주 연구에서는 압전체에서의 IDT 변환기, 음향 반사기에 대한 전기 음향 모드의 결합 모드 방정식을 유도, 정리함으로써 SAW 공진기 필터의 결합 모드를 수학적으로 분석할 수 있는 모델링 방법을 소프트웨어 설계 모듈화하고, SAW 공진기 필터를 구성하고 있는 각 구성 요소에 대한 회로적인 결합 방법의 제안을 통하여 SAW 결합 모드 공진기 필터의 설계 및 시뮬레이션 방법을 제안하였다. 또한, 제작된 소프트웨어 설계 모듈을 시뮬레이션 소프트웨어 패키지화함으로써 설계자가 손쉽게 이동통신기기용 결합 모드 공진기 필터를 설계할 수 있도록 그래픽 사용자 인터페이스를 갖는 SAW 결합 모드 공진기 필터의 설계 시뮬레이터를 구현하였으며 이를 통하여 이동통신기기에서 사용할 수 있는 결합 모드 공진기 필터를 모의 설계하고 주파수 특성을 해석함으로써 그 응용 타당성을 제시하였다.
In this paper, we proposed the newly design method for extracting of the saw resonator characteristic. For the parameters of the proposed equivalent model, we adjusted and optimized the variables of several functions. As verification of proposed method, we firstly designed and fabricated cellular saw resonator by using the proposed model resonator. As the simulated and measured results of the proposed design method are almost equaled, we confirmed the usefulness of this method. we knew the usefulness of this method. Finally we designed the 800MHz cellular Tx/Rx band pass filter by using this designed resonator.
본 논문에서는 단일 SAW 공진기의 불규칙적인 전극배열에 대한 주파수 특성을 계산할 수 있도록 기존의 Smith 등가회로를 이용한 집중소자 해석법을 한 단계 발전시켜 불규칙적인 전극배열까지 해석할 수 있는 수정된 집중소자 해석법을 처음으로 유도, 제시하였다. 이를 위해 단일전극에 대한 Smith 등가회로의 y-파라미터를 유도하고 이를 전체 IDT로 조합한 경우의 총 전류를 계산함으로써 전극단에서의 어드미턴스 값을 수식으로 유도하였다. 이 수식을 통해 위드로월 (withdrawal) 가중이 부여된 SAW공진기의 집중소자해석이 가능하며 그 예로서 여섯 개의 공진기를 결합한 사다리 필터를 구성하고 이 때 각 공진기의 위드로월 가중에 따른 필터 특성변화를 조사하였다. 그 결과 SAW 공진기에 위드로월 가중법을 적용할 경우 기존의 단순공진기 필터에 비해 더욱 개선된 대역폭과 천이대역의 특성을 구현할 수 있었다. 본 해석법은 공진기형 SAW필터의 설계 및 분석도구로 유용하게 활용될 수 있을 것이다.
본 논문에서는 공진기의 임피던스 변화에 근거한 생체 신호 센서를 제안한다. 제안된 생체 신호 센서는 호흡과 심장 박동 같은 생체 신호를 감지할 수 있고, 시스템은 공진기, 발진기, SAW 필터, 그리고 파워 감지기로 구성되어있다. 인체와 같은 유전체의 주기적인 움직임은 근거리 장 영역 안에서 공진기의 임피던스 변화를 야기하며, 따라서 공진기의 공진 주파수의 변화는 발진기의 발진 주파수 변화에 영향을 끼친다. 여기서 SAW 필터 저지대역의 가파른 주파수 응답특성은 작은 양의 주파수 편차를 큰 변화로 바꿀 수 있다. 기존의 센서의 감지 거리를 확장시키는 것을 목적으로 ISM 대역 870 MHz 대역에서 동작 시켰으며, 최대 거리 120 mm에서 호흡과 심장 박동신호의 검출을 확인하였다.
This paper presents a surface acoustic wave(SAW) micro-electro-mechanical-systems(MEMS) interdigital transducer (IDT) gyroscope with 80MHz central frequency on a $128^{\circ}\;YX\;LiNbO_3$, which is consisted of a two-port SAW resonator, metallic dots and dual delay lines for the sensor and reference oscillators. Reason for using two delay line oscillators is to extract the gyroscope effect by comparing the resonant frequencies between two oscillators and to compensate the temperature effect. Based on the coupling of modes(COM) simulation, an 80MHz two ports SAW resonator and dual delay line were fabricated and characterized by the network analyzer. Obtained sensitivity was $109Hz/deg{\cdot}s^{-1}$ in the angular rate range of $0{\sim}1000deg/s$. Good Linearity and superior directivity were observed.
