In this stydy, submicron shallow trenches applied to STI(shallow tench isolation) were etched using inductively coupled $CI_2$/HBr and $CI_2/N_2$plasmas and the physical and electrical defects remaining on the etched silicon trench surfaces and the effects of various annealing and oxidation on the removal of the defects were studied. Using high resolution electron microscopy(HRTEM), Physical defects were investigated on the silicon trench surfaces etched in both 90%$CI_2$/ 10%$N_2$ and 50%$CI_2$/50%HBr. Among the areas in the tench such as trench bottom, bottom edge, and sidewall, the most dense defects were found near the trench bottom edge, and the least dense defects were found near the trench bottom edge, and least dense defects compared to that etched with ment as well as hydrogen permeation. Thermal oxidation of 200$\AA$ atthe temperature up to $1100^{\circ}C$apprars not to remove the defects formed on the etched silicon trenches for both of the etch conditions. To remove the physicall defects, an annealing treatment at the temperature high than $1000^{\circ}C$ in N for30minutes was required. Electrical defects measured using a capacitance-voltage technique showed the reduction of the defects with increasing annealing temperature, and the trends were similar to the results on the physical defects obtained using transmission electron microscopy.
In this paper, variable windowing mean filter to remove speckle noise and a measure to detect thin edge in ultrasonic images are proposed. Because ultrasonic images are corrupted by speckle noise showing a granular appearance, good edge detection is difficult. As a result, noise removing filter is needed in preprocessing stage. The speckle noise removing filter is based on mean filter whose window size is changed by the ratio of standard deviation to mean for image signal and noise signal in local area. And the measure expressed the difference of means between tow windows is used for detecting thin edge in filtered image. Results show that variable windowing mean filter removes speckle noise effectively, and proposed measure is useful in detecting thin edge.
Jet flows applied tangential to a foil surface near the leading and/or trailing edges increase the lift of the foil by delaying the separation also known as the Coanda effects. Many experimental and numerical studies have proven the effectiveness of Coanda effects on circulation control and the effects have been found to be useful in practical application in many aerodynamics fields. Most of the previous works have studied the effects of the jet blowing near the trailing edges and investigated the influence of jet momentum on lift. A few experimental studies, however, focused on the separation bubble that develops near the leading edge and applied jet flow the edge to remove the bubble but only to find decrease in lift. In the present paper, a Coanda foil of 20% thickness ellipse with modified rounded leading and trailing edges was investigated, and the flow around the foil was numerically studied. The blowing around the leading edge only decreased the lift, as the experiments showed, but the suction considerably increased the lift.
The purpose of this paper is to propose new techniques to match measured optical images by using the edge abstraction method and differentiation method based on image processing technology. To do this, we detect the matching template and non-matching template from each optical image. And then, we detect the edge parts of the overlaped image from comer edge abstraction method and remove noise image. At last, these data are related to applied first-order derivative operator. Finally, we show the effectiveness and feasibility of the proposed method through some experiments.
디지털 영상 처리는 IoT 기술의 발전으로 폭넓은 분야에서 응용되고 있으며, 데이터 처리 과정에서 중요한 역할을 맡고 있다. 이러한 잡음을 제거하기 위해 다양한 기법들이 제시되었으나, 기존 임펄스 잡음 제거 방법들은 영상의 에지 성분의 잡음 제거에 미흡하며, 랜덤 임펄스 잡음의 영향을 크게 받는 단점을 지니고 있다. 따라서 본 논문에서는 랜덤 임펄스 잡음 환경에서 에지 성분의 잡음을 효과적으로 제거하는 알고리즘을 제안하였다. 제안한 알고리즘은 잡음의 수준을 판단하여 임계값을 계산하였으며, 기준치와 입력 화소값을 비교하여 필터링 과정을 스위칭하였다. 제안한 알고리즘은 기존 방법과 비교하여 우수한 성능을 보였으며, 시뮬레이션 결과 영상의 에지 부분에서 효과적으로 잡음을 제거하는 모습을 보였다.
Though median filter is used for removing noise and smoothing image. But, the result of it has distortion around edge. And then, this paper proposes new noise removing algorithm by recursive morphological processing. Basic operation is same each other, but there is some different processing method between recursive morphology and general morphology theory. This recursive morphological filter can be viewed as the weighted order static filter, and then it has a weighted SE(structuring element). Especially using this algorithm to remove the 10% gaussian noise, this paper confirmed that PSNR is improved about 0.642~1.5757 db reserving edge well better than the results of the traditional median filter.
Detecting edges is one of issues with essentialimprotance in the area of image analysis. An edge in an image is a boundary or contour at which a significant change occurs in image intensity. Edge detection has been studied in many addlications such as imagesegmentation, robot vision, and image compression. In this paper, we propose an automatic threshold selection scheme for edge detection and show its application to noise elimination. The scheme suggested here applied statistical properties of the noise estimated from a noisy image to threshold selection. Since a selected threshold value in the scheme depends on not the characgreistic of an orginal image but the statistical feature of added noise, we can remove ad-hoc manners used for selecting the threshold value as well as decide the value theoretically. Furthermore, that shceme can reduce the number of edge pixels either generated or lost by noise. an application of the scheme to noise elimination is shown here. Noise in the input image can be eliminated with considering the direction of each edge pixedl on the edge map obtained by applying the threshold selection scheme proposed in this paper. Achieving significantly improved results in terms of SNR as well as subjective quality, we can claim that the suggested method works well.
Pantograph sliding plate abrasion auto-detect system, one of the electric rail car auto-detecting devices, is a system that decides how much abrasion and when to replace without an inspector physically looking at the abrasion on the wet plate using machine vision, a cutting-edge technology. This paper covers the cause of deteriorating reliability that affects pantograph wet plate edge detection doe to noise added to the video when it rains. In order to remove such noise, problems should be checked through Smoothing, Averaging mask and Median filter using filtering technique and stable edge detection without being affected by noise should be induced in video measurement used in machine vision technology.
In this paper an efficient morphologica algorithm for reducing gaussian and impulse noise in gray-scale image is presented. Based on the edge information the input image is partitioned into a flat region and an edge region, then different algorithms are selectively applied to each region. in case of impulse noise, MGR (morphologica grayscale reconstruction) algorithm with directional SE (structuring element) is applied to the flat region. For theedge region opening-closing (closing-opening) is used instead of dialation (erosion), so that the remaining noise around large objects can be removed. In case of gaussian noise, 5*5 OCCO(opening closing closing opening) and 3*3 DMF(directional morphological filter ) are used for the flat region and the edgeregion, respectively. In order to remove discontinuity at the edge boundary, the algorithm uses 3*3 OCCO around the edge region to reconstruct the final image. Experimetnal results have shown that the proposed algorithm achieves a high performance in terms of noise removal, detail preservation, and NMSE.
The process of detecting edge in an image is an important component of many Pattern Recognition and Computer Vision applications. In many practical cases, there exist blurred images due to defocussing, movement of an object and so on. In addition, local perturbation noise can be added to the images. We propose the edge detection technique in blurred and noisy image. For this, we use Fuzzy pyramid linking mothod to remove noise and enhance the edge in images. We develop contrast intensifier using the concept of Fuzzy sets as a postprocessing.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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