• 제목/요약/키워드: Polymer-deposited surface

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공정안전용 Polymer Blend형 습도센서의 특성 연구 (Preparation and Properties of Polymer Blends Type Humidity Sensor for Process Safety)

  • 강영구;조명호
    • 한국안전학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.51-56
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    • 2004
  • Conductive polymer blends and composites are widely used for different safety application such as electrostatic charge dissipation(ESD), electromagnetic interference(EMI) shielding, electrostatic prevention and safety chemical sensor. In order to prepare a impedance-type humidity sensor that is durable at high humidities and high temperature, electically conductive polymer blends based on diallyldimethylammonium chloride(DADMAC) and epoxy were prepared in this study. The polymer blends type conductive ionomer exhibits reaction each other DADMAC and epoxy in FT-IR and DSC analysis. The blends material was traced by new peak at 1600cm-1 and appeard improvement of thermal resistance by melting point shift. Alumina substrate was deposited a pair of gold electrodes by screen printing. The blend material were spin-coated with a thin film type on the surface of alumina substrate. The polymer bleld type sensor exhibits a linear impedance increasing better than DADMAC coated humidity sensor. Also it shows good sensitivity, low hysteresis and durability against high humidity.

마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 polymer 기판위에 증착한 비정질 ITZO 박막의 Zn 함량 효과 (Effect of Zn Concentration on Amorphous ITZO Films Deposited on Polymer Substrate Using Magnetron Co-sputtering)

  • 권세희;강용민;이건환;송풍근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.134-134
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    • 2009
  • ITZO 박막은 2개의 캐소드 (DC, RF)를 이용하여 마그네트론 2원 동시 방전법에 의해 고온에서 안정한 polyimide 기판위에 상온에서 증착하고 $200^{\circ}C$에서 어닐링 하였다. XRD 측정 결과 어닐링 과정을 거친 막들은 Zn의 도입에 따란 결정성이 감소하다가 RF파워 280W에서 증착한 박막은 완전한 비정질 구조를 보였다. AFM 측정과 밴딩 테스트 결과, ITO 및 ITZO 박막들은 결정성이 감소할수록 매끄러운 표면과 낮은 저항 변화율을 보여주었다. 전기 비정항은 Zn 함량이 증가함에 따라 증가하였지만, 광학적 투과율은 $200^{\circ}C$ 어닐링 과정을 거친후의 막들에 있어서 증가됨을 보였다.

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Polymer 기판위에 증착된 ITZO 박막의 $TiO_2$ 버퍼층 두께에 따른 전기적, 기계적 특성 (Influence of $TiO_2$ Buffer Layer Thickness on the Electrical and Mechanical Properties of ITZO Films Deposited on Polymer Substrate)

  • 권세희;강용민;송풍근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.195-196
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    • 2009
  • ITZO 박막과 $TIO_2$ 버퍼층은 각각 두 개의 캐소드를 사용한 마그네트론 2원동시 방전법과 산소 함량 2%를 사용한 반응성 sputtering 방법으로 각각 증착이 되었다. 모든 박막들은 상온에서 폴리머 기판인 PET에 증착되었다. $TiO_2$ 버퍼층을 도입함으로써 ITZO/$TiO_2$ 박막은 비정질 구조를 보여 주었고, 그것들의 비저항은 버퍼층의 두께가 증가할수록 감소함을 관찰하였다. 특히 기계적 특징은 $TiO_2$ 버퍼층을 5nm 증착하였을 경우에 bending test와 광학 현미경의 crack정도를 관찰함으로써 향상되었음을 확인할 수 있었다. 투과율에 있어서 단일 ITZO 박막과 버퍼층을 5nm 도입한 박막은 가시광선에서 약 75%의 투과율을 가짐을 알 수 있었다.

