High bandwidth memory a core technology of the future memory semiconductor industry, is attracting attention. Temporary bonding and debonding process technology, which plays an important role in high bandwidth memory process technology, is also being studied. In this process, total thickness variation is a major factor determining wafer performance. In this study, the reliability of the equipment measuring total thickness variation is identified, and the servo motor settling, and wafer total thickness variation measurement accuracy are analyzed. As for the experimental variables, vacuum, acceleration time, and speed are changed to find the most efficient value by comparing the stabilization time. The smaller the vacuum and the larger the radius, the longer the settling time. If the radius is small, high-speed rotation performance is good, and if the radius is large, low-speed rotation performance is good. In the future, we plan to conduct an experiment to measure the entire of the wafer.
In this study, the effect of flow settling means on the performance of fan tester were numerically investigated by using a computational fluid dynamics (CFD). The airflow rate was calculated from the pressure differential across a flow nozzle in the measuring plane and the flow settling means were generally installed in the chamber of the fan tester to provide proper airflow patterns ahead of the measuring plane. The predicted nozzle differential pressures with uniform inlet velocities were compared with the values of the ANSI/AMCA 210-99 to verify the performance of the commercial CFD code CFX 5.6. The influence of flow settling means on the measurement of airflow rate in a fan tester were discussed with various porosities and inlet jet velocities. The results obtained show that the proper band of porosities exist to meet the AMCA standard in a specified inlet jet velocity.
In this study, the effect of flow settling means on the performance of fan tester were numerically investigated by using a computational fluid dynamics(CFD). The airflow rate was calculated from the pressure differential across a flow nozzle in the measuring plane and the flow settling means were generally installed in the chamber of the fan tester to provide proper airflow patterns ahead of the measuring plane. The predicted nozzle differential pressures with uniform inlet velocities were compared with the values of the ANSI/AMCA 210-99 to verify the performance of the commercial CFD code CFX 5.6. The influence of flow settling means on the measurement of airflow rate in a fan tester were discussed with various porosities and inlet jet velocities. The results obtained show that the proper band of porosities exist to meet the AMCA standard in a specified inlet jet velocity.
LEE YOUNG-JAE;LEE SANG-HWA;HWANG KYU-NAM;RYU HONG-RYUL
Journal of Ocean Engineering and Technology
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v.19
no.4
s.65
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pp.42-48
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2005
The sediment of Shihwa Lake contains an abundant quantity of cohesive sediments. The transport processes of the cohesive sediments are complex and difficult to predict, quantitatively. The cohesive sediments are the primary reason for the pollution of the environment and water quality in the coastal region. In this study, a column test has been performed. In order to quantify the settling velocities of sediment from Shihwa Lake, an experiment was conducted using a specially designed 1.8m tall settling column. A series of settling tests and physico-chemical property tests on Shihwa Lake cohesive sediments has been conducted to investigate the correlation between settling properties and their physico-chemical properties, which are represented as grain size distribution, mineralogical composition, and percentage oj organic contents. Experimental results of physico-chemical property tests show that Shihwa Lake sediments are relatively large in average grain $size(74\mu m)$ contain very small organic $material(6\%)$, and are dominantly composed of Quarts, which has relatively low cohesion. Thus, Shihwa Lake sediments might be specified as those whose settling properties are more influenced by gravity than cohesion. It is concluded that the magnitude of settling velocities of muddy sediments can be quite different, regionally, and it implies that field or laboratory experiments for settling velocity measurement should be preceded over the numerical modeling of muddy sediment transport, in order to obtain the reliable prediction results for a given specific site.
The settling behavior of marine fluid mud in the west seaside of Korea has been studied with theoretical analysis and experimental technique. This paper describes laboratorial experiments on the sedimentation and the deposition of soil particles in seawater, with measurement of velocity of interface, the water contents, the settlement. And the reseults are compared with an earlier theoretical research, the hindered settling theory of Kynch, McRoberts and Nixon. According to the results the process of Banweol mud sedimentation showed the typical mode of the hindered settling under the condition of initial water content, wo=1000%. Also, the falling rates of fluid mud interface from initial settling height vs. the rising rates of soil deposit from the bottom of the test tub were measured by the function of time, the correlati tranship of them demonstrated as a straight line and obtained an experimental formula.
Journal of Korea Technical Association of The Pulp and Paper Industry
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v.36
no.4
s.107
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pp.67-76
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2004
Because paper industry spends lots amount of water, the recycling of water is very important in economical as well as environmental aspects. In order to optimize the process water recycling system, the efficiency of unit operation for water circulation, such as save-all system, CDS and settling tank, plays an important role in. In this study, the sedimentation efficiency of process water was evaluated by SS measurement with the different amounts of flocculent addition. 3 different kinds of process water were collected from fine paper mill, and applied in laboratory sedimentation equipment for the measurement of settling efficiency of SS materials. The addition amounts of alum and PAC were resulted in optimum efficiency of sediments in the condition of 100 ppm of alum and 500 ppm of PAC respectively. In the comparison of sedimentation efficiency between alum and PAC, alum showed more economical and efficient results. The SS of spill water and the particle size of suspended materials treated by alum flocculents were below 50 ppm and about 1 $\mu$m. It would be considered that the spill water can be substituted to superclear water grade.
Journal of The Korean Society of Agricultural Engineers
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v.52
no.5
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pp.87-95
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2010
The optimum volume of sediment settling pond is determined by the maximum rainfall and surface peak rate runoff from crop field. Based on analysis of measured rainfall and runoff data, it was found that rainfall intensity of 2 mm/min would result in peak rate runoff from the agricultural field of study area. Optimum pond volume under various slope scenarios were determined using the WEPP model calibrated with measured flow and sediment data for the study watershed. For the agricultural field with the slope of 7 % and area of $2,600\;m^2$ at the study area, at least $6.4\;m^3$ of sediment settling pond is needed as shown in this study. The results presented in this study could be used as a guide in designing appropriate volume of sediment settling pond at highland agricultural areas because both very detailed field measurement and calibrated WEPP model results are used in the analysis.
This study aims to investigate the settling velocity of aggregates of cohesive sediment (floc) and its relationship with sediment size, density and fractal dimension. A system of commercial camera and macro-lens is used for the experiment. Through the image-analysis technique, the image taken by the camera system is analyzed. For the experiment, kaolinite and a natural sediment sampled at Lake Apopka in Florida have been tested. From this study, it is known that kaolinite and Lake Apopka sediments show different behaviors mainly depending on the organic matter content. Samples of kaolinite with less organic contents show a more definite trend to follow a fractal theory and relatively strong relationships between the settling velocity, density, fractal dimension and floc size compared to the Lake Apopka sediments rich in organics.
Journal of the Korea Institute of Military Science and Technology
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v.4
no.1
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pp.52-61
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2001
The purpose of this paper is to study on the control of a self-activated cable spooling system for towed away handling winch using a hydraulic servo driving unit and a cable position measurement mechanism. To design a controller of the cable spooling system, it is carried out the analysis of the hydraulic servo system and derived the relationship of a parameters through the control theory. Also, it is derived from the control specfications using settling rotation angle and spooling safety ratio proposed to the analysis for the behavior of the system. The cable spooling system is tested and evaluated to validate the performance of the controller.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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