$TaN/Al_{2}O_{3}$ 박막 저항소자 개발에 관한 연구
(A study on TCR characteristic of $TaN/Al_{2}O_{3}$ thin film resistors)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체재료 기술교육
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- pp.82-85
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- 2002