The Effect of Sputtering Power on Amorphous Ga2O3 Deposited by RF Sputtering System (RF 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착한 비정질 Ga2O3 박막의 스퍼터링 파워에 따른 특성 평가)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.36 no.5
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- pp.488-493
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- 2023