Specification optimization and sensitivity analysis of Si3N4/SiO2 slot and ridge-slot optical waveguides for integrated-optical biochemical sensors (집적광학 바이오케미컬 센서에 적합한 Si3N4/SiO2 슬롯 및 릿지-슬롯 광 도파로 제원 최적화 및 감지도 해석)
-
- Journal of Sensor Science and Technology
- /
- v.30 no.3
- /
- pp.139-147
- /
- 2021