태양전지용 웨이퍼 제조공정에 있어 Slurry의 가격 비중은 약 68% 정도로 매우 큰 비중을 차지하고 있기 때문에, 제조비용 절감측면과 Wafering 원가혁신 및 산업폐기물 처리비용 절감효과, 환경오염 방지를 위해 Slurry의 순환 사용은 필수적이다. 기존 Slurry를 재생하는 방식은 물리적인 원심분리(데칸터) 방식을 이용한 방법을 사용하고 있으나 미분(微粉)이 남아 있어 재생품질에 한계가 있고, 대부분 액체, 100% 오일과 분리되지 않은 상태로 재생된다. 이 상태를 건조시키는 경우도 순도가 많이 떨어진다. 본 논문에서는 원심분리(데칸터) 방식과 케미컬 방식을 함께 사용하여, 태양전지 Wafering 공정에서 필수적인 Slurry를 재생함에 있어, 원심분리에 의한 재생품질의 한계를 극복할 수 있는 재생기술을 개발하였고, Slurry 재생에 대한 Total Solution을 제공하여 성능을 향상시키고 재생 회수율을 높였다.
Freestanding hydride vapor phase epitaxy grown GaN(Gallium Nitride) substrates subjected to various polishing methods were characterized for their surface and subsurface conditions, Although CMP(Chemical Mechanical Polishing) is one of the best approaches for reducing scratches and subsurface damages, the removal rate of Ga-polar surface in CMP is insignificant($0.1{\sim}0.3{\mu}m$/hr) as compared with that of N-polar surface, Therefore, conventional MP(Mechanical Polishing) is commonly used in the GaN substrate fabrication process, MP of (0001) surface of GaN has been demonstrated using diamond slurries with different abrasive sizes, Diamond abrasives of size ranging from 30nm to 100nm were dispersed in ethylene glycol solutions and mineral oil solutions, respectively. Significant change in the surface roughness ($R_a$ 0.15nm) and scratch-free surface were obtained by diamond slurry of 30nm in mean abrasive size dispersed in mineral oil solutions. However, MP process introduced subsurface damages confirmed by TEM (Transmission Electronic Microscope) and PL(Photo-Luminescence) analysis.
In this study, the mass transfer behaviors of phenanthrene, anthracene, and pyrene in soil slurry reactor (SSR) using two-liquid phase (TLP) system were investigated. The mass transfer ratio and rate of PAH in the TLP system using light paraffine oil, which has the highest solubility of PAH, were influenced by the amount of light paraffine oil and mixing speed. When the amount of light paraffine oil decreased from 15 % to 2.5 % (v/v), the mass transfer ratio of anthracene decreased significantly compared with that of phenanthrene and pyrene. As mixing speed increased, the initial mass transfer rate of PAH within 1 day was enhanced. However, each final mass transfer ratio of three PAHs after 5 day was similar irrespective of mixing speed.
The spurt vacuum pump is widely used to transfer sludge and slurry, and to control flow rate in a variety of processing fields, such as the oil, chemical, and fiber industries. The efficiency of the pump depends on the design parameters of the impeller, such as the number of blades, and the blade angle. In this study, the effect of the configuration of the impeller discharge angle of a spurt vacuum pump, which influences total head, shaft power, and efficiency, was numerically investigated using the commercial code, ANSYS CFX ver. 16.1. In addition, the performance of the pump was evaluated on the basis of the correlations between the total head, pump efficiency, and pressure distribution.
본 연구에서는 감압잔사유를 원료로 몰리브덴 계열 분산촉매와 수소를 첨가한 슬러리상 수첨분해 반응(반응온도 $425^{\circ}C$, 초기 $80^{\circ}C$ 수소압력 80 bar, 반응시간 4시간, 촉매농도 500 ppm)에 아로마틱 성분을 포함하며 각기 다른 쌍극자 모멘트를 가지는 Toluene, FCC Light Cycle Oil (LCO), Resin을 반응 초기 및 중간에 첨가하여 이때의 코크 저감효과와 아스팔텐 반응특성 변화를 살펴보았다. 실험 결과 아로마틱 유분을 첨가한 경우 코크 저감효과는 모두 유사했던 반면, 상대적으로 쌍극자 모멘트가 큰 LCO와 Resin을 첨가한 경우 아스팔텐이 가스와 말텐 성분으로 더 전환되었음을 확인하였다. 또한 반응 중간에 아로마틱 유분을 첨가한 결과 코크 저감능력에서 차이를 보이지 않았으나, LCO를 반응 2시간 지점에 첨가한 경우 오히려 코크 수율이 증가하였고 오일상 내 아스팔텐의 aromaticity 가 증가하여 상대적으로 분산되기 어려운 구조로 존재함을 알 수 있었다.
