다수의 $Dy^{3+}$ 이온의 전이 신호가 발생하였으며, 주 발광 스펙트럼은 $^4F_{9/2}{\rightarrow}^7H_{13/2}$ 전이에 의한 578 nm에 피크를 갖는 황색 발광 스펙트럼이 관측되었다.

족삼리(ST36) 전침 자극이 뇌파에 미치는 영향 (The Effect of Electroacupuncture at the ST36 on the Electroencephalogram)

  • 권순철;윤대식;이상룡
    • Korean Journal of Acupuncture
    • /
    • 제23권1호
    • /
    • pp.15-36
    • /
    • 2006
  • Objectives . The aim of this study was to examine the effect of electroacupuncture(EA) at the ST36 on normal humans by using power spectral analysis. Methods : EEG(Electroencephalogram) power spectral exhibits site-specific and state-related differences in specific frequency bands. In this study, power spectrum was used as a measure of complexity. 32 channel EEG study was carried out in 12 subjects (10 males; age=26.7 years old, 2females; age=28 years old). Results ; In ${\alpha}$ (alpha) band, the power values at Fp2, F7, F3, Fz, FTC1, FTC2, T3, C3, Cz, C4, TT1, TCP1, CP1, CP2,T5, P3, Pz, P4, Po1, Po2, O1, Oz,O2 channels(p<0.05) during the ST36-acupoint treatment were significantly increased. In ${\beta}$ (beta) band, the power values at Fp2, F7, F3, Fz, F4, F8, FTC1, FTC2, T3, C3, Cz, C4, TT1, TCP1, CP1, CP2, T5, P3, Pz, P4, Po1, Po2, O1, Oz, O2 channels(p<0.05) during the ST36-acupoint treatment were significantly decreased. In ${\delta}$ (delta) band, the power values at F7, Fz, T3, C3, TT1, TCP1, CP1, CP2, T5, P3, Pz,T6, Po1, PO2,O1, Oz, O2 channels(p<0.05) during the ST36-acupoint treatment were significantly decreased. In ${\theta}$(theta) band, the power values at F7, Fz, FTC1, T3, TCP1, CP2, TCP2, Po1, Po2 channels(p<0.05) during the ST36-acupoint treatment were significantly decreased. ${\alpha}$/${\beta}$ values at Cz, T5, O1, Oz, O2 channels during the ST36-acupoint treatment were increased. ${\beta}$/${\theta}$ values at Fpl, F7, F3, Fz, F4, F8, FTC1, FTC2, T3, C3, C4, T4, TT1, TCP1, TCP2, TT2, P3, P4, T6, Pol channels during the ST36-acupoint treatment were increased. Conclusions : This results suggest that Electroacupuncture at the ST36 mostly affects the charge on alpha(23 channels), beta(25 channels) bands.

  • PDF

Photoluminescent and low voltage cathodoluminescent properties of $LaNbO_4$ : X (X = Bi, Eu) phosphors ([ $LaNbO_4$ ] : X (X = Bi, Eu)형광체의 발광 및 저 전압 음극선 발광 특성)

  • 온지원;김유혁
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제16권1호
    • /
    • pp.32-37
    • /
    • 2006
  • 희토류계 niobates인 $LaNbO_4$(Ln : Y, La, Gd)는 자체 발광형으로 $NbO^{3-}_4$ 이온의 전하 이동에 의한 넓은 띠의 청색 발광 스펙트럼을 410nm에서 나타낸다. 본 연구에서는 새로운 FED용 청색 및 적색 형광체를 개발하기 위하여 $LaNbO_4$ :X (X = Bi, Eu) 형광체를 합성하였으며, $1250^{\circ}C$에서 2시간 소성한 후 $1400^{\circ}C$에서 1시간 소성하였을 때 최대 발광피크를 얻을 수 있었다. 254nm의 여기하에서 $LaNbO_4$ : Bi는 $420\~450nm$ 영역에서 강한 청색 발광 스펙트럼을 나타내며 첨가된 $Bi^{3+}$ 이온 농도가 $1mol\%$일 때 최대 발광세기를 얻었다 $LaNbO_4$ : Eu의 경우는 첨가된 $Eu^{3+}$ 이온 농도가 $10mol\%$일 때 약 610nm에서 최대 적색 발광 스펙트럼을 나타내고 있다. $Eu^{3+}$ 이온 농도가 $10mol\%$ 이하에서는 $415\~460nm$, $530\~560nm$$570\~620nm$ 영역에서 피크가 관측되고 있다. 이들 형광체의 음극선 발광특성은 빛 발광 특성과 유사한 경향을 보였다.

