• Advances in aircraft and spacecraft science
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• v.1 no.1
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• pp.15-25
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• 2014

The developed concept of smart flow control based on turbulence scale modification was applied to control a flow around a circular cylinder. The concept was realized using arrays of vortex-generators regularly spaced along a cylinder generatrix with a given step. Mechanical and thermal vortex-generators were tested, the latter having been based on the localized surface heating or plasma discharges initiated with microwave radiation near the surface. Thus depending on a particular engineering solution, flow transport properties could be modified in passive or active ways. Matched numerical and experimental investigations showed a possibility to delay flow separation and, accordingly, to improve the aerodynamic performance of blunt bodies.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.05a
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• pp.27-29
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• 2005

Using a generalized regression neural network, etch microtrenching was modeled. All neurons in the pattern layer were equipped with multi-factored spreads and their complex effects on the prediction performance were optimized by means of a genetic algorithm. For comparison, GRNN model was constructed in a conventional way. Comparison result revealed that GA-GRNN model was more accurate than GRNN model by about 30%. The microtrenching data were collected during the etching of silicon oxynitride film and the etch process was characterized by a statistical experimental design.

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.37 no.1
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• pp.44.2-44.2
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• 2012

Cosmological shock waves result from supersonic flow motions induced by hierarchical clustering during the large-scale structure formation in the Universe. Suprathermal particles are known to be produced via plasma interactions at collisionless shocks in tenuous plasmas and they can be further accelerated to become cosmic rays (CRs) via diffusive shock acceleration (DSA). The presence of CR electrons has been inferred from observations of diffuse radio halos and relics in some merging galaxy clusters. We have calculated the emissions from CR electrons accelerated at weak planar shocks, using time-dependent DSA simulations that include energy losses via synchrotron emission and Inverse Compton scattering. The simulated nonthermal emission are used to model the synchrotron emission from several observed radio relics.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.07a
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• pp.1855-1856
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• 2008

본 연구에서는 공정 중에 민감하게 반응하는 플라즈마로부터 수집되는 이온에너지 분포(IED : Ion Energy Distribution)와 시계열 신경망 모델링을 결합한 플라즈마 감시 기술을 개발하였다. NIEA(Non-invasive ion analyzer)를 이용하여 IED를 측정하였으며, 모델링에 사용된 신경망은 자기 상관 시계열 신경망(A-NTS : Auto-Correlated Neural Time-Series)이다. 모델 개발을 위한 학습과 테스트 데이터로는 Duty ratio 100%에서 수집한 IED를 이용하였으며, 개발된 모델의 감시 성능은 60%에서 수집된 IED로 평가하였다. 학습인자 k와 m의 범위는 각각 1-3 으로 총 9종류의 (k, m) 조합에 대해서 모델 성능을 평가하였다. 신경망 은닉층 뉴런수는 2-9의 범위에서 최적화하였다. 최적화된 모델은 (2, 3)과 뉴런수 2에서 구해졌으며, 0.335의 예측 에러를 보였다. 60% IED 데이터로 평가한 결과 플라즈마 고장에의 민감도는 62% 이상이었다. 이는 IED의 A-NTS 모델이 플라즈마 고장의 감시에 효과적으로 적용될 수 있음을 의미한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.225-225
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• 2014

일반적인 Cosine law를 이용한 증착 두께의 분포에 대한 계산은 적분의 형태로 이루어져있다. LCD 8G 급의 경우 마그네트론 스퍼터링 타겟의 크기가 깊이 3 m, 폭 25 cm정도인데 대략 6~8개를 설치하여 공정 시간을 줄이고 있다. 이 때 한 쪽 방향으로 이동하는 기판이 타겟 표면과 이루는 각도는 아주 작은 각에서 수직으로 다시 음의 각도로 변화한다. 이 때 발생하는 박막의 미세 조직 변화는 박막 특성에 많은 영향을 준다. 이에 대한 연구를 위한 1단계로 타겟 표면과 기판 표면을 모두 미소 면적소로 구분하고 각각의 면적소 간에 이루어지는 증착 원자의 비행을 충돌이 없다는 가정하에 direct flux 알고리즘으로 처리하였다. 이 때 소요되는 계산 시간은 매우 길어서 single core CPU에서 serial job으로 처리하는 경우 여러 시간이 소요된다. 이에 대한 대안으로 OpenMP를 이용한 작업의 병렬화를 시도하였다. 4 core machine에서 최대 96%의 병렬 효율을 달성하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.216.2-216.2
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• 2014

