• 제목/요약/키워드: Plasma Polymerization

검색결과 211건 처리시간 0.032초

새로운 반응장치를 이용한 기능성 플라즈마 중합막의 제작 (Formation of the functional plasma ploymerized thin films by a new type reactor)

  • 김종택;이상희;박종관;박구범;이덕출
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제7권1호
    • /
    • pp.72-76
    • /
    • 1998
  • 본 연구에서는 방전내에서 활성화된 라디칼의 반응을 촉진시키는 플라즈마중합을 통하여 기능성 유기박막을 합성하기 위해 새로운 형태의 유동가스형 반응장치를 개발하였 다. 중합을 위해서 스티렌 모노머를 사용하였으며 분자구조와 분자량 분포에 대한 분석을 행하였다. 제작된 플라즈마중합막은 우수한 성능의 전자빔 레지스트로서 평가되었다. 새로운 플라즈마 반응장치를 이용하여 제작된 박막의 감도는 습식공정에 의해 제작된 레지스트의 감도에 비해서 향상되었으며 깨끗한 패턴이 성공적으로 제작되었다.

  • PDF

플라즈마 공정을 이용한 전자빔 리소그래피 (E-beam Lithography using Plasma Processes)

  • 김성오;이진;이경섭;이덕출
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.575-577
    • /
    • 1999
  • In this study, the PPPI(Plasma Polymerized Phenyl Isothiocyanate) resist thin film was manufactured in accordance with the plasma polymerization method and after exposing it to an electron beam, a pattern was formed by plasma etching. With the FT-IR(Fourier transform-infrared spectrometry) analysis, it was confirmed that the PI(Phenl Isothiocyanate) monomer was successsfully produced into a thin film by the plasma. The polymerization rate of the thin film was 450~ 1012($\AA$/min) to 100-200(W) discharge power and 120-12($\AA$/min) to 0.1 ~0.4[torr] system pressure.

  • PDF

광중합기의 광원에 따른 브라켓 전단결합강도 비교 (Comparison of the shear bond strength of brackets in regards to the light curing source)

  • 차정열;이기준;박선형;김태원;유형석
    • 대한치과교정학회지
    • /
    • 제36권3호
    • /
    • pp.198-206
    • /
    • 2006
  • 제논 플라즈마 아크 광중합기나 LED 광중합기가 치과영역에 소개된 이후로 기존의 텅스텐 할로겐 광중합기를 사용할 때에 비해 교정장치의 부착시간이 현저하게 줄어들 수 있게 되었다. 제논 플라즈마 아크 광중합기에 대한 중합시간과 전단강도에 대해서는 여러 연구가 있어왔던 반면, LED 광중합기를 이용하여 교정용장치의 부착을 위한 중합시간에 대한 연구는 미진하다. 본 연구의 목적은 LED 광중합기의 중합시간에 따른 결합강도를 플라즈마 아크 광중합기와 비교하여 적절한 브라켓의 부착강도를 얻기 위해 요구되는 중합시간을 알아보는데 있다. 120개의 발치된 사람의 소구치에 컴포짓 레진으로 브라켓을 부착시킨 후 4초, 6초, 8초 동안 플라즈마 아크 광원과 LED 광원으로 각각 중합시켰다. 그 후 결합강도를 만능시험기(Universal Testing Machine)로 계측한 결과, 플라즈마 아크 광중합기에서는 4초 이상에서, LED 광중합기에서는 8초 이상의 중합시간에서 기존의 할로겐 광원을 40초간 노출시켰을 때와 비슷한 전단결합강도를 나타내었다. 플라즈마 아크 광중합기와 LED 광중합기의 중합시간이 접착제 잔류지수 (adhesive remnant index) 수치에 대해 영향을 미치지 않았다.

