• 제목/요약/키워드: Reflection Type Digital Holography

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반사형 디지털 홀로그래피 현미경 시스템에서의 조사면적 및 재생면적의 확대기록 (Recording and Reconstruction of large object area by using Reflection type Digital Holography Microscope System)

  • 최규환;김성규;조동현;윤선규
    • 한국광학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.335-341
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    • 2006
  • 마이켈슨 간섭계 시스템에 두 개의 Convex Lens를 추가함으로서 평면파 참조광을 유지 시키며, 물체에 조사되는 물체광의 조사면적을 증대시킬 수 있는 변형된 마이켈슨 간섭계를 제작하였다. 변형된 마이켈슨 간섭계를 반사형 디지털 홀로그래피 현미경 시스템(Digital Holography Microscope System)에 적용한 결과 두 개의 Convex Lens를 추가하지 않은 고전 마이켈슨 간섭계를 사용한 디지털 홀로그래피 현미경 시스템 보다 넓은 영역에 대해 물체를 기록 할 수 있으며 또한 보다 넓은 영역을 재생 할 수가 있다.

반사형 디지털 홀로그래피를 이용한 Molybdenum 박막의 손상 측정 (Damage Measurement for Molybdenum Thin Film Using Reflection-Type Digital Holography)

  • 김경석;정현일;신주엽;마혜준;권익환;양승필;홍정기;정현철
    • 비파괴검사학회지
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    • 제35권2호
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    • pp.141-149
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    • 2015
  • 전자제품에 필수적으로 사용되는 전자회로의 제작 시, 반도체 위에 증착하는 박막의 산화를 방지하기 위하여 molybdenum을 증착한다. Molybdenum 박막 증착 시 표면의 particle 또는 dust의 존재는 밀착력 감소 및 성능 저하, 수명 단축, 안전도 저하를 유발한다. 본 논문에서는 particle의 유무에 따른 molybdenum 박막 증착부의 변화를 보기 위하여, 두 가지 glass substrate를 대상으로 손상 측정 실험을 하였다. Sputtering 증착 기법으로 molybdenum이 glass substrate에 직접 코팅이 되는 clean과 dirty 두 종류의 molybdenum 박막을 제작하고, 손상 측정을 위해 반사형 디지털 홀로그래피를 구성하였다. 반사형 디지털 홀로그래피는 간섭계의 구성이 손쉽고 다양한 배율렌즈를 적용하여 측정영역에 다양성을 줄 수 있으며, 측정시간이 타 기법에 비해 짧다는 장점을 가진다. 실험 결과로부터 반사형 디지털 홀로그래피가 박막의 손상 및 결함 측정에 유용한 기술임을 확인하였다.

반사형 디지털 홀로그래피 현미경 시스템에서 촬상소자의 유효기록 가능영역과 재생영역에 대한 연구 (Effective Area in CCD and Reconstruction Area in the reflection type Digital Holography microscope system)

  • 최규환;김성규
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2008년도 하계학술발표회 논문집
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    • pp.169-171
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    • 2008
  • 마이켈슨 간섭계 시스템에 두 개의 Convex Lens를 추가함으로서 평면파 참조광을 유지 시키며, 물체에 조사되는 물체광의 조사면적을 변화시킬 수 있는 새로운 형태의 마이켈슨 간섭계를 제작 하였다. 새로운 형태의 마이켈슨 간섭계를 반사형 디지털 홀로그래피 현미경 시스템(Digital Holography Microscope System)에 적용하여 촬상소자(CCD: Charge Couple Device)에 홀로그램 기록 시 기록 가능한 CCD의 유효 영역과 재생 가능 영역에 대해 연구를 하였다

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자체 홀로그램을 기준홀로그램으로 이용한 디지털 홀로그래피 연구 (Study on Digital Holography with Self-Reference Hologram)

  • 신상훈;조형준;정원기;김두철;유영훈
    • 한국광학회지
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    • 제22권5호
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    • pp.214-218
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    • 2011
  • 디지털 홀로그래피에서 자체 홀로그램을 기준 홀로그램으로 이용하여 왜곡이 제거된 3차원 영상을 얻는 방법에 대하여 연구하였다. 본 연구에서는 반사형 off-axis 홀로그래피 현미경을 구성하여 복수 공액 홀로그램을 얻었고, 복수공액 홀로그램 중 공간 주파수가 작은 부분을 추출하여 기준 홀로그램으로 사용하여 3차원 재생을 하였다. 그리고 이 기준 홀로그램을 이용하여 기울어 짐 왜곡현상을 제거하였다.