진공 증착법에 의하여 제작한 Europium complex 유기 박막 전기발광소자의 광학적.전기적 특성에 관한 연구. (Studies on the Optical and the Electrical Characterization of Organic Electroluminescence Devices of Europium Complex Fabricated with PVD(Physical Vopor Deposition) Technique)

  • 이명호;이한성;김영관;김정수
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
    • /
    • 제48권5호
    • /
    • pp.285-295
    • /
    • 1999
  • Electroluminescent(EL) devices based on organic materials have been of great interest due to their possible applications for large-area flat-panel displays. They are attractive because of their capability of multi-color emission, and low operation voltage. An approach to realize such device characteristics is to use active layers of lanthanide complexes with their inherent extremely sharp emission bands in stead of commonly known organic dyes. In general, organic molecular compounds show emission due to their $\pi$-$\pi*$ transitions resulting in luminescence bandwidths of about 80 to 100nm. Spin statistic estimations lead to an internal quantum efficiency of dye-based EL devices limited to 25%. On the contrary, the fluorescence of lanthanide complexes is based on an intramolecular energy transfer from the triplet of the organic ligand to the 4f energy states of the ion. Therefore, theoretical internal quantum efficiency is principally not limited. In this study, Powders of TPD, $Eu(TTA)_3(phen) and AlQ_3$ in a boat were subsequently heated to their sublimation temperatures to obtain the growth rates of 0.2~0.3nm/s. Organic electrolumnescent devices(OELD) with a structure of $glass substrate/ITO/Eu(TTA)_3(phen)/AI, glass substrate/ITO/TPD/Eu(TTA)_3(phen)/AI and glass substrate/ITO/TPD/Eu(TTA)_3(phen)/AIQ_3AI$ structures were fabricated by vacuum evaporation method, where aromatic diamine(TPD) was used as a hole transporting material, $Eu(TTA)_3(phen)$ as an emitting material, and Tris(8-hydroxyquinoline)Aluminum$(AlQ_3)$ as an electron transporting layer. Electroluminescent(EL) and current density-voltage(J-V) characteristics of these OELDs with various thickness of $Eu(TTA)_3(phen)$ layer were investigated. The triple-layer structure devices show the red EL spectrum at the wavelength of 613nm, which is almost the same as the photoluminescent(PL) spectrum of $Eu(TTA)_3(phen)$.It was found from the J-V characteristics of these devices that the current density is not dependent on the applied field, but on the electric field.

  • PDF

Method for Screening and Confirming Meldonium in Human Urine by High-Resolution Mass Spectrometry and Identification of Endogenous Interferences for Anti-Doping Testing

  • Kim, Yongseok;Jeong, Dawon;Min, Hophil;Sung, Changmin;Park, Ju-hyung;Son, Junghyun;Lee, Kang Mi;Kim, Ho Jun;Lee, Jaeick;Kwon, Oh-Seung;Kim, Ki Hun
    • Mass Spectrometry Letters
    • /
    • 제8권2호
    • /
    • pp.39-43
    • /
    • 2017
  • Meldonium is a drug for treating ischemia by expanding the arteries but it can also enhance the performance of sports players. The World Anti-Doping Agency (WADA) has included it in the list of prohibited substances since 2016. Meldonium is one of the challenging substances for anti-doping testing because it is difficult to recover by general liquid-liquid or solid phase extraction due to its permanent charge and high polarity. Therefore, high-performance liquid chromatography (HPLC) is currently used by injecting a diluted urine sample (known as the "dilute-and-shoot" strategy). There is no loss of target compounds in the extraction/cleanup procedure but its high matrix effect could interfere in their separation or detection from the endogenous urinary compounds. We report a single method using high-resolution mass spectrometry that can be used for both screening and confirmation, which follows the "dilute-and-shoot" strategy. In this method, the endogenous compounds' interfering peaks in the mass spectrum are separated at a high resolution of FWHM 140,000, and the results are suitable for substance detection following the WADA guidelines. The interferences in the obtained mass spectrum of the urine matrix are identified as acetylcholine, lysine, and glutamine by further analysis and database searching. Validation of the method is performed in routine anti-doping testing, and the limit of detection is 50 ng/mL. This method uses simple sample preparation and a general reverse phase HPLC column, and it can be easily applied to other substances.

