• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2009.11a
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• pp.371-372
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• 2009

We have prepared and characterized CIGS nanopowder for absorber layer of photovoltaic. CIGS nanopowder were obtained at $260^{\circ}C$ for 6 hours from the reaction of $CuCl_2$, $InCl_3$, $GaCl_3$ and Se powder in solvent. The CIGS nanopowder were identified to have a typical chalcopyrite tetragonal structure by using X-ray diffraction(XRD), Inductively Coupled Plasma Auger Electron Spectroscopy (AES), Scanning Electron Microscopy(SEM).

• Mycobiology
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• v.29 no.1
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• pp.15-18
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• 2001

Protoplast fusion is a useful technique for establishing fungal hybrids to overcome the natural barriers. The ultrastructure of protoplast and its fusion process were observed using a scanning electron microscopy(SEM) and a transmission electron microscopy(TEM). The protoplasts were variable in size from $0.5{\sim}15{\mu}m$ in diameter, and the mean diameter was about $3{\sim}5{\mu}m$. It was impossible to discriminate protoplasts of Lentinula edodes from protoplasts of Coriolus versicolor by size and surface structure. Big aggregates of the dehydrated protoplasts were observed, after polyethylene glycol 4000 treatment. Nucleus, mitochondria, lipid granules and various vesicles having granules were scattered in the cytoplasm. The vesicles were heterogeneous in size and vary from one protoplast to another. The fused membrane layer of the two protoplasts was observed. Time protoplast membrane contact and reorganization of membrane components were essential condition for protoplast fusion. Transmission electron micrograph showed fused protoplasts and flattening of the cells in the area of the membrane contact. We hope that our electron microscopic observations provide some insights into the understanding of the fusion process of protoplast in fungi.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.05a
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• pp.137-141
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• 2004

저항특성이 다른 ITO박막의 구조특성과 표면특성을 XRD와 AFM(atomic force microscopy), SEM(scanning electron microscopy)을 이용하여 관측하였다. 접촉방식인 4단자 법을 사용하여 ITO박막의 표면전기저항을 측정하였다. 관측된 구조 및 표면특성을 바탕으로 비파괴 비접촉방식을 이용한 근접장 마이크로파 현미경을 이용하여 얻은 ITO박막의 표면저항특성과 비교 연구하였다.

• Applied Microscopy
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• v.34 no.1
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• pp.51-59
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• 2004

The high acceleration voltage system used in scanning electron microscope were designed and manufactured to test its stability. The Cockcroft-Walton circuits are used both in the cathode voltage up to -30 kV and in the Wehnelt cylinder of -2 kV. The operating voltage of 6 V was applied to the heating of the filament. The wave forms which are formed in the second leg of the high voltage transformer were observed in the oscilloscope with 2 V of DC input. When the high voltages were in the range between 5 kV and 12 kV, the highest value of the stabilities of the generated voltages was obtained as 0.002%.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.29 no.1
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• pp.71-75
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• 2022

Graphene oxide was stirred with a ZnCl₂:NaCl electrolyte and electrochemically coated by cyclic voltammetry to simplify the electron transpfer layer film forming process for organic solar cells and to fabricate an organic solar cell having it. The device structure is FTO/ZnO:graphene/P3HT:PCBM/PEDOT:PSS/Ag. Morphology and chemical properties of ETL were confirmed by scanning electron microscopy(SEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), and Raman spectroscopy. As a result of XPS measurement, ZnO metal oxide and carbon bonding were simultaneously confirmed, and ZnO and graphene peaks were confirmed by Raman spectroscopy. The electrical characteristics of the manufactured solar cell were specified with a solar simulator, and the ETL device coated twice at a rate of 0.05 V/s showed the highest photoelectric conversion efficiency of 1.94%.

