Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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spring
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pp.367-370
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1999
일반적 인 SAW 필터에서 발생하는 선형성의 한계 및 천이대역의 특성을 개선하기 위한 새로운 구조의 이중구조 사다리형 SAW 필터의 최적 설계 방법을 제시하고 그 가능성을 확인하였다. 이중구조 SAW 필터는 일반적인 사다리형 필터의 구조를 바탕으로 하되, 두 개의 서로 다른 필터가 각각 주어진 대역사양을 반반씩 만족시켜 전체의 필터특성이 구현될 수 있도록 하였다. 특히 고주파 대역에서 만족시키기 어려운 정재파비 및 뛰어난 천이대역 특성을 만족시킬 수 있는 장점을 가지며, 이를 위해 withdrawal 가중기법 및 기판상에 encp화된 마이크로 스티 립라인 인덕터를 이용하였다. 우선 이중 구조 필터구조를 결정한 후, microstrip 라인 인덕터의 위치 및 인덕턴스 변화에 따른 필터특성 변화를 살펴보았으며, 필터의 각종 형상변수의 변화에 따른 필터 특성변화를 조사하였다. 이상의 결과를 바탕으로 새로운 방법의 이중구조 SAW 필터의 설계방법을 제시하였으며 그 타당성을 검증하기 위해 1.8 GHz 대역의 RF 필터에 대한 설계 결과를 나타내었다.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2005.07a
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pp.242-243
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2005
SAW filters were fabricated on $LiNbO_3$ substrates to evaluate frequency response and properties of photolithography. In the both of etch and lift-off methods, lift off method was superior to etch method in fabrication process. Frequency response property was measured by network analyzer. From a measurement of acoustic property, SAW propagation velocity was 3574.9m/sec for $LiNbO_3$ SAW filter.
Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference
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2001.11a
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pp.165-170
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2001
AIC$_3$:$^{t}$ BuNH$_2$단일 전구체를 이용하여 MOCVD방법에 의해 상압하에서 1$\mu\textrm{m}$의 두께로 증착하였다. 증착된 AIN 박막을 XRD, SEM, RBS 그리고 AES로 분석했으며 IDT전극을 형성하기 위해 1500+ 의 두께로 증착했다. 중심주파수 1.5GHz를 갖고 입출력 개수가 각각 500개이며 IDT선폭이 l$\mu\textrm{m}$인 전송형의 SAW filter를 제작하고자 하였다.
Journal of electromagnetic engineering and science
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v.12
no.4
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pp.227-233
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2012
This paper describes a novel and compact biosensing platform using an RF active system. The proposed sensing system is based on the oscillation frequency deviation due to the biomolecular binding mechanism on a resonator. The impedance variation of the resonator, which is caused by a specific biomolecular interaction results in a corresponding change in the oscillation frequency of the oscillator so that this change is used for the discrimination of the biomolecular binding, along with concentration variation. Also, a Surface Acoustic Wave (SAW) filter is utilized in order to enhance the biosensing performance of our system. Because the oscillator operates at the skirt frequency range of the SAW filter, a small amount of oscillation frequency deviation is transformed into a large variation in the output amplitude. Next, a power detector is used to detect the amplitude variation and convert it to DC voltage. It was also found that the frequency response of the biosensing system changes linearly with three streptavidin concentrations. Therefore, we expect that the proposed RF biosensing system can be applied to bio/medical applications capable of detecting a nano-sized biomolecular interaction.