동양의 연월일시 궁위 인식에 관한 고찰 (A Study on the Gungwi Perception of Year, Month, Day and Hour in the East)

  • 신순옥;나혁진
    • 산업진흥연구
    • /
    • 제9권1호
    • /
    • pp.167-177
    • /
    • 2024
  • 본 논문의 목적은 궁위 인식에 대한 학술적 지위를 조금이나마 회복시켜 보는 데 목적이 있다. 근묘화실로 비유되는 궁위론, 즉 연월일시의 상징성은 단순한 통변의 기술이 아니다. 사주의 가장 근간을 이루는 명리 원리에 해당한다는 점을 인식하고 그 학술적 연구가 앞으로 더 많이 이루어져야 한다는 취지에서 연구하였다. 사주를 구성하는 내재적 사상은 음양오행이며, 기록하는 글자는 십간십이지이고, 시공의 자리를 담당하는 요소는 천간, 지지 그리고 4개의 기둥으로 엮인 궁위(宮位)이다. 이번 궁위 인식에 관한 고찰을 통해 인간이 탄생하는 시점, 즉 우주의 에너지가 뇌와 온몸에 포맷되는 그 순간에 과거의 시간과 정보가 시간의 점을 통과하고 스펙트럼처럼 확산되며 미래의 시간과 행동을 이끌어 간다는 '시간의 스펙트럼' 현상을 궁위론의 근거로 제시해 보았다. 임철초가 '원형이정'을 설명하는 근거로 사용한 선・후천팔괘의 변화 포인트와 현대 우주론 중 하나인 평행이론에서 가정하고 있는 현재를 투과하고 있는 두 원뿔형의 시간 변화 혹은 왜곡이 미래의 우주에 잔상을 남긴다는 가정을 궁위론의 연역적 근거로 삼아 논의해 보았다.

창의교육에 있어 예술 활동을 통한 창의실습도서에 대한 고찰 (Contemplation of Creative Practice Book though Art Activity in Creative Education)

  • 안종혁
    • 한국콘텐츠학회논문지
    • /
    • 제12권10호
    • /
    • pp.106-115
    • /
    • 2012
  • 21세기는 창의(創意) 중심의 시대이다. 교육정책 또한 창의성을 강조하며 창의를 바탕으로 새로운 변화를 꿈꾸고 있다. 예술을 통한 창의교육은 사물의 본질을 파악하고 본인이 느낀 것을 추구하고 인지능력 향상만 가져오는 것뿐 아니라 피교육자의 창의성 개발을 촉진시키며 사물에 대한 통찰력과 기존의 것과는 다른 새로운 사유와 법칙을 만들어내는 능력을 얻게 된다. 창의교육은 가정, 학교, 지역사회, 공공기관, 사설기관 등을 통하여 실행되고 있지만 창의적 환경에 노출되는 피교육자의 수는 극히 드물다. 창의교육을 담당하고 있는 다양한 방법 중 가장 보급력이 높은 창의실습도서의 연구와 개발은 아직 미흡한 현실이다. 창의교육실습도서의 새로운 접근이 필요하며 창의교육을 범국민적인 차원으로 넓혀가려면 손쉽게 볼 수 있도록 누구나 접할 수 있는 환경을 제공할 수 있어야 한다. 이러한 측면에서 예술 활동을 통한 창의교육 실습도서에 대한 고찰을 시작하게 되었으며 널리 연구되어 다양한 방식의 창의실습도서가 저서 되었으면 한다.