표면 마이크로머시닝을 이용한 산화된 다공질 실리콘 기판 위에 제조된 에어브리지를 가진 Coplanar Waveguides (Coplanar Waveguides with Air-Bridge Fabricated on Oxidzed Porous Silicon (OPS) Substrate using Surface Micromachining)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.2026-2028
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- 2002