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Fe - Hf - O계 박막에서 조성이 미세구조 및 연자기 특성에 미치는 효과 (Effects of Composition on Soft Magnetic Properties and Microstructures of Fe-Hf-O Thin Films)

  • 박진영;김종열;김광윤;한석희;김희중
    • 한국자기학회지
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    • 제7권5호
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    • pp.237-242
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    • 1997
  • 초미세결정 구조를 갖는 Fe-Hf-O계 연자성박막을 Ar+ $O_{2}$ 혼합가스 중에서 산소분압을 10%로 고정하고 Hf의 면적비를 변화시켜 반응성 스퍼터링에 의해 제조하였다. 가장 우수한 연자기 특성을 나타낸 F $e_{82}$H $f_{3.4}$ $O_{14.6}$의 초미세결정 박막의 경우 증착상태에서 각각 포화자속밀도 17.7 kG, 보자력 0.7 Oe 및 실효투자율 (0.5 ~ 100 MHz) 2,500을 나타내었다. Fe-Hf-O계 박막의 조성은 고정된 산소분압 하에서 Hf함량의 변화에 따라 박막내 산소의 함량이 비례하여 변화하였다. 또한 미세구조는 Hf-oxide의 함량이 적은 경우에는 .alpha. -Fe 결정상에 Hf-oxide가 석출된 형태로 나타났으며 Hf-oxide의 양이 증가할수록 .alpha. -Fe 결정상과 Hf-oxide 비정질의 혼상을 거쳐 전체적으로 비정질로 변화하는 경향을 나타내었다. Fe-Hf-O계 박막의 전기비저항은 Hf-oxide의 양이 증가할수록 증가하는 경향을 나타내었고 가장 우수한 연자기 특성을 나타내는 F $e_{82}$H $f_{3.48}$ $O_{14.6}$ 박막의 경우, 약 150 .mu. .ohm. cm로 $O_{2}$를 첨가하지 않은 경우의 30 .mu. .ohm. cm에 비하여 약 5배 증가된 값을 나타내었다. 또한 Fe-Hf-O 박막의 성능지수는 수십 MHz 영역에서 20 ~ 50의 값을 나타내었다.내었다.다.내었다.다.

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SPDT 단일고주파집적회로 스위치용 pHEMT 채널구조 설계 (Design of pHEMT channel structure for single-pole-double-throw MMIC switches)

  • 문재경;임종원;장우진;지흥구;안호균;김해천;박종욱
    • 한국진공학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.207-214
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    • 2005
  • 본 연구에서는 스위치, 위상변위기, 감쇄기등 전파제어회로를 설계 및 제작할 수 있는 pHEMT스위치 소자에 적합한 에피구조를 설계하였다. 고성능의 스위치 소자를 위한 pHEMT 채널층 구조는 이중 면도핑층을 가지며 사용 중 게이트 전극의 전계강도가 약한 깊은 쪽 채널층의 Si 면농도가 상층부보다 약 1/4정도 낮을 경우 격리도등 우수한 특성을 보였다. 설계된 에피구조와 ETRI의 $0.5\mu$m pHEMT MMIC 공정을 이용하여 2.4GHz 및 5GHz 대역 표준 무선랜 단말기에 활용 가능한 SPDT Tx/Rx MMIC 스위치를 설계 및 제작하였다. 제작된 SPDT형 스위치는 주파수 6.0 GHz, 동작전압 0/-3V에서 삽입손실 0.849 dB, 격리도 32.638 dB, 그리고 반사손실 11.006 dB의 특성을 보였으며, 전력전송능력인 $P\_{1dB}$는 약 25dBm, 그리고 선형성의 척도인 IIP3는 42 dBm 이상으로 평가되었다. 이와 같은 칩의 성능은 본 연구에서 개발된 SPDT 단일고주파집적회로 스위치가 2.4GHz뿐만 아니라 SGHB 대역 무선랜 단말기에 활용이 충분히 가능함을 말해준다.

다양한 불안정면에서의 스쿼트 운동이 체간 및 하지 근육 활성도에 미치는 영향 (The Effect on Muscle Activation in Trunk and Low-limbs during Squat Exercise on Various Instability Surface)

  • 최남영;장희승;신윤아
    • 한국체육학회지인문사회과학편
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    • 제54권1호
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    • pp.505-514
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    • 2015
  • 이 연구는 다양한 불안정면에서의 스쿼트 운동이 체간과 하지근육의 활성도에 미치는 영향을 비교하는데 목적이 있다. 10명의 피험자가 안정면, 불안정면인 스타빌리티 블루와 블랙, 보수에서 75% 1RM의 강도에서 스쿼트 동작을 실시하였다. 체간근육으로는 복직근, 외복사근, 내복사근 및 다열근에 근전도를 부착하였고, 하지근육으로는 대둔근, 중둔근, 대퇴이두근, 대퇴직 근, 외측광근, 내측광근, 내측비복근, 외측비복근, 가지미근, 전경근에 근전도를 부착하여 스쿼트 동작의 상승과 하간구상의 근활성도를 측정하였다. 안정면과 불안정면에서의 근활성도를 비교하기 위하여 일원변량분석을 실시하였으며, 사후검증으로 sheffe를 이용하였다. 하강구간에서 근활성도는 보수에서의 스쿼트 동작 시 내측광근, 다열근, 대둔근과 중둔근의 활성도가 안정면과 다른 불안정면에서의 스쿼트 동작 시보다 높게 나타났다. 상승구간에서 근활성도는 보수에서의 스쿼트 동작 시 대둔근의 활성도가 안정면과 다른 불안정면에서의 스쿼트 동작 시보다 높게 나타났다. 이러한 결과는 보수에서의 스쿼트 동작이 체간근육과 둔근의 활성도를 증가시키는데 효과적이라고 제시할 수 있다. 그러나 하지근육의 활성도는 불안정성에 따른 차이가 없는 것으로 사료된다.