A molecularly imprinted polymer (MIP) was synthesized by radiation-induced polymerization (RIP), where the ferulic acid was used as a template molecule, 4-vinylpyridine as a monomer and ethylene glycoldimethacrylate (EGDMA) as a cross-linking monomer. The MIP was packed in a glass column using a slurry method for use in medium pressure liquid chromatography (MPLC). The MPLC column was tested for separation and purification of ferulic acid from the rice oil. When repeated three times, the MPLC separation/purification yielded the ferulic acid with the purity higher than ~99%. The chemiluminescence of the luminal (5-amino-2,3-dihydro-1,4-phtalazinedione) measured on a potato disc slide (5.0 mm thick) was enhanced in the presence of ferulic acid, while, without the ferulic acid, the chemiluminescence of luminol on the potato slice disc was not observed, which suggests the ferulic acid obtained from the rice oil can be useful for immunoassay.
실리콘 주괴(ingot)에서 실리콘 웨이퍼를 제조할 때 사용되는 슬러리는 SiC 연마재와 절삭유를 포함한다. 실리콘 웨이퍼 제조 시 생긴 폐슬러지에서 SiC 연마재와 절삭유는 분리되어 재활용된다. 본 연구는 폐슬러지 Si 분말에 C분말을 혼합하여 SiC를 합성하는 것에 관한 것이다. 다양한 크기의 SiC 분말과 휘스커가 제조되었으며 기존의 휘스커의 크기보다 작은 나노미터 크기의 휘스커도 발생하였다. 일반적으로 휘스커는 금속 불순물을 첨가하여 제조되는데, 본 연구에서 나노미터 크기의 휘스커 발생은 폐슬러지에 첨가되어있는 미세한 크기의 금속불순물의 영향으로 판단된다.
Organochlorine pesticide residues continue to remain as a major environmental threat worldwide. Lindane is an organochlorine pesticide widely used as an acaricide in medicine and agriculture. In the present study, a new lindane-degrading yeast strain, Pseudozyma VITJzN01, was identified as a copious producer of glycolipid biosurfactant. The glycolipid structure and type were elucidated by FTIR, NMR spectroscopy, and GC-MS analysis. The surface activity and stability of the glycolipid was analyzed. The glycolipids, characterized as mannosylerythritol lipids (MELs), exhibited excellent surface active properties and the surface tension of water was reduced to 29 mN/m. The glycolipid was stable over a wide range of pH, temperature, and salinity, showing a very low CMC of 25 mg/l. Bio-microemulsion of olive oil-in-water (O/W) was prepared using the purified biosurfactant without addition of any synthetic cosurfactants, for lindane solubilization and enhanced degradation assay in liquid and soil slurry. The O/W bio-microemulsions enhanced the solubility of lindane up to 40-folds. Degradation of lindane (700 mg/l) by VITJzN01 in liquid medium amended with bio-microemulsions was found to be enhanced by 36% in 2 days, compared with degradation in 12 days in the absence of bio-microemulsions. Lindane-spiked soil slurry incubated with bio-microemulsions also showed 20-40% enhanced degradation compared with the treatment with glycolipids or yeast alone. This is the first report on lindane degradation by Pseudozyma sp., and application of bio-microemulsions for enhanced lindane degradation. MEL-stabilized bio-microemulsions can serve as a potential tool for enhanced remediation of diverse lindane-contaminated environments.
다이아몬드 입자를 전착한 와이어를 사용하여 실리콘 잉곳을 슬라이싱 하는 방식은 기존의 슬러리를 사용하는 방식과 달리 절단매체인 실리콘카바이드를 사용하지 않기 때문에 웨이퍼링 후에 발생하는 슬러지에 함유되어 있는 고형분의 대부분은 잉곳으로부터 분리되어 나온 실리콘 성분으로 구성되어 있다. 따라서 슬러지에 함유되어 있는 액상성분만 제거하여도 어렵지 않게 90% 이상의 순도를 가지는 실리콘을 회수할 수 있는 이점이 있다. 본 연구에서 다이아몬드 와이어 쏘잉 방식에서 배출된 슬러지로부터 오일 성분을 제거하여 고품위 실리콘 분말을 회수하였으며, 성형 및 소결공정을 통하여 실리콘에 포함되어 있는 유기물을 포함한 금속불순물을 제거하고, 미분체 실리콘의 산화가 용이한 점을 활용하여 열산화 공정으로 3N급 순도의 실리카를 제조하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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