이트리움 실리사이드 박막의 (100)Si 기판상에서의 방향성 성장과 미세조직의 특성
(Epitaxial growth and microstructural characterization of $YSi_2$ films on (100)Si substrate)
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- 한국결정성장학회지
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- 제7권1호
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- pp.59-69
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- 1997