본 논문에서는 공진기와 인체와의 거리에 따른 근접 전자기장 변화에 의한 공진기 임피던스의 변화를 토대로 사람의 호흡 및 심박신호를 검출할 수 있는 센서를 제안한다. 제안된 생체신호 측정센서는 패치형 공진기가 결합된 발진기, 발진주파수의 2채배 주파수만 통과시키기 위한 다이플렉서, 증폭기, SAW 필터 및 RF 검출기로 구성되어 있다. 호흡과 심박신호와 같은 인체의 주기적인 움직임은 근접 전자기장 영역 안에서 공진기의 임피던스 변화를 야기하며, 발진기의 주파수를 변화시킨다. 감도를 향상시키기 위해 발진주파수의 2채배 주파수 천이를 SAW 필터의 저지대역에 위치시킴으로써, 제안된 센서의 검출 거리를 2배로 확장시킬 수 있다. 제안된 센서의 측정결과, 최대 40 mm까지 호흡 및 심박신호가 안정적으로 측정되는 것을 확인하였다.
The double mode SAW resonator filters have the serious shortcoming that out-of-band rejection above the passband is quite poor. Hence a new structure of the double mode filter is designed with the COM (Coupling Of MOdes) theory with better out-of-band rejection characteristics while keeping all the beauties of the conventional type. The second goal of the design is to reduce the planar size of the structure so that mass productivity of low frequency devices can be improved. For those purposes, several IDT's and relfector gratings are added to or subtracted from the conventional structure so that the modification can lead to better overall performance as a filter. As results of the investigation, several new double mode SAW resonator filter structures are developed. A new structure shows 10dB more out-of-band rejection that the conventional type with 25% reduced device size. Good agreement is demonstrated between the analytical results and experimental results for an illustrative 325MHz four pole resonator filter on 64°YX LiNbO3.
In this letter, we proposed a novel DGS (Defected Ground Structure) microstrip resonator. The proposed DGS resonator has the resonant and anti-resonant characteristic that is very similar to those of a SAW resonator or a FBAR. In order to confirm the validity of the proposed resonator, we designed and implemented bandpass fitters by using series ana parallel resonators.
In this work, we discuss simulation of surface acoustic wave device using Comsol Multiphysics. The structure SAW device based on piezoelectric thin film aluminum-nitride (AlN) on silicon was simulated. Some parameters of SAW device such as surface velocity, displacement of piezoelectric thin film were evaluated by software. Many modes and shapes of wave are also discussed in this paper. For evaluation physical parameters of AlN piezoelectric layer, the SAW resonator was modeled and simulation results were also compared with experiment results. we simulated arid evaluated the surface Rayleigh wave of AlN thin film on silicon substrate. Results simulation and experiment showed the surface velocity of AlN thin film was about 5200 m/s and shape of surface wave was also displayed. This paper has also proposed as method to study SAW characteristic of piezoelectric thin film and found out measurement values accurately of film such as stiffness matrix, piezoelectric matrix. These values are very important in calculation and design SAW device or MEMS device based on AlN piezoelectric layer.
본 논문에서는 2개의 동일한 1-Port 형 공진기를 병렬로 근접배치시킨 이중모드 SAW 공진기의 설계를 위하여, 우선, 결합 모드이론에 의한 1-Port 형 공진기의 특성을 기초로 하여, 도파로 모델을 적용한 이중모드 SAW 공진기의 특성을 분석하였으며, 이를 이용해서 중심 주파수가 150.15MHz이고 대역폭이 80KHz인 2-Pole 및 4-Pole 협대역 필터를 설계.제작 하였다. 이중모드 SAW 필터를 설계변수를 달리하여 여러 번 제작.실험하여 실험치와 이론치를 비교함으로써, 제품 설계에 사용 가능한 실험적 설계 특성을 얻었으며, 이동통신기기에서 사용될 수 있는 헙대역 통과 필터를 구현하였다. DMS 공진기를 구성한 압전 기판으로는 높은 주파수에서도 온도변화에 의한 주파수 이동 및 물성의 변화가 적은 ST-cut quartz(수정)를 선택하였으며, 필터의 제작은 정확한 전극구조를 얻기 위하여 고해상도 사진 식각법과 전극의 수직식각특성이 우수한 이온반응 식각법(Reactive Ion Etching)을 적용하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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