• 제목/요약/키워드: Scanning electron micro-scope

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니켈실리사이드의 색차분석 (Color Difference Characterization on Nickel Silicides)

  • 정영순;송오성;김득중;최용윤;김종준
    • 한국표면공학회지
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    • 제38권1호
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    • pp.44-48
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    • 2005
  • We prepared nickel silicide layers from p-Si(l00)/SiO₂(2000 Å)/poly-Si(700 Å)/Ni(400 Å) structures, feasible for gates in MOSFETs, by annealing them from 500℃~900℃ for 30 minutes. We measured the color coordination in visible range, cross sectional micro-structure, and surface topology with annealing temperature by an UV-VIS-IR spectrometer, field effect scanning electron microscope(FE-SEM), and scanning probe micro-scope respectively. We conclude that we may identify the nickel silicide by color difference of 0.90 and predict the silicide process reliability by color coordination measurement. The nickel silicide layers showed similar thickness while the columnar grains size and surface roughness increased as annealing temperature increased.

The effect of high-temperature on foamed concrete

  • Canbaz, Mehmet;Dakman, Hafid;Arslan, Baris;Buyuksungur, Arda
    • Computers and Concrete
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    • 제24권1호
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    • pp.1-6
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    • 2019
  • Within the scope of this study, the foam solution was prepared by properly mixing sulfonate based foam agent with water. Furthermore, this solution was mixed with the mixture of fine sand, cement, and water to produce foamed concrete. The mixture ratios which are the percentage of foam solution used in foam concrete were chosen as 0, 20, 40 and 60% by vol. After these groups reached 28 days of strength, they were heated to 20, 100, 400 and $700^{\circ}C$ respectively. Afterward, high-temperature effects on the foamed concrete were obtained by employing physical and mechanical properties tests. Additionally, SEM (scanning electron microscope) and EDX (energy-dispersive X-ray spectroscopy) tests were employed to analyze the microstructure, and ${\mu}-CT$ (micro computed tomography) images were used to reconstruct 3-D models of the heat-treated specimens. Then, these models are analyzed to examine the void structures and the changes in these structures due to the high temperatures. The study has shown that the void structures reduce the high-temperature effects and the foam solution could be mixed with concrete up to 40 % by vol. where the high strength of foamed concrete is non-mandatory.

ZnO와 TiO2 함유 복합나노섬유의 제조와 유해물질분해 성능 평가 (Fabrication of ZnO and TiO2 Nanocomposite Fibers and Their Photocatalytic Decomposition of Harmful Gases)

  • 허윤선;이승신
    • 한국의류학회지
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    • 제35권11호
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    • pp.1297-1308
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    • 2011
  • This research investigates the application of ZnO (zinc oxide) nanoparticles and $TiO_2$ (titanium dioxide) nanoparticles to polypropylene nonwoven fabrics via an electrospinning technique for the development of textile materials that can decompose harmful gases. To fabricate uniform ZnO nanocomposite fibers, two types of ZnO nanoparticles were applied. Colloidal $TiO_2$ nanoparticles were chosen to fabricate $TiO_2$ nano- composite fibers. ZnO/poly(vinyl alcohol) (PVA) and $TiO_2$/PVA nanocomposite fibers were electrospun under a variety of conditions that include various feed rates, electric voltages, and capillary diameters. The morphology of electrospun nanocomposite fibers was examined with a field-emission scanning electron micro- scope and a transmission electron microscope. Decomposition efficiency of gaseous materials (formaldehyde, ammonia, toluene, benzene, nitrogen dioxide, sulfur dioxide) by nanocomposite fiber webs with 3wt% nano-particles (ZnO or $TiO_2$) and 7$g/m^2$ web area density was assessed. This study shows that ZnO nanoparticles in colloid were more suitable for fabricating nanocomposite fibers in which nanoparticles are evenly dispersed than in powder. A heat treatment was applied to water-soluble PVA nanofiber webs in order to stabilize the electrospun nanocomposite fibrous structure against dissolution in water. ZnO/PVA and $TiO_2$/PVA nanofiber webs exhibited a range of degradation efficiency for different types of gases. For nitrogen dioxide, the degradation efficiency was 92.2% for ZnO nanocomposite fiber web and 87% for $TiO_2$ nanocomposite fiber web after 20 hours of UV light irradiation. The results indicate that ZnO/PVA and $TiO_2$/PVA nano- composite fiber webs have possible uses in functional textiles that can decompose harmful gases.

