Investigation of Scratch Mechanism on Thin-Film Surface in CMP using Slurry with Nano-Size Abrasive (CMP 공정에서 나노 연마입자에 의한 박막표면 스크래치 발생 원인 규명에 관한 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2010.05a
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- pp.301-302
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- 2010