• 제목/요약/키워드: Soft magnetic thin film

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전기 도금된 CoFeNi계 박막의 결정크기와 방향성이 자기특성에 미치는 영향 (The Effect of Magnetic Property According to Size and Orientation of Crystal for Electroplated Co-Fe-Ni Alloys)

  • 정원용;김현경;박창빈
    • 한국자기학회지
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    • 제16권5호
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    • pp.249-254
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    • 2006
  • CoFeNi 합금은 HDD, MEMS 분야에서 head core 재료로 쓰이는 permalloy(FeNi)합금보다 뛰어난 우수한 자기적 특성을 가진 재료로써 최근 많이 연구되어지고 있다. 전기도금된 CoFeNi합금 박막의 열처리에 따른 미세구조 변화와 결정학적 특성이 자기특성에 미치는 영향을 조사하였다. 삼원계 합금을 열처리하면 전기도금 시 결정의 크기와 결정구조의 변화가 자기특성에 영향을 미친다. 이를 조사하여 열처리를 통하여 얻어지는 CoFeNi계 박막의 자기 특성을 향상시키고자 하였고, $300{\sim}400^{\circ}C$까지 열처리를 함으로써 보자력을 최소화하고 포화자화 값을 증가시켰다. 포화자화 값의 증가는 bcc상의 생성으로 야기되는 것으로 판단된다.

Dynamic Spin Switching of Magnetic Films and Tunnel Junctions

  • Miyazaki, T.;Ando, Y.;Kubota, H.;Mizukami, Y.;Nakamura, H.
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2003년도 하계학술연구발표회 및 한.일 공동심포지엄
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    • pp.272-273
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    • 2003
  • Spin dynamics has been investigated intensively in various kinds of fields. Most popular one is an initial permeability at high frequency. Also, magnetic after-effect such as thermal fluctuation of fine magnetic particles and disaccommodation in soft magnetic materials were extensively studied in the past. When we apply an external farce with the same frequency as that of the system being examined, the system absorbs the external energy and the precession enhances. It is called resonance in general. Among the various resonances, ferromagnetic resonance (FMR) has been used as a good tool to evaluate material constants such as saturation manetization or spin damping parameter by analyzing a resonance curve. In this talk first instinctive understanding of Gilbert spin damping and spin pumping will be explained. Then, experimental data for enhancement of Gilbert damping parameter (G) evaluated from FMR spectrum and spin precession measured by a time resolved pump-probe method for Permalloy thin film will be introduced. Finally, magnetization reversal observed by air-coplanar probe will be given.

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나노결정구조 Fe-Nb-B-N 박막의 미세구조 및 자기적 특성 (The Effects of Nitrogen on Microstructure and Magnetic Properties of Nanocrystalline Fe-Nb-B-N Thin Films)

  • 박진영;서수정;노태환;김광윤;김종열;김희중
    • 한국자기학회지
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    • 제7권5호
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    • pp.250-257
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    • 1997
  • Ar+N$_{2}$ 가스분위기에서 반응성 스퍼터링법으로 제조된 Fe-Nb-B-N 박막의 미세구조 및 자기적 특성을 조사하였다. 질소첨가한 적정조성의 Fe-Nb-B-N 박막은 우수한 고주파 연자기 특성을 보였는데, 그 특성은 다음과 같다. 포화자화(4 .pi. M$_{s}$ )는 16.5 kG, 보자력(H$_{c}$)은 0.13 Oe, 1 MHz에서의 실효투자율은 약 5,000의 값을 나타내었다. 특히 실효투자율은 10 MHz까지 겨의 변화가 없었으며, 100 MHz에서도 약 2,000의 값을 보여 매우 우수한 고주파 특성을 가진 재료로 판단된다. 한편, 이러한 우수한 특성을 지닌 Fe-Nb-B-N 박막의 미세구조를 TEM으로 관찰한 결과, 적정 열처리온도인 590 .deg. C에서 열처리한 Fe-Nb-B-N 박막은 약 5 ~ 10 nm의 .alpha. -Fe phase, Nb-nitride의 석출물과 Nb-B rich 비정질상 등으로 이루어져 있음을 알 수 있었다. 반면에 N이 첨가되지 않은 Fe-Nb-B 박막의 경우에는 약 10 nm정도의 .alpha. -Fe결정립과 Nb-B rich 비정질상의 두가지 상으로 이루어져 있다. 따라서 N을 첨가한 경우에 더욱 미세한 .alpha. -Fe 결정립을 얻을 수 있음이 확인되었다. 이는 N 첨가로 인한 결정립의 미세화 효과 와 Nb-nitride 형성으로 인한 결정립 성장의 억제효과에 의한 것으로 생각된다. 따라서 Fe-Nb-B-N 박막의 우수한 연자기 특성은 결정립 미세화에 기인하는 것으로 판단된다.

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동시 스퍼터링법으로 제조된 $Ni_xFe_{100-x}$ 박막의 상변화와 자기적 특성 (Phase transformation and magnetic properties of $Ni_xFe_{100-x}$ thin films deposited by a co-sputtering)

  • 강대식;송종한;남중희;조정호;전명표
    • 한국결정성장학회지
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    • 제19권6호
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    • pp.282-287
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    • 2009
  • Si(100) wafer에 증착된 박막의 조성에 따른 결정상과 자기적 특성을 평가하고자 동시 스퍼터링법을 이용하여 다양한 조성의 박막을 제조하여 그의 상변화와 자기적 특성을 평가하였다. Fe 타겟의 인가되는 출력의 변화로 $Ni_xFe_{100-x}$(40 < x < 67)의 박막을 증착시 x < 55인 경우 BCC상으로 증착이 되었으며 $300{\sim}450^{\circ}C$에서 2시간 열처리를 한 결과 BCC에서 FCC로의 상전이가 일어나는 것을 관찰 할 수 있었으나, x < 50에서는 열처리 후에도 BCC와 FCC가 혼재하여 나타나는 것을 알 수 있었다. 상변화로 인해 $M_s$가 감소하였으나 $450^{\circ}C$에서 열처리시 상전이가 일어나지 않은 BCC상들의 입성장 및 결정화로 다시 $M_s$가 증가하였다.