• Electrical & Electronic Materials
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• v.18 no.4
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• pp.3-11
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• 2005

• Electrical & Electronic Materials
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• v.13 no.9
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• pp.1-4
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• 2000

• The Magazine of the IEIE
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• v.21 no.8
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• pp.48-55
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• 1994

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.101-101
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• 2011

최근 반도체 및 디스플레이 사업의 급속한 발전으로 인해 반도체 공정은 초미세선폭화, 대면적화 되면서 오염입자를 제어하는 것이 이슈가 되고 있다. 반도체 및 디스플레이의 제조공정 중 챔버 내 진공부품은 진공상태에서 플라즈마에 의해 물리적인 데미지와 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼(Radical)반응에 의한 부식이 진행된다. 이러한 공정영향에 의해 챔버 내 부품들은 부식이 되고 공정 중에 오염입자가 발생하게 되어 반도체 및 디스플레이의 수율저하에 큰 영향을 미치고 부품교체 비용 또한 많이 들고 있다. 본 연구에서는 진공부품의 내전압측정방법을 이용하여 진공부품의 피막특성을 평가하는 연구방법으로서 내전압 지그(Zig)를 표준화하여 제작하였고, 재현성있는 데이터로 피막특성을 정량적으로 측정하는 방법을 연구 하였다. 식각공정 중에 발생하는 부식특성에 관해서는 화학부식와 플라즈마부식 열충격 등 각각 독립적으로 부식환경에 노출시켰으며, 진공부품의 손상 전 후의 내전압 특성변화를 이용하였다. 또한, CCP (Capacitativly Coupled Plasma)형의 RF magnetic sputter을 설계 제작하였고 진공부품에 고밀도 플라즈마를 발생시켜 플라즈마데미지에 의해 발생한 오염입자를 실시간으로 monitoring하여, 정량적으로 측정된 내전압특성결과를 비교 검증하였다.

• Electronics and Telecommunications Trends
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• v.7 no.2
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• pp.63-78
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• 1992

이동통신 및 위성방송등 마이크로웨이브를 이용하는 통신시스팀의 보급이 활발하게 진척됨에 따라 마이크로웨이브 대역에서 동작하는 부품의 산업적 중요성이 부각되고 있다. 여러가지 고주파통신용 부품들 중에서 유전체공진기를 이용한 RF 및 마이크로웨이브 필터와 진동자는 이들 부품의 소형화에 크게 기여하고 있다. 본 분석에서는 유전체 공진기의 소재로 이용되는 마이크로웨이브 세라믹스 및 그 응용부품의 발전과정을 간단히 살펴보았다. 또한 마이크로웨이브 유전체 소재에 대한 특성변수의 중요성을 검토하고, 세라믹 소재기술에 대하여 살펴본 다음 향후 고주파필터 부품개발과 관련한 마이크로웨이브 세라믹스 개발방향을 제시하였다.

• Electronics and Telecommunications Trends
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• v.34 no.5
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• pp.91-98
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• 2019

Optical frequency comb generators have been investigated as a signal source capable of generating highly stabilized ultrafast pulse lasers. The precise control of the optical frequency comb spacing by RF clock signals has led to a revolutionary paradigm shift in the precise measurement of time and frequency. Optical frequency combs also have advantages such as stable frequency spacing, stable number of lines, and robustness. Owing to these characteristics, optical frequency combs have been applied to the fields of high precision optical clock, communication, spectroscopy, waveform generation, and astronomy. In this article, we introduce the properties (i.e., generation methods, advantages, and so on) of various optical frequency combs, and discuss the expected future technological trends and applications.

• Journal of the Korea Safety Management & Science
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• v.18 no.3
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• pp.147-154
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• 2016

This paper suggests a specific model that could efficiently improve the interaction and the interface between MES(Manufacturing Execution System) server and PDA terminal through RFID(Radio Frequency Identification) system and bar-code system in automative transmission shipment place of the finished assembly parts. The proposed model shows that the new method by RF-Tag system can more efficiently perform to reduce processing time and loading time for shipment, compared with the current approach by bar-code system. It is noted in case of the method by RF-Tag that the effects of proposed model are as follows; (a) While the shipping lead time per truck for carrying by the current method was 35 minutes, the shipping lead time by the new method was 15 minutes. (b) While the accuracy for carrying by the current method was 50%, the accuracy by the new method was 99%.

• The Magazine of the IEIE
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• v.24 no.1
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• pp.38-46
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• 1997

최근 몇 년 동안 이동통신에 대한 시장 규모는 급성장을 보여왔다. 이러한 시장규모 성장에 힘입어 단말기에 사용되는 RF부품 제작 기술 또한 급진전됐으며 이동통신용 RF부품은 과거에 비해 놀라울 정도로 소형 경량화 되어 단말기의 휴대성을 더욱 높이고 있다. 특히 전압 제어 발진기의 경우 지난 10년 사이에 1/30 정도로 크기가 축소 됐으며 향후로도 계속적으로 축소되어 좀더 휴대하기 간편하고 편리한 다 기능의 단말기를 가능하게 할 것이다. 본 고에서는 과거 10년 동안의 전압제어발진기의 발전동향 및 추세를 살펴보고 현재 사용되는 전압제어 발진기의 구조 및 회로 동작 원리를 설명하고자 한다. 또한 향후 계속되어야 할 전압제어 발진기의 발전 방향을 전망해 보고자 한다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.07c
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• pp.1490-1491
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• 2006

포항가속기연구소 선형${\mu}$가속기의 대전력 RF부품의 시험과 RF증폭을 위해 사용되는 클라이스트론 튜브의 시험용 전원으로 펄스전원인 모듈레이터를 사용하고 있다. 고전적인 방식의 교류전압을 변환하여 직류로 만들고 이 전원을 L-C공진충전에 의해 펄스를 생성하는 펄스 커패시터에 약 2배의 직류전원으로 충전하는 기법을 사용하고 있다. 이들 전원은 저주파의 대용량 변압기를 사용하여 직류로 변환하는 부품들의 부피가 크다. 새로운 충전기법을 적용한 펄스전원의 경우는 고주파 인버터 전원을 채택하여 그 부피를 줄이고 지령충전에 의해 펄스를 생성하는 싸이라트론의 애노드에 고전압이 머무는 시간을 줄임으로서 자발방전이나 고전압 아크에 의한 오동작을 최소로 할 수 있다는 장점이 있다. 본 논문에서는 고주파 전원 방식을 채용한 펄스 모듈레이터의 제어방법의 개선과 부피를 줄여 운전의 효율성을 높인 내용으로 발표하고자 한다.

• Journal of Advanced Navigation Technology
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• v.6 no.4
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• pp.296-305
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• 2002

This paper suggests the parameters of the requirement conditions of minimum performance for a RF transceiver system design from the specifications of IEEE Std 802.11b and IEEE Std 802.11a. It has yielded the requirement conditions of minimum performance in the design process due to these parameters. A RF transceiver system is simulated by using Agilent ADS(Advanced Design System) after selecting the components of optimal conditions to fabricate the RF transceiver system. The results of both the analysis and the simulation will be used for a real wireless LAN design.