• Applied Microscopy
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• v.42 no.4
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• pp.194-199
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• 2012

The anatomy and morphology of seeds from 10 Hawaiian Portulaca taxa were examined to explore patterns of variation among the taxa, and to evaluate their phylogenetic relationships. Features of seeds were assessed employing microtechnique procedures, statistical analysis, and scanning electron microscopy (SEM). Anatomically, the orientation of embryo was consistent across taxa, and all seeds examined had central nutritive tissue and integuments comprising the peripheral embryo. Seeds were generally small, circular to ovoid in shape, and either smooth or rough-surfaced, with tubercules. Variation in seed size was noted, although minimal within small seeded group. The size of seeds ranged from 0.50~1.26 mm in length, and 0.55~1.34 mm in width, with similar weights. Seeds were distinguished by the sculpture and arrangement of the testa epidermis and the way in which their stellulate-tessellate cells uniquely fit together. Using a multiple range test (ANOVA), two groups were established by seed characteristics. The SEM also demonstrated morphological differences in testa sculpturing. The results obtained confirm the usefulness of seed characteristics in the identification of the species examined, and furthermore, allow for the separation of the Hawaiian Portulaca into two groups.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.284-284
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• 2010

We report a fabrication of 6, 13-bis(triisopropylsilylethynyl) (TIPS) pentacene nanowires that made on Si substrates by liquid bridge-nanotransfer molding (LB-nTM) with polyurethane acrylate (PUA) mold. LB-nTM is based on the direct transfer of various materials from a stamp to a substrate via a liquid bridge between them. In liquid bridge-transfer process, the liquid layer serves as an adhesion layer to provide good conformal contact and form covalent bonding between the TIPS-pentacene nanowire and the Si substrate. The patterned TIPS-Pentacene nanowires have been investigated by Atomic force microscopy (AFM), Transmission Electron Microscopy (TEM), Scanning Electron Microscopy (SEM) and electrical properties.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.536-536
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• 2012

나노와이어는 센서, 메모리소자, 태양전지등과 같은 다양한 소자로 응용이 되고 있다. Bottom-up 방법으로 길러진 나노와이어들을 금속전극 위에 정렬 및 접합시킬 때, 나노와이어와 금속전극간의 기계적 접합강도와 안정적인 전기적 특성이 매우 중요하다. 본 연구에서는 열압착 공정과 솔더전극(Cr/Au/In/Au, Cr/Cu/In/Au)을 사용함으로써, 나노와이어를 금속전극에 압입시켜 강한 기계적 접합강도와 안정적인 전기적 특성을 얻을 수 있는 공정을 제안하였다. 나노와이어와 금속 전극간의 접합부 분석을 위해 scanning electron microscopy (SEM)와 transmission electron microscopy (TEM)을 이용하였으며, 기계적 특성은 lateral force microscopy (LFM), 전기적 특성은 semiconductor analyzer (Keithley 4200-SCS)를 사용하여 측정하였다. 접합강도 측정결과 lateral force가 나노와이어에 가해질 때 나노와이어가 파괴되는 힘에서도 나노와이어와 금속전극간의 접합부파괴가 일어나지 않았다. 또한 나노와이어와 금속전극간의 전기적 접촉특성은 안정적인 ohmic contact을 이루었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.109-110
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• 2014

주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

• Proceedings of the SAREK Conference
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• 2006.06a
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• pp.95-98
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• 2006

Filtration by fibrous filter is one of the Principle methods used for removing pollutant particles in the liquid. Because of the increasing need to protect both human health and valuable devices from exposure to fine particles, filtration has become more important. Filters have been developed with modified surface charge characteristics to capture and adsorb particles by electrokinetic interaction between the filter surface and particles contained in water. The main purposes of this study are to develop and evaluate the performance evaluation of the apparatus for making a positively charged porous filter media and to analyze the surface characteristics of the filter media for capturing negavitely charged contaminants mainly bacteria and virus from water. The experimental apparatus consists of a mixing tank, a vacuum pumping system, a injection nozzle, a roller press and a controller. The filter media is composed of glass fiber(50-750 nm), cellulose($10-20{\mu}m$) and colloidal charge modifier. The characteristics of filter media is analyzed by SEM(Scanning Electron Microscopy), AFM(Atomic Force Microscopy) and quantified by measuring the zeta potential values.