• 한국재료학회지
• /
• 제4권1호
• /
• pp.81-89
• /
• 1994

전자빔 증착법을 사용하여 10nm두께의 Ti과 18nm두께의 Co를 Si(100)기판에 증착한 후, $N_{2}$분위기에서 $900^{\circ}C$, 20초 급속 열처리하여, Co/Ti 이중금속박막의 역전을 유도함으로서 $CoSi_{2}$박막을 형성하였다. 4점 탐침기로 측정한 면저항은 3.9Ω/ㅁ 었으며, 열처리 시간을 증가해도 이값은 유지하여 열적 안정성을 나타내었다. XRD 결과는 형성된 실리사이드는 기판과 에피관계를 갖는 $CoSi_{2}$상 임을 보였으며, SEM 사진은 평탄한 표면을 나타내었다. 단면 TEM 사진은 기판위에 형성된 박막층은 70nm 두께의 $CoSi_{2}$ 에피박막과 그위에 두개의 C0-Ri-Si합금층등 세개의 층으로 되어 있음을 보였다. AES 분석은, 기판상의 자연산화막을 형성할 수 있었음을 보여주었다. AES분석은, 기판상의 잔연산화막이 열처리초기, Ti에 의해 제거된후 Co가 원자적으로 깨끗한 Si기판에 확산하여 $CoSi_{2}$에피박막을 형성할 수 있었음을 보여주었다. $700^{\circ}C$, 20초 + $900^{\circ}C$, 20초 이중 열처리를 한 경우, $CoSi_{2}$결정성장으로 면저항값은 약간 낮아졌으나, 박막의 표면과 계면이 거칠었다. 이 $CoSi_{2}$에피박막의 실제 소자에의 적용방안과 막의 역전을 통한 에피박막형성의 기제를 열역학 및 kinetics 관점에서 고찰하였다.

• 대한가정학회지
• /
• 제46권9호
• /
• pp.1-6
• /
• 2008

홍화 황색소와 홍색소로 염색을 한 나일론 직물에 자외선을 조사 한 후 시료들의 염착량과 색채변화, 표면 특성 변화와 인장 강도 변화를 측정한 결과는 다음과 같다. 1. 색소의 종류에 상관없이 자외선 조사시간 증가에 따라 염착량이 감소되었다 그러나 홍색 소보다는 황색소로 염색한 시료들의 자외선 조사 28일 후의 염착량 보유율이 더욱 낮았다. 2. 색채변화의 경우, 황색소로 염색한 시료들은 $L^*$은 증가하고 $a^*$와 $b^*$는 감소하였으며, H/VC, ${\Delta}E$등 색채 전반에 퇴색이 나타났다. 홍색소로 염색한 시료들 도 자외선 조사 시간 증가에 따라 $L^*$은 증가하고 $a^*$는 감소하였으며, $b^*$는 증가하였고, H/VC, ${\Delta}E$등 색채 전반에 퇴색이 나타났다. 그러나 홍색소와 황색 소로 염색한 나일론 직물 시료의 조사 28일 후의 색차는 황색소가 더욱 낮아 나일론 직물에는 황색소가 자외선에 대한 견뢰도가 더욱 높은 것으로 보인다. 3. 자외선 조사 시간에 따른 표면 특성 변화의 결과, 색소의 종류와 상관없이 조사 28일 후 모든 시료들에서 심한 손상을 관찰할 수 있었다. 4. 자외선 조사 시간에 따른 인장 강도 변화 결과, 모든 종류의 시료에서 자외선 조사 시간 증가에 따른 강도의 손실을 알 수 있었다. 그러나 홍색소보다는 황 색소로 염색한 나일론 직물 시료들의 인장 강도 보유율이 상대적으로 높은 것으로 나타났다.

• 대한환경공학회지
• /
• 제27권9호
• /
• pp.946-951
• /
• 2005

본 연구에서는 청정 호발공정의 하나로 플라즈마 처리를 사용하였다. 폴리에스테르(polyethylene terephthalate, PET) 직물에 가호된 폴리비닐 알콜(polyvinyl alcohol, PVA), 아크릴 호제(polyacrylic acid esters, PACL)과 이들의 혼합된 호제들을 질소($N_2$)와 산소($O_2$) 플라즈마로 처리하였다. 호제제거에 있어서 산소 플라즈마가 질소 플라즈마 보다 더 효과적이었으며, PACL 보다는 PVA 호제 제거가 더 우수하였다. 플라즈마 처리된 시료의 주사전자현미경(scanning emission microscopy, SEM) 사진을 통하여 호제들이 제거되었음을 직접 확인할 수 있었다. 산소 플라즈마 처리 후, 기존의 습식공정을 이용하여 폴리에스테르 직물을 호발하였다. 플라즈마로 처리하지 않은 직물과 비교하여 산소 플라즈마 처리된 직물의 호발폐수는 더 낮은 TOC, COD와 $BOD_5$ 값을 보여주었다. 이것은 플라즈마 처리가 직접적으로 호제를 제거할 수 있을 수 뿐 아니라 호제의 화학적 특성을 변화시킴으로서 이점을 제공할 수 있다는 것을 보여준다. 마지막으로, 플라즈마 처리에 의한 호발 공정이 폴리에스테르 직물의 염색성에 미치는 영향을 색차와 염색견뢰도를 측정하여 살펴보았다. CCM(computer color matching) 측색 실험 결과, 산소 플라즈마로 20분간 처리한 폴리에스테르 직물과 기존 습식공정으로 호제가 제거된 기준직물과의 색차값은 1 정도이었다. 이것은 다른 부수적인 공정 없이 플라즈마로 처리된 직물이 바로 염색공정에 사용될 수 있다는 것을 나타낸다. 또한, 플라즈마로 처리된 직물은 좋은 염색견뢰도 결과를 보여주었는데, 세탁견뢰도, 마찰견뢰도, 승화견뢰도, 일광견뢰도도 기준직물과 비교하여 같거나 더 우수하였다.