집적광학 바이오케미컬 센서에 적합한 Si3N4/SiO2 슬롯 및 릿지-슬롯 광 도파로 제원 최적화 및 감지도 해석 (Specification optimization and sensitivity analysis of Si3N4/SiO2 slot and ridge-slot optical waveguides for integrated-optical biochemical sensors)
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- 센서학회지
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- 제30권3호
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- pp.139-147
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- 2021