• 제목/요약/키워드: Seed purity

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고품질 4H-SiC 단결정 성장을 위한 다공성 흑연 판의 역할 (The role of porous graphite plate for high quality SiC crystal growth by PVT method)

  • 이희준;이희태;신희원;박미선;장연숙;이원재;여임규;은태희;김장열;전명철;이시현;김정곤
    • 한국결정성장학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.51-55
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    • 2015
  • 본 연구에서는 PVT법으로 4H-SiC 단결정 성장 시 다공성 흑연판을 사용하여 Si/C 비율이나 온도구배, 물질전달의 향상시킴으로써 고품질의 SiC 단결정 기판 제작을 목적으로 연구를 진행하였다. 연구에 사용된 SiC 소스 물질은 흑연 도가니에 넣어 흑연 단열재로 쌓인 구조로 실험을 하였다. 성장온도는 $2100{\sim}2300^{\circ}C$, 그리고 성장압력은 10~30 Torr의 압력으로 아르곤과 질소 분위기에서 성장시켰다. 종자정은 2인치의 $4^{\circ}$ off-axis 4H-SiC의 C면 (000-1)을 사용하였고 다공성 흑연판은 SiC 소스 물질 위에 삽입하였다. 4H-SiC 결정다형 안정화를 위한 C-rich 조건이나 균일한 온도구배를 만들어주기 위해 다공성 흑연판을 삽입하여 실험을 진행하였다. 일반적인 도가니의 경우, 성장된 wafer에서 6H-, 15R-SiC와 같은 다양한 결정다형이 관찰된 반면에 다공성 흑연판을 삽입한 도가니에서는 4H-SiC만 관찰되었다. 또한 다공성 흑연판을 삽입한 도가니에서 성장된 결정에서 MP나 EP의 낮은 결함밀도를 보였으며 결정성 또한 향상된 것을 학인하였다.

울릉도에 자생하는 침엽수류 유존군락의 분포유형과 생태적 관리방안에 대한 연구 (Distribution Types of the Relict Conifer Community and the Approach for the Ecological Management in Ulleung-Island)

  • 조현제;이중효;추연식;홍성천
    • 한국산림과학회지
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    • 제100권1호
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    • pp.95-104
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    • 2011
  • ZM방식을 응용하여 울릉도에 자생하는 침엽수류(향나무, 섬잣나무, 솔송나무, 회솔나무) 유존군락의 분포유형을 구분한 다음, 이들 분포유형별 구성종의 중요치와 개체목들의 생장특성을 토대로 생태적 관리방안을 검토하였다. 1. 울릉도에 자생하는 침엽수류의 분포유형은 해안식생(SV)과 산지식생(MV)으로 대별할 수 있었으며 해안식생은 해안절벽지 분포형(J-SC)과 해안절벽지 능선부 분포(J-SR)형으로 구분되었다. 산지식생은 회솔나무림과 섬잣나무 솔송나무림으로 구분되었으며, 회솔나무림은 암석지 분포형(Ta-R)과 사면부 분포형(Ta-MS)으로 구분되었다. 섬잣나무 솔송나무림은 암석지 분포형(P T-R), 사면상부 능선부 분포형(P T-UR) 및 사면부 분포형(P T-MS)으로 구분 되었고, 사면상부 능선부 분포형은 제1아유형(1sub-type)인 솔송나무 우점임분, 제2아유형(2sub-type)인 회솔나무 우점임분, 제3아유형(3sub-type)인 섬잣나무 회솔나무 활엽수류 혼효임분으로 구분되었다. 2. 해안식생인 향나무림 중 제1분포형인 해안절벽지 분포형(J-SC), 산지식생인 회솔나무림중 제1분포형인 암석지 분포형(Ta-R), 섬잣나무 솔송나무림 중 제1분포형인 암석지 분포형(P T-R)은 지형적 극상으로 유지될 수 있을 것으로 사료되었으며, 해안식생인 향나무림 중 제2분포형인 해안 절벽지 능선부 분포형(J-SR), 산지식생인 회솔나무림 중 제2분포형인 사면부 분포형(Ta-MS)과 섬잣나무 솔송나무림 중 제2분포형인 사면상부 능선부 분포형(P T-UR) 및 제3분포형인 사면지 분포형(P T-MS)은 천이도중상인 것으로 사료되었다. 3. 지형적극상을 이루고 있는 향나무림, 회솔나무림, 섬잣나무림, 솔송나무림은 천이에 맡겨두고 천이도중상의 분포형에 대해서는 치수의 생장과 치묘 출현을 촉진시킬 수 있는 숲가꾸기 작업이 필요할 것으로 사료되었다. 특히 솔송나무림을 복원시키기 위해서는 중용수이며 종자의 순량율이 1~2%인 점을 감안하여 숲틈(gap)의 형성외에 인공조림을 실행하여야 할것으로 사료되었다. 4. 곰솔림의 경우 강한 간벌과 가지치기를 이용하여 틈을 조성한 후 섬잣나무, 솔송나무, 회솔나무, 동백나무, 후박나무, 우산고로쇠 등으로 군상혼효림을 조성하는 것이 울릉도 자연식생을 회복시킬 수 있는 촉매제가 될 것으로 사료되었다.