• 제목/요약/키워드: Si$_x$$N_y$

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Barrier층을 갖는 Soda lime glass 기판위에 증착된 ITO박막의 Annealing 조건에 따른 영향 (Effects of Annealing Condition on Properties of ITO Thin Films Deposited on Soda Lime Glass having Barrier Layers)

  • 이정민;최병현;지미정;박정호;주병권
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.66-66
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    • 2008
  • Most of the properties of ITO films depend on their substrate nature, deposition techniques and ITO film composition. For the display panel application, it is normally deposited on the glass substrate which has high strain point (>575 degree) and must be deposited at a temperature higher than $250^{\circ}C$ and then annealed at a temperature higher than $300^{\circ}C$ in order to high optical transmittance in the visible region, low reactivity and chemical duration. But the high strain point glass (HSPG) used as FPDs is blocking popularization of large sizes FPDs because it is more expensive than a soda lime glass (SLG). If the SLG could be used as substrate for FPDs, then diffusion of Na ion from the substrate occurs into the ITO films during annealing or heat treatment on manufacturing process and it affects the properties. Therefore proper care should be followed to minimize Na ion diffusion. In this study, we investigate the electrical, optical and structural properties of ITO films deposited on the SLG and the Asahi glass(PD200) substrate by rf magnetron sputtering using a ceramic target ($In_2O_3:SnO_2$, 90:10wt.%). These films were annealed in $N_2$ and air atmosphere at $400^{\circ}C$ for 20min, 1hr, and 2hrs. ITO films deposited on the SLG show a high electrical resistivity and structural defect as compared with those deposited on the PD200 due to the Na ion from the SLG on diffuse to the ITO film by annealing. However these properties can be improved by introducing a barrier layer of $SiO_2$ or $Al_2O_3$ between ITO film and the SLG substrate. The characteristics of films were examined by the 4-point probe, FE-SEM, UV-VIS spectrometer, and X-ray diffraction. SIMS analysis confirmed that barrier layer inhibited Na ion diffusion from the SLG.

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영양-울진 지역 선캠브리아기 변성암류의 변형작용사 (Deformation History of Precambrian Metamorphic Rocks in the Yeongyang-Uljin Area, Korea)

  • 강지훈;김남훈;박계헌;송용선;옥수석
    • 암석학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.179-190
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    • 2004
  • 소백산육괴의 동부에 위치하는 영양-울진지역의 선캠브리아기 변성암류는 평해층, 기성층, 원남층, 하다 우백질 화강편마암 등으로 구성되어 있다. 이들 변성암류는 서북서-동남동 방향의 대상 분포를 보이고 중생대 화성암류 및 퇴적암류에 의해 각각 관입 및 부정합으로 피복되어 있다. 본 논문은 변형 암석구조의 운동학적ㆍ기하학적 특성과 중첩된 변형구조들의 선후관계로부터 영양-울진지역 선캠브리아기 변성암류의 변형 작용사를 연구하였다. 그 결과, 영양-울진지역의 지질구조는 선캠브리아기 변성암류의 편마면 내지 편리가 형성된 이후 적어도 네 번의 변형단계(연성 전단변형작용과 그 이전에 한 번의 습곡작용과 그 이후에 적어도 두 번의 습곡작용)를 거쳐 형성되었음을 알게 되었다. (1) 첫 번째 변형은 준 수평적인 습곡축과 북쪽으로 고각 경사하는 습곡축면을 갖는 서북서-동남동 방향의 등사습곡과 광역엽리를 형성시켰다. (2)두 번째 변형은 광역엽리의 상부가 동쪽으로 밀리는 우수 주향이동성 연성전단운동에 의해 발생하여 동서 방향의 준 수평적인 신장선구조, S-C 압쇄구조면, Z자형 비대칭습곡 등을 형성시켰다. (3) 세 번째 변형은 준 수평적인 습곡축과 저각의 습곡축면을 갖는 동서 방향의 개방 내지 킹크형 횡와습곡을 형성시켰다. (4) 네 번째 변형은 북북서-남남동 방향의 압축작용으로 발생하여 준 수평적인 습곡축을 갖는 동북동서남서 방향의 대칭 개방 직립습곡, 비대칭 공역성 킹크습곡, 북북서 방향과 남남동 방향으로 충상하는 공역성 충상단층과 이에 수반된 끌림형 습곡 등을 형성시켰다. 그리고 이러한 네 번의 변형작용은 영양-울진지역 광역엽리의 방향성과 밀접한 관련성이 있다. 첫 번째 변형은 서북서 주향에 북쪽으로 고각 경사하는 광역엽리를 형성하였고, 두 번째 변형은 남-북 방향으로 광역엽리의 주향을 부분적으로 변화시켰으며, 세 번째 변형과 네 번째 변형은 광역엽리의 경사각 및 경사 방향을 부분적으로 변화시켰다.소가 맨틀에 존재하는 가장 풍부한 휘발성성분이며, 맨틀과 같은 고온고압에서 하나의 독립된 상으로 존재한다는 것을 반영하고 있다. 또한 맨틀과 같은 환경에서 규산염멜트(melt), 황화멜트, 이산화탄소가스 사이에 서로 불용융(immscibility) 상태도 형성되고 있음을 나타내고 있다. 대부분의 다상의 규산염용융포유물 (II형)은 상당한 양의 규산질 유리를 지니고 있으며, 이는 하부지각/상부맨틀에서 SiO$_2$ 함량이 높은 규산질마그마가 형성되고 있음을 지시한다. 암석학적, 지화학적 정보와 함께 맨틀 혹은 하부지각 암석에 포획된 유체포유물과 용융포유물 데이터는 한반도의 맨틀에 대한 유체체계, 유체-마그마-광물 사이의 강호작용, 모암인 포획암에 대한 압력-온도 진화사를 파악하는데 크게 이용될 것이다.에서 대조구에 비해 낮은 점수를 받았으나, 이는 시료의 성숙도가 다른데 기인하는 것으로 분석되었다. 이상의 모든결과를 분석해 볼 때 환경기체조절저장은 방울토마토의 성숙 억제 및 저장품질유지에 효과가 있는 것으로 나타났다. 환경기체조성은 일반토마토의 저장조건보다 이산화탄소농도가 다소 높은 산소농도 3%~5% 이산화탄소 농도 5~8%에서 저장하는 것이 효과적일 것으로 판단되었다.철쭉군목으로 대표되나 군단이 하의 군목들은 다소 차이를 보이는 것으로 나타났다. 중간상인이론의 수정이 필요하다고 본다.가\ulcorner 본 논문에서는 표면적 형태에도 불구하고 [-wh]의미의 겹의문사는 병렬적 관계의 합성어가 아니라 내부구조를 지니지 않은 단순한 단어(minimal $X^{0}$ elements)로 가정한다. 즉, [+wh] 의미의 겹의문사는 동일한 구성요 소를 지닌 병렬적 합성어([$[W1]_{XO-}$ $[W1]_{XO}$ ]$_{XO}$)로 그리고 [-wh] 의미의 겹의문사는 중복된 발은을 지닌 한