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박테리아 부착억제 고분자 기반 고체 표면의 항균 코팅 연구 동향 (Recent Progress of Antibacterial Coatings on Solid Substrates Through Antifouling Polymers)

  • 고상원;이재영;박덕신
    • 공업화학
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    • 제32권4호
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    • pp.371-378
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    • 2021
  • 고체 표면의 박테리아 부착억제를 목적으로 고분자를 이용한 친수성 표면 개질 연구가 주목을 받고 있다. 부착억제기능은 세포독성이 아닌 작용으로 바이오필름 형성의 초기단계 방지를 목적으로 하며 친수성 또는 이온성 고분자가 도입된 고체 표면은 단백질, 박테리아 등 생물 개체의 부착방지에 효과적이다. 이는 표면에서의 친수층 형성으로 인한 표면 장벽 형성, 고분자 사슬에 의한 반발력과 삼투압성 응력 작용, 그리고 이온성 고분자와 세포 표면의 정전기적 상호작용에 기인한다. 부착억제를 위한 고분자의 표면 도입은 주로 표면 기능기와의 결합을 이용한 접합 방식과 자연모방 접착 기능기를 활용한 침적 방식으로 이루어지고 있다. 본 총설에서는 표면 도입 시 부착억제 기능을 보이는 대표적인 고분자의 종류, 코팅방법, 및 항균 특성을 소개하고 향후 공공시설, 산업 등으로의 대면적 응용을 위한 고려사항들을 다루고자 한다.

Deposition of Plasma Polymerized Films on Silicon Substrates Using Plasma Assisted CVD Method For Low Dielectric Application

  • Kim, M.C.;S.H. Cho;J.H. Boo;Lee, S.B.;J.G. Han;B.Y. Hong;S.H. Yang
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2001년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.72-72
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    • 2001
  • Plasma polymerized thin films have been deposited on Si(lOO) substrates at $25-400^{\circ}C$ using thiophene ($C_4H_4S$) precursor by plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD) method for low-dielectric device application. In order to compare physical properties of the as-grown thin films, the effects of the plasma power, gas flow ratio and deposition temperature on the dielectric constant and thermal stability were mainly studied. XRD and TED studies revealed that the as-grown thin films have highly oriented amorphous polymer structure. XPS data showed that the polymerized thin films that grown under different RF power and deposition temperature as well as different gas ratio of $Ar:H_2$ have different stoichiometric ratio of C and S compared with that of monomer, indicating a formation of mixture polymers. Moreover, we also realized that oxygen free and thermally stable polymer thin films could be grown at even $400^{\circ}C$. The results of SEM, AFM and TEM showed that the polymer films with smooth surface and sharp interface could be grown under various deposition conditions. From the electrical property measurements such as I-V and C-V characteristics, the minimum dielectric constant and the best leakage current were obtained to be about 3.22 and $10-11{\;}A/\textrm{cm}^2$, respectively.

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Synthesis of transparent conductive film containing solution -deposited poly (3, 4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) and water soluble multi-walled carbon nanotubes

  • Tung, Tran Thanh;Kim, Won-Jung;Kim, Tae-Young;Lee, Bong-Seok;Suh, Kwang-S.
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.205-206
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    • 2008
  • The transparent conductive film was prepared by bar coating method of poly (3, 4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) and poly (sodium 4-stylenesulfonate) grafted multi-walled carbon nanotubes (MWNT-PSS) nanocomposites solution on the polyethylene terephthalate (PET) film. In this case, multi-wall carbon nanotubes was treated by chemical methods to obtain water soluble MWNT-PSS and then blending with PEDOT. The non-covalent bonding of polymer to the MWNT surface was confirmed by Fourier transform infrared (FT-IR), thermal gravimetric analysis (TGA) and Transmission electro microscope (TEM) investigation also showed a polymer-wrapped MWNT structure. Furthermore, the electrical, transmission properties of the transparent conductive film were investigated and compared with control samples are raw PEDOT films.

