• 제목/요약/키워드: Phase Interferometer

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위상측정 간섭계를 이용한 수십 ${\AA}$급 및 sub ${\AA}$급 반사경 기판 조도 평가 (Evaluation of surface roughness using phase-measuring interferometer for a few ten ${\AA}$ and sub ${\AA}$-rough substrates)

  • 조민식;정태호;오문수
    • 한국광학회지
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    • 제10권4호
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    • pp.283-288
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    • 1999
  • 위상측정 간섭계(phase-measuring interferometer)를 이용한 표면조도(surface roughness) RMS값 수십 $\AA$급과 sub $\AA$급 반사경 기판의 조도 평가 특성이 조사되었다. 위상측정 간섭계의 조도 측정오차에 대한 위상 및 강도 데이터 평균의 영향이 조사되었으며, 이를 근거로 조도 측정오차를 최소화하는 최적의 위상 평균횟수와 강도 평균횟수가 도출되었다. 수십 $\AA$급 샘플의 경우, 조도 측정값은 데이터 평균의 영향을 적게 받은 반면, sub $\AA$급 반사경 기판 조도 측정시에 위상 평균 30회, 강도 평균20회에서 안정적이고, 신호 대 잡음비가 최대인 조도 측정값을 얻을 수 있었다. 이때의 조도 측정값은 광학적 heterodyne 간섭계에 의한 조도 측정결과와도 잘 일치하였다. 최적 데이터 평균횟수에서 표면조도 측정 반복도 역시 0.01$\AA$이하의 양호한 측정오차를 보였다.

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층밀리기 간섭계에 의한 정량적 수차산출에 관한 연구 (A Study on Determination of Quantitative Aberration Using Lateral-Shearing Interferometer)

  • 김승우;김병창;조우종
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1996년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.459-463
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    • 1996
  • The lateral-shearing interferometer specially devised for production line inspection lenses is presented. The interferometer is composed with immersion oil and four prisms whose relative sliding motion provide lateral-shearing and phase-shifting. A special phase-measuring algorithm of a-bucket is adopted to compensate the phase-shifting error caused by the thickness reduction in the immersion oil Three different algorithm for determinating quantitative aberration of aspherical lenses are presented and compared with one another.

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Dual Optical Encryption for Binary Data and Secret Key Using Phase-shifting Digital Holography

  • Jeon, Seok Hee;Gil, Sang Keun
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제16권3호
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    • pp.263-269
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    • 2012
  • In this paper, we propose a new dual optical encryption method for binary data and secret key based on 2-step phase-shifting digital holography for a cryptographic system. Schematically, the proposed optical setup contains two Mach-Zehnder type interferometers. The inner interferometer is used for encrypting the secret key with the common key, while the outer interferometer is used for encrypting the binary data with the same secret key. 2-step phase-shifting digital holograms, which result in the encrypted data, are acquired by moving the PZT mirror with phase step of 0 or ${\pi}/2$ in the reference beam path of the Mach-Zehnder type interferometer. The digital hologram with the encrypted information is a Fourier transform hologram and is recorded on CCD with 256 gray level quantized intensities. Computer experiments show the results to be encryption and decryption carried out with the proposed method. The decryption of binary secret key image and data image is performed successfully.

Measurement of electron density of atmospheric pressure Ne plasma jet by laser heterodyne Interferometer with voltage

  • Lim, Jun Sup;Hong, Young June;Choi, Eun Ha
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.140.1-140.1
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    • 2015
  • Currently, As Plasma application is expanded to the industrial and medical industrial, Low temperature plasma characteristics became important. Especially in Medical industrial, Low temperature plasma directly adapted to human skin, so their plasma parameter is important. One of the plasma parameters is electron density, some kinds of method to measuring electron density are Thomson scattering spectroscopy and Millimeter-wave transmission measurement. But most methods is expensive to composed of experiment system. Heterodyne interferometer system is cheap and simple to setting up, So we tried to measuring electron density by Laser heterodyne interferometer. To measuring electron density at atmospheric pressure, we need to obtain the phase shift signal. And we use a heterodyne interferometer. Our guiding laser is Helium-Neon laser which generated 632 nm laser. We set up to chopper which can make a laser signal like a pulse. Chopper can make a 4 kHz chopping. We used Needle jet as Ne plasma sources. Interference pattern is changed by refractive index of electron density. As this refractive index change, phase shift was occurred. Electron density is changed from Townsend discharge's electron bombardment, so we observed phenomena and calculated phase shift. Finally, we measured electron density by refractive index and electron density relationship. The calculated electron density value is approximately 1015~1016 cm-3. And we studied electron density value with voltage.

