금속유기 화학증착법으로 증착시킨 $RuO_2$ 박막의 성장에 미치는 증착온도와 산소의 영향
(Effect of Deposition Temperature and Oxygen on the Growth of $RuO_2$ Thin Films Deposited by Metalorganic Chemical Vapor Deposition)
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- 한국세라믹학회지
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- 제34권3호
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- pp.241-248
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- 1997