• Title/Summary/Keyword: Pt(111)

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Properties of Sol-Gel PZT Thin films with Thickness for Micro Piezoelectric Actuators (마이크로 압전 엑츄에이터용 Sol-Gel PZT 박막의 두께 변화에 따른 특성)

  • 장연태;박준식;김대식;박효덕;최승철
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2001.05a
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    • pp.220-223
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    • 2001

  • Pb가 10% 과잉되고 Zr : Ti = 52 : 48 조성을 갖는 PZT sol이 Pt(3500Å)/Ti(400Å)/SiO₂(3000Å)Si(525㎛)기판 위에 스핀 코팅법으로 반복 코팅된 후, 450℃에서 10분, 650℃에서 2분간 반복 열처리되었다. 이와 같이 다양한 두께로 적층된 박막은 각 시편에 대해 최종적으로 650℃ 30분 동안 어닐링 처리되었다. 제조된 PZT 박막의 두께는 4100Å에서 1.75㎛사이의 4종이었다. 이어서 스퍼터링법으로 Pt전극이 PZT 막 위에 증착되었다. 제조된 PZT 박막의 결정 구조 조사를 위해 XRD, 그리고 미세 구조 및 전기적 특성을 알아보기 위해 FESEM과 P-E 이력 곡선이 각각 관찰되었다. 4100Å에서 1.75㎛까지 두께 증가에 따른 장비상의 포화 이력 한계로 잔류 분극(Pr)값이 25μC/㎠에서 다소 감소되었다. 측정된 X선 회절 결과에서 최초 4회 코팅시 perovskite 결정 구조로 성장한 결정립은 (111)배향이 우세하었으나, 두께가 증가됨에 따라 (111)/(110)값이 감소되었으며, 이를 통해 두께 증가에 따른 (111)배향성이 다소 감소됨을 알 수 있었다. 이상의 결과로부터 제조된 PZT 박막은 큰 힘과 높은 내전압 특성을 갖는 마이크로 압전 액츄에이터에 적용될 수 있을 것으로 생각되었다.

An Experimental Study on Comparison of Structural Behavior of PT Flat Plate and RC Flat Plate Interior Connections (PT 플랫 플레이트와 RC 플랫 플레이트 내부 접합부의 구조적 거동 비교에 관한 실험적 연구)

  • Lee Dong Keun;Ha Sang-Su;Han Sang Whan;Lee Li Ryung
    • Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.111-114
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    • 2005

  • While the existing reinforced concrete flat plate(RC flat plate) has a lot of advantages including reduced building height, it has some weak points such as many steel bars and the brittle rupture by punching shear. Compared with the RC flat plate, the post-tensioned flat plate (PT flat plate) has not only the same merits, but it also makes longer span possible and induces slab-column connections to be failed with the ductile behavior rather than with the brittle behavior by means of post-tensioning. However, it is difficult to define the joint behavior of PT flat plate under vertical and lateral loads since there are limit experimental results. For this reason, the experimental study is undertaken to investigate the comparison of behavior of PT flat plate and RC flat plate, and how flat plate(Gravity Load Resisting System) is displaced as lateral loads, like the wind and the earthquake, are occur. The result of this experiment shows that PT flat plate is generally superior to RC flat plate in terms of controlling crack, postponing stiffness deterioration, energy dissipation, etc.

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The Effect of Defect Sites on the Dissociation of NO on PT(111) Surface

  • 부진효;강용철;송명철;박종윤;곽현태;이순보
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.4
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    • pp.404-409
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    • 1993

  • Adorption of nitric oxide on the Pt(III) surface sputtered by Ar-ion has been studied using thermal desorption spectroscopy and Auger electron spectroscopy. Ar-ion sputtering creates a precursor state of ($NO\beta$ stage) adsorbe dat defect sites. The precursor state is characterized by the terminal bent species . At low coverge mos 샐 adsorbed NO dissociates . And as increasing the coverage, the fraction of dissociation remains about 80%.

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