$CH_4$ 기체의 전자에너지 분포함수 해석
(The Analysis of Electron Energy Distribution Function in $CH_4$ Gas)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.43-46
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- 2004