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광섬유 Sagnac 간섭계를 이용한 초음파의 비접촉식 감지 (Non-contact Detection of Ultrasonic Waves Using Fiber Optic Sagnac Interferometer)

  • 이정주;장태성;이승석;김영길;권일범;이왕주
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제25권9호
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    • pp.1400-1409
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    • 2001
  • This paper describes a fiber optic sensor suitable for non-contact detection of ultrasonic waves. This sensor is based on a fiber optic Sagnac interferometer. Quadrature phase bias between two interfering laser beams in Sagnac loop is introduced by a polarization controller. A stable quadrature phase bias can be confirmed by observing the interferometer output versus phase bias. This method eliminates a digital signal processing for detection of ultrasonic waves using Sagnac interferometer. Interference intensity is affected by the frequency of ultrasonic waves and the time delay of Sagnac loop. Collimator is attached to the end of the probing fiber to focus the light beam onto the specimen surface and to collect the reflected light back into the fiber probe. Ultrasonic waves produced by conventional ultrasonic transducers are detected. This fiber optic sensor based on Sagnac interferometer is very effective for detection of small displacement with high frequency such as ultrasonic waves used in conventional non-destructive testing.

백색광 주사 간섭계에서 편광을 고려한 반사시 위상 변화 (Phase change on reflection considered of the polarization in white-light interferometer)

  • 김영식;김승우
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.276-279
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    • 2003
  • The phase change upon reflection from target surfaces in white-light interferometer induces measurement errors when target surfaces are composed of dissimilar materials. We prove that this phase change on reflection considered of the polarization of the white-light causes the shift of both envelope peak position and fringe peak position of several tens of nanometer. In addition, we propose a new equation of white-light interference fringe pertinent to the polarization of source.

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Phase Error due to Polarization Components of the Modified Triangular Interferometer

  • Kim, Soo-Gil
    • Journal of the Optical Society of Korea
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    • 제11권1호
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    • pp.10-17
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    • 2007
  • We need two operation modes to obtain the complex hologram without bias and the conjugate image in the modified triangular interferometer (MTI). To solve the problem, we proposed the optimized MTI with one wave plate, which can obtain cosine and sine functions by the combination of one wave plate and one linear polarizer. In the extraction of phase term using the combination of polarization components, the phase error occurs, and we analyzed such potential phase errors in the optimized MTI.

격자간섭계를 위한 탈봇 패턴 연구 (Study on Talbot Pattern for Grating Interferometer)

  • 김영주;오오성;김종열;이승욱
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제38권1호
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    • pp.39-49
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    • 2015
  • 격자 간섭계(grating interferometer)는 방사선 영상분야의 새로운 기술로서, 흡수 영상(absorption imaging)뿐만 아니라 위상차 영상(phase contrast imaging)과 다크필드 영상(dark field imaging)을 제공한다. 격자 간섭계는 크게 탈봇 효과(talbot effect)를 이용하는 탈봇 간섭계와 탈봇-라우 효과(talbot-lau effect)를 이용하는 탈봇-라우 간섭계로 나뉘는데, 일반적인 방사선 영상시스템과 달리 방사선의 간섭을 예측하고 적용하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 현재 부산대학교 중성자 및 방사선 공학 연구실에서 보유하고 있는 엑스선 격자 세트와 중성자 격자 세트를 이용하여 탈봇 간섭 패턴 및 탈봇-라우 간섭 패턴을 제작하였다. 이를 통해 방사선의 파동 거동에 따른 간섭 세기의 변화를 예측하고, 격자 간섭계를 구성하는 각 요소들을 계산했다. 그리고 격자의 종류 및 위상차 물체에 대한 탈봇 간섭 패턴 및 탈봇-라우 간섭 패턴을 예측하였다.

변형 삼각간섭계에서 위상오차가 3차원 복원영상에 미치는 영향에 관한 연구 (Effect of Phase Error on 3-D Image Reconstruction in the Modified Triangular Interferometer)

  • 김수길
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제23권10호
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    • pp.1-6
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    • 2009
  • 본 논문에서는 변형 삼각간섭계에서 발생하는 파장판의 불완전성, 파장판의 방위각, 그리고 선형편광기의 방위각 오차로 인한 홀로그램의 위상오차를 유도하고, 이러한 위상오차가 포함된 홀로그램을 시뮬레이션을 통해 복원해 봄으로써 복원영상에 대하여 변형 삼각간섭계의 위상오차가 미치는 영향을 분석하였다.

백색광주사간섭계에서 편광을 고려한 반사시 위상 변화에 대한 연구 (Phase change on reflection in a white-light interferometer as polarization is changes)

  • 김영식;김승우
    • 한국광학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.331-336
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    • 2004
  • 백색광주사간섭계는 금속 물질의 반사시 발생하는 위상 변화에 의해 금속의 두께 측정에서 수십 나노 미터(nm)의 오차를 갖는다. 실제로 반도체 공정이나 초 정밀가공 부품에 많이 쓰이는 금, 은, 알루미늄, 크롬 등의 금속은 약 10∼30 nm의 측정 오차를 야기 시킨다. 본 논문에서는 수치 해석을 통해 백색광의 편광을 고려한 반사시 위상 변화에 의해서 간섭무늬의 두 정점, 위상 정점과 가시도 정점이 이동함을 보인다. 또한 백색광의 두 편광성분, 수직 편광성분과 수평 편광성분에 의해 재구성된 간섭 무늬식을 제안한다.