스퍼터링으로 제조된 니켈실리사이드의 미세구조 및 물성 연구 (Microstructure Evolution and Properties of Silicides Prepared by dc-sputtering)

  • 안영숙;송오성;이진우
    • 한국재료학회지
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    • 제10권9호
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    • pp.601-606
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    • 2000
  • Ni mono-silicide는 선폭이 0.15$\mu\textrm{m}$이하에서도 전기저항이 커지는 현상이 없고 Ni와 Si이 1:1로 반응하기 때문에 얇은 실리사이드의 제조가 가능하고 도펀트의 재분포 현상을 감소시킬수 있다. 따라서 0.15$\mu\textrm{m}$급 이하 디바이스에 사용이 기대되는 NiSi의 제조를 위한 Ni 박막의 증착조건 확보와 열처리 조건에 따른 NiSi의 기초 물성조사를 수행하였다. Ni mono-silicide는 sputter의 물리적 증착방법으로 Ni 박박을 증착후 관상로를 상용하여 $150~1000^{\circ}C$ 온도 범위에서 제조하였다. 그후 SPM을 이용하여 각 시편의 표면조도를 측정하였고, 미세구조와 성분분석은 EDS가 장착된 TEM을 사용하여 측정하였다. 각 열처리 온도별 생성상의 전기적 성질은 4 point probe로 측정하였다. 본 연구의 결과, SPM은 비파괴 방법으로 NiSi가 NiSi$_2$로 변태되었는지 확인할 수 있는 효과적인 공정모니터링 방법임을 확인하였고, $800^{\circ}C$이상 공온 열처리에 잔류 Ni의 산화방지를 의해 산소분압의 제어가 $Po_2$=1.5$\pm$10(sup)-11색 이하가 되어야 함을 알 수 있었으며, 전지적 특성실험으로부터 본 연구에서 제조된 박막의 NiSi$\longrightarrow$NiSi$_2$ 상태변온도는 $700^{\circ}C$라고 판단되었다.

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치과용 자석부착장치의 물리적, 생물학적 특성에 관한 연구 (A STUDY ON THE PHYSICAL PROPERTIES AND BIOLOGICAL CHARACTERISTICS OF DENTAL MAGNETIC ATTACHMENTS)

  • 임용식;김영수;김창회;김용호
    • 대한치과보철학회지
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    • 제37권1호
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    • pp.1-22
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    • 1999
  • In order to investigate various physical and biological properties of dental magnetic attachments studies on retentive characteristics, corrosion properties, cytotoxicity of different magnetic systems for dental applications were done. For the study of retentive characteristics changes of retentive force by increasing air gap, wear properties of various attachment systems and loss of magnetic force by heat treatment were measured. Forte study of corrosion property of magnet covering metal electrochemical corrosion was done in artificial saliva and 0.9% NaCl solution between $-1,000mV_{SCE}\;and\;+1,000mV_{SCE}$. Anodic polarization curves are obtained about 6 types of samples and 2 types of solution. Corroded surfaces were examined with metallurgical microscope, scanning electron microscope and surface profilometer. For the study of cytotoxicity of magnetic attachment and its field cell growth and agar overlay test were done. The results of this study were as follows. 1. In Magnetic attachments using closed circuit retentive force at zero air gap was greater than magnets using open circuit, but decrease of retentive force by increasing air gap was also greater than open systems. 2. After 40,000 cycles of wear test all mechanical attachment resulted in varing degree of retention loss but in magnetic attachments no loss of retentive force was observed. 3. The magnetic attachment using Neodymium magnet showed early loss of retentive force about $200^{\circ}C$ but attachment using Samarium magnet showed some resistance to heat treatment and complete retention loss was observed about $500^{\circ}C$. The keeper was not influenced by heat treatment in retention. 4. In electrochemical corrosion test Dyna magnetic attachment covering metal showed the highiest corrosion resistance and Shiner magnet covering metal showed the least corrosion resistance and examination of corroded surface with metallurgical microscope, scanning electron micro-scope and surface profilometer also showed same results with anodic polarization corves. 5. The result of cell culture tests on the magnet covered with metal showed least recognizable cytotoxicity.

