The Numerical Simulation of Ultrafine $SiO_2$ Particle Fabrication and Deposition by Using the Tube Furnace Reactor
(튜브형 가열로 반응기를 이용한 초미립 $SiO_2$ 입자의 제조 및 증착에 대한 수치모사)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.32 no.11
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- pp.1246-1254
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- 1995