Virtual metrology (VM), a critical component of semiconductor manufacturing, is an efficient way of assessing the quality of wafers not actually measured. This is done based on a model between equipment sensor data (obtained for all wafers) and the quality characteristics of wafers actually measured. This paper considers principal component regression (PCR), partial least squares regression (PLSR), kernel PCR (KPCR), and kernel PLSR (KPLSR) as VM models. For each regression model, two cases are considered. One utilizes all explanatory variables in developing a model, and the other selects significant variables using the genetic algorithm (GA). The prediction performances of 8 regression models are compared for the short- and long-term etch process data. It is found among others that the GA-KPLSR model performs best for both types of data. Especially, its prediction ability is within the requirement for the short-term data implying that it can be used to implement VM for real etch processes.
International Journal of Fuzzy Logic and Intelligent Systems
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v.12
no.2
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pp.108-112
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2012
A sustainable production of electricity is essential for low carbon green growth in South Korea. The generation of wind power as renewable energy has been rapidly growing around the world. Undoubtedly wind energy is unlimited in potential. However, due to its own intermittency and volatility, there are difficulties in the effective harvesting of wind energy and the integration of wind power into the current electric power grid. To cope with this, many works have been done for wind speed and power forecasting. It is reported that, compared with physical persistent models, statistical techniques and computational methods are more useful for short-term forecasting of wind power. Among them, support vector regression (SVR) has much attention in the literature. This paper proposes an SVR based wind speed forecasting. To improve the forecasting accuracy, a fuzzy clustering is adopted in the process of SVR modeling. An illustrative example is also given by using real-world wind farm dataset. According to the experimental results, it is shown that the proposed method provides better forecasts of wind power.
Jo, Nam-Hoon;Song, Kyung-Bin;Roh, Young-Su;Kang, Dae-Seung
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers A
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v.55
no.7
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pp.306-312
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2006
Support Vector Machine(SVM), of which the foundations have been developed by Vapnik (1995), is gaining popularity thanks to many attractive features and promising empirical performance. In this paper, we propose a new short-term load forecasting technique based on SVM. We discuss the input vector selection of SVM for load forecasting and analyze the prediction performance for various SVM parameters such as kernel function, cost coefficient C, and $\varepsilon$ (the width of 8 $\varepsilon-tube$). The computer simulation shows that the prediction performance of the proposed method is superior to that of the conventional neural networks.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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v.32
no.6
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pp.191-198
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1983
This paper describes the aplication of different model which can be used for short-term load prediction. The model is based on Bohlin's approach to first develop a load profile model representing the nominal load component and the Box-Jenkins approach is used to predict residuals. An on-line algorithm using Kalman Filter and Time Series is implemented for and hour-ahead prediction. In the Kalman Filter system equation and measurement equation were fixed and parameters of Time Series were varied week after week. A set of data for Korea Electric Power Corporation from April to June 1981 was used for the evaluation of the model. As the result of this simulation 1.2% rms error was acquired.
The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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v.45
no.4
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pp.602-611
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1996
In this paper, radial basis function networks with two hidden layers, which employ the K-means clustering method and the hierarchical training, are proposed for improving the short-term predictability of chaotic time series. Furthermore the recursive training method of radial basis function network using the recursive modified Gram-Schmidt algorithm is proposed for the purpose. In addition, the radial basis function networks trained by the proposed training methods are compared with the X.D. He A Lapedes's model and the radial basis function network by nonrecursive training method. Through this comparison, an improved radial basis function network for predicting chaotic time series is presented. (author). 17 refs., 8 figs., 3 tabs.