미반응 올레핀계 모노머 회수를 위한 복합막의 제조 (Preparation of Composite Membranes for Recovery of Unreacted Olefin Monomers)

  • 김현기;김상용;김성수
    • 멤브레인
    • /
    • 제20권4호
    • /
    • pp.297-303
    • /
    • 2010
  • 폴리올레핀 중합공정에서 발생되는 미반응 올레핀 모노머를 회수하기 위한 분리막/냉각응축 공정에 적용할 복합막을 용액 코팅공정과 플라즈마 중합공정의 두가지 방법으로 제조하였다. Polysulfone (PSF) 지지체 위에 poly(dimethylsiloxane) (PDMS) 용액을 코팅하였고 코팅 용액에서 prepolymer의 함량이 높을수록 올레핀 모노머의 선택도는 증가하였으나 막이 치밀하여지는 관계로 절대 투과량은 감소하는 경향을 보였다. 유기물의 복합막 투과는 용액확산 메커니즘에 의한 것으로서 임계온도가 높을수록 분리효율은 향상되고 molar volume이 증가할수록 투과도가 향상되었다. 또한 가교시간에 siloxane 계열의 물질을 plasma 종합하여 복합막을 제조하였는데 PSF 및 polypropylene (PP) 지지체를 사용하였다. 특히 지지체로 기존의 용액코팅 공정에서 사용되기 어렵던 PP 지지체 위에도 복합막을 코팅할 수 있었으며 용액코팅 공정으로 제조된 복합막과 유사한 성능을 나타내었다.

플라즈마 처리가 목분/폴리프로필렌 복합재의 계면에 미치는 영향 연구 (Study of Plasma Polymerization on Wood Powder/PP Composites Interface)

  • 하종록;김병선;이진우
    • Composites Research
    • /
    • 제26권3호
    • /
    • pp.170-174
    • /
    • 2013
  • 상온 상압 플라즈마 표면처리된 목분을 폴리프로필렌(polypropylene)과 혼합하였을 때 두 재료의 계면에 미치는 영향을 연구하였다. 목분과 폴리프로필렌을 압출기를 통해 기계적으로 혼합한 후 사출기를 이용하여 목분함유량 50 wt% 목분/폴리프로필렌(Wood Plastic Composite, WPC) 복합재를 제조하였다. 플라즈마 표면처리 공정에 가장 적합한 Monomer(모노머)를 찾기 위해 Oxygen, Benzene, CH-4, Acrylic-acid, Hexafluoroethane, Trifluorotolune, Hexamethyl-disiloxane(HMDSO) 등 7가지의 모노머에 대해 Contact angle(접촉각)을 측정하여 표면에너지를 계산하였다. 그 결과 HMDSO가 가장 높은 표면에너지를 나타내어 플라즈마 공정의 모노머로 적용하였다. 소수성인 폴리프로필렌과 친수성인 목분을 플라즈마 표면처리를 통하여 목분의 표면을 개질하였고 두 재료의 계면 결합력을 향상시킬 수 있었다. 기계적 물성평가 결과는 인장강도의 경우 최대 7.59%, 굴곡강도의 경우 최대 12.43%가 증가하였다. SEM(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 파단면을 관찰하였고 플라즈마 표면처리의 효과를 확인하였다.

Semi-Permanent Hydrophilization of Polyester Textile by Polymerization and Oxidation Using Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharge (APDBD)

  • Se Hoon Shin;Yoon Kee Kim
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제33권4호
    • /
    • pp.115-123
    • /
    • 2023
  • In this paper, we report and discuss the semi-permanently hydrophilic (SPH) treatment of polyester fabric using plasma polymerization and oxidation based on atmospheric pressure dielectric barrier discharge (APDBD) technology. SiOxCy(-H) was coated on polyester fabric using Hexamethylcyclotrisiloxane (HMCTSO) as a precursor, and then plasma oxidation was performed to change the upper layer of the thin film to SiO2-like. The degradation of hydrophilicity of the SPH polyester fabrics was evaluated by water contact angle (WCA) and wicking time after repeated washing. The surface morphology of the coated yarns was observed with scanning electron microscopy, and the presence of the coating layer was confirmed by measuring the Si peak using energy dispersive x-ray spectroscopy. The WCA of the SPH polyester fabric increased to 50 degrees after 30 washes, but it was still hydrophilic compared to the untreated fabric. The decrease in hydrophilicity of the SPH fabric was due to peeling of the SiOxCy(-H) thin film coated on polyester yarns.

