DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향 (Effect of RF Superimposed DC Magnetron Sputtering on Electrical and Bending Resistances of ITO Films Deposited on PET at Low Temperature)
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- 한국표면공학회지
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- 제41권5호
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- pp.214-219
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- 2008