Abstract
A new gas-flow type reactor for plasma polymerization was developed to synthesize functional polymers, which enhances reaction of radicals activated in the discharge. Styrene was used for the plasma polymerization and molecular strucure and molecular weight distribution of the plasma -polymerized styrene were studies. The ploymer was evaluated to be an efficient electron beam resist. The sensitivity of the plasma-polymerized styrene film formed by this new reactor was better than that of the reported values of conventional polystyrene, Fine resist patterns could be successfully developed by a wet process.
본 연구에서는 방전내에서 활성화된 라디칼의 반응을 촉진시키는 플라즈마중합을 통하여 기능성 유기박막을 합성하기 위해 새로운 형태의 유동가스형 반응장치를 개발하였 다. 중합을 위해서 스티렌 모노머를 사용하였으며 분자구조와 분자량 분포에 대한 분석을 행하였다. 제작된 플라즈마중합막은 우수한 성능의 전자빔 레지스트로서 평가되었다. 새로운 플라즈마 반응장치를 이용하여 제작된 박막의 감도는 습식공정에 의해 제작된 레지스트의 감도에 비해서 향상되었으며 깨끗한 패턴이 성공적으로 제작되었다.