• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제5권1호
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• pp.11-16
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• 2005

This paper presents fabrication process and experimental results of two different types of flexible MEMS biosensors based on polymer/metal multilayer processing techniques. One type of a biosensor is a microelectrode array (MEA) for nerve signal monitoring through implanting the MEA into a living body, and another is a tactile sensor capable of being mounted on an arbitrary-shaped surface. The microelectrode array was fabricated and its electrical characteristics have been examined through in vivo and in vitro experiment. For sensitive skin, flexible tactile sensor array was fabricated and its sensitivity has been analyzed. Mechanical flexibility of these biosensors has been achieved by using a polymer, and it is verified by implanting a MEA to an animal and mounting the tactile sensor on an arbitrary-shaped surface.

• 대한의용생체공학회:학술대회논문집
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• 대한의용생체공학회 1998년도 추계학술대회
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• pp.145-146
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• 1998

A planar-type silicon microelectrode array has been fabricated and used successfully in obtaining simultaneous multichannel recordings from peripheral nerve of invertebrates. This paper demonstrates that planar-type semiconductor electrode arrays are useful for studying traveling wave properties of action potential.

• 대한의용생체공학회:의공학회지
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• 제22권2호
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• pp.145-150
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• 2001

대뇌 피질에 삽입하여 깊이에 따라 신경 신호를 기록하기 위한 탐침형 반도체 미세전극 어레이(depth-type silicon microelectrode array, 일명 SNU probe)를 제작하였다. 붕소를 확산시켜 생성된 고농도 p-type doping된 p＋ 영역을 습식식각 정지점으로 사용하는 기존의 방법과 달리 실리콘 웨이퍼의 앞면을 건식식각하여 원하는 탐침 두께만큼의 깊이로 트렌치(trench)를 형성한 후 뒷면을 습식식각하는 방법으로 탐침 형태의 미세 구조를 만들었다. 제작된 반도체 미세전극 어레이의 탐침 두께는 30 $\mu\textrm{m}$이며 실리콘 건식식각을 위한 마스크로 6 $\mu\textrm{m}$ 두께의 LTO(low temperature oxide)를 사용하였다. 탐침의 두께는 개발된 본 공정을 이용해서 5~90 $\mu\textrm{m}$ 범위까지 쉽게 조절할 수 있었다. 탐침의 두께를 보다 쉽게 조절할 수 있게 됨에 따라 여러 신경조직에 필요한 다양한 구조의 반도체 미세전극 어레이를 개발할 수 있게 되었다. 본 공정을 이용해서 개발된 4채널 SUN probe를 사용하여 흰쥐의 제1차 체감각 피질에서 4채널 신경 신호를 동시에 기록하였으며, 전기적 특성검사에서 기존의 탐침형 반도체 미세전극, 텅스텐 전극과 대등하거나 우수한 신호대 잡음비(signal to noise ratio, SNR)특성을 가짐을 확인하였다.

• 대한의용생체공학회:학술대회논문집
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• 대한의용생체공학회 1997년도 추계학술대회
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• pp.31-34
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• 1997

A semiconductor microelectrode array has been successfully used in obtaining single unit recordings from medial giant nerve of clay fish, rat saphenous nerve and abdominal ganglia of aplysia. The recording device fabricated using silicon microfabrication techniques is a depth-probe type and, previously, has been mostly used to record from central nerve system of vertebrates. From invertebrates, and also from peripheral nerves of vertebrates, however, the quality of the recorded signal depends heavily on the recording conditions, such as the proximity of the electrode site to the nerve cells and the size of the neuron. We have modeled the signal to noise ratio as unctions of these parameters and compared the experimental data with the calculated values thus obtained.