Effects of rf nitrogen Plasma on the growth of GaN thin films by remote Plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition (원격 플라즈마 유기금속화학증착법에 의한 GaN 박막 성장에 미치는 rf 질소 플라즈마의 영향)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 1996.06a
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- pp.36-37
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- 1996