SiO2/Al2O3 적층 감지막의 두께 최적화를 통한 고성능 Electrolyte-insulator-semiconductor pH 센서의 제작 (Thickness Optimization of SiO2/Al2O3 Stacked Layer for High Performance pH Sensor Based on Electrolyte-insulator-semiconductor Structure)
-
- 한국전기전자재료학회논문지
- /
- 제25권1호
- /
- pp.33-36
- /
- 2012