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시호 종자의 특성 및 발아촉진 방법 연구 (Seed Characteristics and Accelerating Method of Germination in Bupleurum falcatum)

  • 이은일;김석현
    • 한국작물학회지
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    • 제41권3호
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    • pp.384-394
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    • 1996
  • 시호 종자의 발아율을 증가시키기 위한 방법과 종자의 특징을 연구하기 위하여 본 실험을 수행하였다. 시호의 발아에 유리한 온도는 2$0^{\circ}C$이며, 호르몬 처리나 기타 물리화학적 처리에 의해 발아율은 크게 증가되지 못했는데, 15$^{\circ}C$에서 발아시킬 경우 50~200 ppm의 GA$_3$을 처리했을 때 발아율이 2배 이상 증가하였다. 또한 같은 온도에서 $10^{-2}$ ~$10^{-3}$M의 KNO$_3$을 처리한 경우에도 발아율은 3배 이상 증가하였다. 그러나 2$0^{\circ}C$ 이상에서는 강력한 저해 효과를 나타내었다. 시호의 leachate를 상추의 종자에 처리했을 경우 발아율의 변화가 거의 없었으므로 시호의 종자에는 발아저해제가 거의 없는 것으로 생각된다. 해부현미경과 주사전자현미경으로 종자의 배와 주공을 관찰한 결과 배가 있는 것과 없는 것의 비율이 거의 50/50이며 주공 자체에는 문제가 없으므로 시호의 종자 발아율이 낮은 것은 근본적으로 배가 결여된 종자가 많기 때문인 것으로 생각된다.

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RF magnetron Sputtering법에 의해 Plasma Etching된 Glass에 증착한 다양한 친수 박막의 특성

  • 이동욱;백철흠;김동영;양정민;김화민;이종영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.133-133
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    • 2012
  • 일반적으로 TiO2는 광촉매 작용으로 표면 살균성을 가지며, 친수특성으로 인한 자가세정 능력도 가지고 있다. 또한 지구상에 많이 존재하는 광물로 원료의 가격이 저렴하다는 장점이 있어 산업 전반에 사용되고 있다. 하지만 외부의 환경적 오염으로 인한 광촉매 반응 면적의 감소에 따라 반응효율이 저하되는 단점이 있으며, SiO2는 투명한 유리와 같이 비정질상태가 안정하고 높은 굴절률을 가지며 내구성이 외부환경에 강해 무반사 코팅이나 금속박막의 보호층으로 주로 사용된다. WO3는 높은 굴절률과 가시광선 영역에서의 우수한 투과율을 가지고 있으나 conduction band에서 생성된 광캐리어들이 빠르게 재결합 하여 광분해 효율이 좋지 않기 때문에 흔히 쓰이지 않고 있다. 이러한 박막들의 단점을 보완하기 위해 물리적 구조를 변화시켜 반응 면적을 극대화하기 위해 버퍼층이나 다층박막을 사용하는 등 다양한 연구가 진행되고 있다. 본 실험에서는 Slide glass에 Plasma etching 하였을때 친수성이 나타나는 특성을 이용하여 대면적 코팅과 표면 경도를 우수하게 만들 수 있는 RF Magnetron sputtering법으로 Slide glass에 Ar Gas 분위기에서 각 파워별 Plasma etching한 후 TiO2, SiO2, WO3 박막을 증착하여 광학적, 구조적 특성을 분석하였다. 광투과율 측정장치(UV-VIS Spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정한 결과 모든 박막이 가시광 영역에서 80% 이상의 높은 투과율을 나타내었으며, 접촉각 측정결과 100w로 etching한 glass에 TiO2를 증착한 박막에서 가장 낮은 $3^{\circ}$ 이하의 접촉각을 나타내었다. SEM (Scanning Electron Microscope) 분석을 통해 표면구조를 관찰한 결과 100w로 etching한 후 TiO2를 증착한 박막이 가장 조밀한 구조를 보였으며, AFM (Atomic Force MicroScope) 분석 결과 100w로 etching한 후 TiO2를 증착한 박막의 표면이 가장 거칠어지는 것을 볼 수 있었는데, 이는 물과 닿는 박막의 유효 표면적의 증가로 인하여 광촉매 효과가 증가하였기 때문에 친수성이 향상된 것으로 사료된다. 이러한 박막은 건물 유리벽과 자동차의 내 외장재 전자기기용 광학 필름에 자가세정, 내반사 코팅소재, 디스플레이 표시장치로 활용할 수 있을 것으로 예상된다. 본 연구는 중소기업청에서 지원하는 2011년도 산학연 공동기술개발 지원사업의 연구수행으로 인한 결과물임을 밝힙니다.

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