Li-doped ZnO films were prepared on Corning 1737 glass substrate by an rf magnetron sputtering technique using ZnO targets with various $Li_2CO_3$ contents ranging from 0 to 10 mol%. The effects of Li doping on the crystallinity and electrical properties of ZnO films were studied for their SAW filter applications. The film resistivity largely increased without suppressing the c-axis orientation and crystallinity with a small addition of Li. Heat treatment of the film at 40$0^{\circ}C$ induced that the film resistivity, c-axis orientation and crystallinity slightly increased. However, heat treatment of the film at 50$0^{\circ}C$ resulted in much lower resistivity than that of as-deposited film due to the increase of electron concentration caused by the evaporationof Li atoms from the ZnO film. Large addition of Li into the ZnO film rather diminished the film resistivity and suppressed the c-axis growth. It was concluded that a small doping of Li into the ZnO film and heat treatment at 40$0^{\circ}C$ caused the film resistivity to be high enough for SAW filter applications without suppression of the c-axis orientation and crystallinity.
Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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v.21
no.5
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pp.17-26
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1984
This paper reports the design methods and fabrication processes developed for a TV-lF SAW filter. The windowing method, the frequency sampling method, and the time sampling method were studied and compared to obtain a satisfactory initial impulse response. To obtain high attenuation near the trap frequency, diffraction effects were compensated. The 4fo sampling technique was used for avoiding multiple reflections at finger edges and obtaining an asymmetrical frequency response, and effective photolithographic techniques were used for electrode fingers with 11.2$\mu$ width. The developed filter is of sufficiently small size to be cost-effective and satisfies the industry specifications required for mass production.
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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v.10
no.4
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pp.309-317
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2000
Langasite is a promising new piezoelectric material for SAW filter application. Little was known until recently about the methods needed to mechanically polish and chemically polish/etch this material. In this experiment, polishing, slurry chemistry and chemical wet etching for langasite is described. Conventional quartz and LN ($LiNbO_3$) polishing methods did not produce satisfactory polished surfaces, and polishing with a colloidal silica slurries has shown to be most effective. The optimum condition was investigated by changing the slurry chemistry. As the planarization effect is very important in SAW filter applications, the examination of the effective particle number effect and the particle size effect was carried out. Z-cut langasite surface which had been polished with the colloidal silica slurries was etched in a variety of etchants. Conventional quartz etchants destroyed the polished surface. Other etchants formed a thin film on the surfaces. In this experiment, the reaction between langasite and a few etching solution was analysed. And an appropriate selective etchant solution for analyzing the defects was synthesized.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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1991.10a
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pp.68-72
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1991
In this study, to improve temperature stability 0.05 Pb(Sn$\_$$\frac{1}{2}$/Sb$\_$$\frac{1}{2}$/O$_3$ - 0.35PbTiO$_3$ - 0.60PbZrO$_3$ + 0.4[wt%]MnO$_2$ piezoelctric oeramics of low dielectric constant and large mechanical quality factor were manufactured with the addition of Cr$_2$O$_3$by Hot Press method. And the SAW delay line was fabricated and the propagation characteristics of SAW was investigated, and the SAW filter was fabricated on C4 added by 0.2[wt%] Cr$_2$O$_3$and its frequency characteristics was investigated. The specimen, whose propagation characteristics of surface acoustic wave were the best, was C4 added by 0.2[wt%] Cr$_2$O$_3$, and its electromechanical coupling factor(ks$^2$) was 3.11[%] and its temperature coefficient of the center frequency (C$\_$fo/) was -21.27[ppm/$^{\circ}C$]. The 31[MHz] SAW IF filter of C4 scarcely had diffraction phenomena and its group delay time was 1.4673 ${\pm}$40[ns] in the pass band, and the insertion loss was -24.419[dB] on no impedance matching.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.7
no.3
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pp.19-25
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2000
In this paper, we describe RF receiver module for IMT-2000 handset with 5 MHz channel bandwidth. The fabricated RF receiver module consists of Low Noise Amplifier, RF SAW filter, Down-converter, If SAW filter, AGC and PLL Synthesizer. The NF and IIP3 of LNA is 0.8 dB, 3 dBm at 2.14 GHz, conversion gain of down-converter is 10 dB, dynamic range of AGC is 80 dB, and phase noise of PLL is -100 dBc at 100 kHz. The receiver sensitivity is -110 dBm, adjacent channel selectivity is 48 dBm.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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