플라즈마의 연속 운전 조건은 플라즈마 발생원의 기하적, 전기적 특성에 의한 공정 특성을 갖는다. RF power를 pulsing하는 경우 off시간에 하전 입자와 중성 라디칼의 소멸 특성의 차이로 인하여 나노 미세 구조의 식각에 유리한 측면이 있다. 유도 결합 플라즈마원을 주발생원으로 이용하는 건식 식각장비의 기판 바이어스를 rf pulsing하는 경우 유체 모델을 이용한 계산 방법에서 rf off 시간 중의 2차 전자 발생 계수를 rf on time시와 동일 하게 계산하거나 입사 이온의 에너지와 무관하게 0.05 등의 상수로 처리하는 경우가 많은데 본 연구에서는 rf bias off 시간 동안의 SEC(secondary electron coefficient)를 변화시키는 조건이 플라즈마의 특성에 어떤 영향을 미치는지 CFD-ACE+에 user subroutine을 이용하여 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.249-249
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• 2014

대면적 사각형 기판의 플라즈마 표면처리를 위한 유도 결합 플라즈마 발생 시스템의 수치 계산을 유체 모델을 이용하여 진행하였다. 연산 자원이 많이 요구되는 3차원 모델임을 감안하여 준중성 조건을 이용한 간략화 알고리즘을 사용하였다. Poisson 방정식을 풀지 않고 준중성 조건에 의한 양극성 전기장을 계산하여 이용한다. 쉬스는 모델을 이용하여 처리하였다. 1차적으로 사각 spiral 형태의 안테나를 가정하여 LCD 3세대 급의 기판을 대상으로 작성하였다. 다중 분할을 하지 않고 4개의 가지를 갖는 single spiral을 적용하였고 1.125 turn의 low impedance 구조에 대해서 계산하였다. Ar을 이용한 sputter etching 공정을 타겟으로 하여 기판에서의 Ar 이온 밀도 분포의 균일도가 어떤 설계 변수에 의해서 영향을 받는지를 중점적으로 계산하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2002.05c
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• pp.11-14
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• 2002

Accurate sets of electron collision cross sections for atoms and molecules are necessary for quantitative understanding and modeling of plasma phenomena. So, in this study, we explains the concept of electron collision cross sections for gases, and the principle of determination of the electron collision cross sections for atoms and molecules by using the present electron swarm method.

• Journal of Korean Society for Atmospheric Environment
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• v.8 no.2
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• pp.112-120
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• 1992

Twenty four metal, nonmetal elements and 4 major anions in total suspended particulates (TSP) collected at two sites in Daejon city from october to december in 1991 by a Hi-vol sampler were thoroughly analyzed by Inductively Coupled Plasma/ Atomic Emission Spectrometry (ICP/AES) and Ion Chromatography (IC). These analyzed data were used to perform a receptor modeling using the Chemical Mass Balance (CMB) for the source apportionment of TSP sample. Approximately 60% TSP weight in industrial complex area was influenced by potential industrial sources and 25% was by heating fuels and automobile emissions, whereas a half of TSP in residential area was influenced by surrounding environment and more than 35% of TSP was influenced by heating fuels. The CMB model provided source apportionment results reasonably and scientifically with a minor limitation.

• The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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• v.49 no.8
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• pp.487-494
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• 2000

This paper describes the design, fabrication and experiments of surface-micromachined aluminum micromirror array with hidden pin-joints. Instead of the conventional elastic spring components as connection between mirror plate and supporting structure, we used pin-joint composed of pin and staples to support the mirror plate. The placement of pin-joint under the mirror plate makes large active surface area possible. These flexureless micromirrors are driven by electrostatic force. As the mirror plate has discrete deflection angles, the device can be ap;lied to adaptive optics and digitally-operating optical applications. Four-level metal structural layers and semi-cured photoresist sacrificial layers were used in the fabrication process and sacrificial layers were removed by oxygen plasma ashing. Static characteristics of fabricated samples were measured and compared with modeling results.