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Dual-frequency $CH_2F_2/H_2/Ar$ capacitively coupled plasma를 이용한 실리콘질화물과 ArF PR의 무한 선택비 식각 공정 (Infinite Selectivity Etching Process of Silicon Nitride to ArF PR Using Dual-frequency $CH_2F_2/H_2/Ar$ Capacitively Coupled Plasmas)

  • 박창기;이춘희;김희대;이내응
    • 한국표면공학회지
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    • 제39권3호
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    • pp.137-141
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    • 2006
  • Process window for infinite etch selectivity of silicon nitride $(Si_3N_4)$ layers to ArF photoresist (PR) was investigated in dual frequency superimposed capacitive coupled plasma (DFS-CCP) by varying the process parameters such as low frequency power $(P_{LF})$, $CH_2F_2$ and $H_2$ flow rate in $CH_2F_2/H_2/Ar$ plasma. It was found that infinite etch selectivities of $Si_3N_4$ layers to the ArF PR on both blanket and patterned wafers can be obtained for certain gas flow conditions. The etch selectivity was increased to the infinite values as the $CH_2F_2$ flow rate increases, while it was decreased from the infinite etch selectivity as the $H_2$ flow rate increased. The preferential chemical reaction of the hydrogen with the carbon in the polymer film and the nitrogen on the $Si_3N_4$ surface leading to the formation of HCN etch by-products results in a thinner steady-state polymer and, in turn, to continuous $Si_3N_4$ etching, due to enhanced $SiF_4$ formation, while the polymer was deposited on the ArF photoresist surface.

폴리머 코팅층 레이저 직접묘화법을 이용한 미세패턴증착 (Deposition of Micropattern using The Laser Direct Writing Method with a polymer coating layer)

  • 이봉구
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제15권12호
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    • pp.6980-6985
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    • 2014
  • 레이저 직접묘화방법을 이용하여 절연기판($SiO_2$)위에 미세전도성패턴을 제조하였다. 레이저 유도증착공정은 레이저빔이 금속박막에 조사되면 레이저 빔의 빛 에너지가 금속박막에 흡수되어 열에너지로 바뀌면서 열전도에 의한 열분해반응으로 기판위에 증착이 일어난다. 본 논문에서는 금속박막위에 폴리머 코팅을 하여 레이저 직접묘화공정을 적용하여 미세패턴과 3차원 마이크로 구조물 제조에 관한 연구를 수행하였다. 평균 증착율은 전반적으로 레이저출력이 높을 수록 선형적으로 증가하고, 빔 스캔 속도가 감소할수록 증착율은 증가한다는 것을 확인하였다. Polymer 코팅층을 이용하여 미세전극을 증착하여 비저항값을 측정하여, 코팅층을 사용한 경우의 전기전도도가 코팅을 하지 않은 경우보다 약 3배정도 향상되는 것을 확인할 수 있었다.

Polymer Films with Electrospray Deposition, model and experiment

  • Rietveld Ivo B.;Kobayashi Kei;Yamada Hirofumi;Matsushige Kazumi
    • 한국고분자학회:학술대회논문집
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    • 한국고분자학회 2006년도 IUPAC International Symposium on Advanced Polymers for Emerging Technologies
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    • pp.284-284
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    • 2006
  • Electrospray deposited films of poly(vinylidene fluoride) were prepared with various conditions. A model has been developed, which provides the state of the electrosprayed droplet at impact. With a combination of the experimental films and the model calculations, it can be shown that growth rate, the increase of the sprayed solution on the substrate per second, defines the film morphology in electrospray deposition. Growth rate indicates which factors play the main role in the film formation process. The most important factors are liquid flow, surface tension and shear rate. The model can calculate the shear rate and it is shown that PVDF, and most likely polymers in general, has a large range of growth rates, where the morphology only depends on the shear rate of the depositing droplet. This method can also be used to describe electrospray deposition of other compounds.

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고분자 막이 코팅된 Boron doped diamond 전극에 의한 호르몬의 전기화학적 검출 효과 (Electrochemical detection effect of hormone in body by using polymer coated boron doped diamond electrode)

  • 황진희;조은인;박수길
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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    • pp.611-614
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    • 2003
  • The electrochemical oxidation of ascorbic acid(AA), serotonin(SE) and epinephrine(EP) have been performed at poly N,N-dimethylaniline(PDMA) film coated diamond electrode. This cationic polymer film is electrochemically deposited on boron-doped diamond electrode surface. Unlike the bard electrode, the polymer film-coated diamond electrode can well separate the oxidation potential of AA by 200mV. Thus this electrode can be successfully used for the simultaneoud detection of both species. Increases in the concentration of AA do not affect the reponse of EP and SE.

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