Formation of hydrophilic polymer films by DC-plasma of monomer and reactive gases

  • Kim, Ki-Hwan;Park, Sung-Chang;doo-Jin choi;Jung, Hyung-Jin;Koh, Seok-Keun
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
    • /
    • pp.161-161
    • /
    • 1999
  • In the field of material science, the interests and efforts to modify the surface of materials in agreement with the need of usage have been extensively increasing. he modification to improve the wettability of surface is very important is terms of adhesion, printing, etc. It is very difficult to modify metal surface into hydrophilic one. therefore, surfactant coating has been generally used in many cases. However, surfactant has disadvantages such as environmental problem, soluble in water. in this study, hydrophilic polymer films as alternative of surfactant were deposited on metal substrate by DC plasma polymerization. Hydrophilic polymer films deposited by DC plasma show many merits such as good wettability, stone adhesion to substrate, high resistance to most chemicals. Monomer gas and reactive gas were used as source plasma polymerization. Plasma polymerized films were fabricated with process parameters of deposition time, ratio of gas mixture, current, pressure, etc. Effects of these variables on wettability of plasma polymer films will be discussed. With XPS and FT-IR analyses of plasma polymeric films, the relation between wettability and chemical state of polymer films by DC plasma was investigated.

  • PDF

플라즈마 중합된 폴리티오펜 필름의 제조 (Preparation of plasma-polymerized polythiophene films)

  • 김태영;김종은;김원중;서광석
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
    • /
    • pp.1419-1421
    • /
    • 2002
  • Plasma polymerization of thiophene was carried out in a vacuum reactor with capacitively coupled electrode. This paper describes the dependence of molecular structure and electrical properties on the polymerization conditions such as plasma energy, mass flow rate and pressure. The plasma polymerized thiophene films were chracterized by FT-IR spectroscopy and SEM. The IR analysis revealed the thiophene rings are broken by the discharge energy.

  • PDF

플라즈마 중합 처리된 중공사 막의 혈액 적합성 (Blood Compatibility of Hollow Fiber Membranes Treated with Plasma Polymerization)

  • 권오성;이삼철
    • 한국재료학회지
    • /
    • 제15권8호
    • /
    • pp.521-527
    • /
    • 2005
  • Surface modification of polypropylene hollow fiber membranes was peformed in order to develop blood-compatible biomaterials for use in the blood contacting and oxygenation membranes of a lung-assist device(LAD). Blood compatibility was determined by using anticoagulation blood and evaluating formation of blood clots on their surfaces as well as activation of plasma coagulation cascade, platelet adhesion, and aggregation. It was verified that the number of platelets on the silicone coated fibers was significantly lower than those on polypropylene. It was also found that the polypropylene hollow fiber membranes using plasma treatment exhibited suppression of complement activation in blood compatibility test.

Effect of HF and Plasma Treated Glass Surface on Vapor Phase-Polymerized Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Thin Film : Part I

  • Lee, Joonwoo;Kim, Sungsoo
    • 통합자연과학논문집
    • /
    • 제6권4호
    • /
    • pp.211-214
    • /
    • 2013
  • In this study, in order to investigate how consecutive treatments of glass surface with HF acid and water vapor/Ar plasma affect the quality of 3-aminopropyltriethoxysilane self-assembled monolayer (APS-SAM), poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) thin films were vapor phase-polymerized immediately after spin coating of FeCl3 and poly-urethane diol-mixed oxidant solution on the monolayer surfaces prepared at various treatment conditions. For the film characterization, various poweful tools were used, e.g., FE-SEM, an optical microscope, four point probe, and a contact angle analyzer. The characterization revealed that HF treatment is not desirable for the synthesis of a high quality PEDOT thin film via vapor phase polymerization method. Rather, sole treatment with plasma noticeably improved the quality of APS-SAM on glass surface. As a result, a highly dense and smooth PEDOT thin film was grown on uniform oxidant film-coated APS monolayer surface.