AlN 박막을 이용한 5.2GHz Wireless Local Area Network용 박막형 체적탄성파 공진기의 제조 및 특성 (Fabrication and Characteristics of Film Bulk Acoustic Wave Resonator for Wireless Local Area Network Using AlN Thin Film)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 춘계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.56-56
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- 2003