This study investigates the accuracy of short-term ocean predictions during the development of ocean stratification for the Korea Meteorological Administration (KMA) Global Seasonal Forecast System version 5 (GloSea5) as well as the effect of atmosphere-ocean coupling on the predictions through a series of sensitive numerical experiments. Model performance is evaluated using the marine meteorological buoys at seas around the Korean peninsular (KP), Tropical Atmosphere Ocean project (TAO) buoys over the tropical Pacific ocean, and ARGO floats data over the western North Pacific for boreal winter (February) and spring (May). Sensitive experiments are conducted using an ocean-atmosphere coupled model (i.e., GloSea5) and an uncoupled ocean model (Nucleus for European Modelling of the Ocean, NEMO) and their results are compared. The verification results revealed an overall good performance for the SST predictions over the tropical Pacific ocean and near the Korean marginal seas, in which the Root Mean Square Errors (RMSE) were $0.31{\sim}0.45^{\circ}C$ and $0.74{\sim}1.11^{\circ}C$ respectively, except oceanic front regions with large spatial and temporal SST variations (the maximum error reached up to $3^{\circ}C$). The sensitive numerical experiments showed that GloSea5 outperformed NEMO over the tropical Pacific in terms of bias and RMSE analysis, while NEMO outperformed GloSea5 near the KP regions. These results suggest that the atmosphere-ocean coupling substantially influences the short-term ocean forecast over the tropical Pacific, while other factors such as atmospheric forcing and the accuracy of simulated local current are more important than the coupling effect for the KP regions being far from tropics during the development of ocean stratification.
Selective catalytic reduction(SCR) is an exhaust gas reduction device to remove nitro oxides (NOx). SCR operation of ship can be controlled through valves for minimizing economic loss from SCR. Valve in SCR-high pressure (HP) system is directly connected to engine exhaust and operates in high temperature and high pressure. Long-term thermal deformation induced by engine heat weakens the sealing of the valve, which can lead to unexpected failures during ship sailing. In order to prevent the unexpected failures due to long-term valve thermal deformation, a failure prediction system using autoregressive integrated moving average (ARIMA) was proposed. Based on the heating experiment, virtual data mimicking temperature range around the SCR-HP valve were produced. By detecting abnormal temperature rise and fall based on the short-term ARIMA prediction, an algorithm determines whether present temperature data is required for failure prediction. The signal processed by the data collection algorithm was interpolated for the failure prediction. By comparing mean average error (MAE) and root mean square error (RMSE), ARIMA model and suitable prediction instant were determined.
There are two goals in this paper. The one is development of existing CA(Cellular Automata) model to explain more realistic deceleration process to stop. The other is the application of the updated CA model to forecasting simulation to predict short term link travel time that takes a key rule in finding the shortest path of route guidance system of ITS. Car following theory of CA models don't makes not response to leading vehicle's velocity but gap or distance between leading vehicles and following vehicles. So a following vehicle running at free flow speed must meet steeply sudden deceleration to avoid back collision within unrealistic braking distance. To tackle above unrealistic deceleration rule, “Slow-to-stop” rule is integrated into NaSch model. For application to interrupted traffic flow, this paper applies “Slow-to-stop” rule to both normal traffic light and random traffic light. And vehicle packet method is used to simulate a large-scale network on the desktop. Generally, time series data analysis methods such as neural network, ARIMA, and Kalman filtering are used for short term link travel time prediction that is crucial to find an optimal dynamic shortest path. But those methods have time-lag problems and are hard to capture traffic flow mechanism such as spill over and spill back etc. To address above problems. the CA model built in this study is used for forecasting simulation to predict short term link travel time in Kangnam district network And it's turned out that short term prediction simulation method generates novel results, taking a crack of time lag problems and considering interrupted traffic flow mechanism.
Park, Joonseok;Lee, Young-Geun;Kim, Sunhee;Park, Jung-Hwan;Kim, Eung-Ho
Journal of Korean Society of Water and Wastewater
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v.26
no.6
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pp.907-914
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2012
Flexible pipes take advantage of their ability to move, or deflect, under loads without structural damage. Common types of flexible pipes are manufactured from polyethylene (PE), polyvinyl chloride (PVC), steel, glass fiber reinforced thermosetting polymer plastic (GFRP), and aluminum. In this paper, we present the result of an investigation pertaining to the short-term behavior of buried polyethylene pipe. The mechanical properties of the polyethylene pipe produced in the domestic manufacturer are determined and the results are reported in this paper. In addition, vertical ring deflection is measured by the laboratory model test and the finite element analysis (FEA) is also conducted to simulate the short-term behavior of polyethylene pipe buried underground. Based on results from soil-pipe interaction finite element analyses of polyethylene pipe is used to predict the vertical ring deflection and maximum bending strain of polyethylene pipe.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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