Kim, Bong-Seo;Woo, Byung-Chul;Ha, Dong-Woo;Byun, Woo-Bong;Lee, Hee-Woong
Proceedings of the KIEE Conference
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1994.11a
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pp.212-214
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1994
At recent time, superconducting technology makes it possible to develop various devices using strong magnetic fields. As increasing with devices using high magnetic fields, magnetic shielding technology is essential in order to get high efficiency. Therefore it is necessary to establish production method and clear characteristics of suitable shielding materials. Usually, ferromagnetic metal has been used for shielding of high magnetic fields up to the present time. Instead of heavy ferromagnetic metal, we can acquire better upgraded shielding system by using of very light superconducting thin film that has a perfect diamagnetism. We would like to study basic characteristics of NbTi thin film produced by RF sputtering, investigated morphology and crystal structure of NbTi thin film by SEM and XRD, identified superconductivity measuring by critical current.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.02a
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pp.98-98
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2013
완전화 박막이란 사용자가 원하는 용도에 맞게 최적의 성능을 구현하도록 제조된 박막을 의미하며 금속이나 화합물 박막을 제조하되 각종 구조 제어 Tool이나 증착 공정을 변화시켜 나노화와 다층화 또는 치밀화를 통해 구현될 수 있다. 최근 고성능의 증착 및 제어 Tool이 개발되고 빗각증착(Oblique Angle Deposition)이나 스침각 증착(Glancing Angle Deposition) 방법 등의 기술이 개발되면서 사용자 목적에 최적인 박막 소재를 제공하여 User-friendly한 응용을 위한 연구개발이 활발히 진행되고 있다. 완전화 박막 제조에 대한 시도는 1990년대에 일본에서 시작되었다. 일본에서는 산학연이 공동으로 참여하는 NEDO 프로그램을 통해 경질코팅을 이용한 Protective Layer를 제조하여 차단 방식에 의한 내식성 구현 연구를 수행하였다. 유럽에서는 제 7차 European Framework Program (7th FT)을 통해 2007년부터 CORRAL (Corrosion Protection with Perfect Atomic Layer) 프로젝트를 만들어 완전화 박막 연구를 진행하고 있다. 상기 프로젝트는 얇은 자연 산화막이 Bulk의 부식을 방지해주는 것에 착안하여 HIPIMS나 Filtered Arc 또는 ALD 공정을 이용하여 자연 산화막과 유사한 Defect-free 산화막을 제조하여 Barrier형 내식성 박막을 구현하는 것을 목표로 하고 있다. 본 연구에서는 완전화 박막 구현을 위한 연구동향을 파악하고 완전화 박막 제조를 위한 기술적 과제와 몇 가지의 시도에 대한 기초 연구 자료를 소개한다.
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2013.05a
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pp.61-61
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2013
진공증착으로 제조된 박막은 주상정 조직으로 성장하여 박막 내에 기공을 포함하는 것이 일반적이다. 박막의 조직변화를 통한 특성 향상은 박막을 치밀하게 제조하거나 자연 산화막 등과 같이 원하는 형상의 조직을 형성하는 것이며 이를 위해 완전화 박막이라는 개념이 등장하였다. 본 논문에서는 완전화 박막의 제조를 위한 빗각 및 스침각 증착 기술을 소개하고 금속 및 화합물 박막의 빗각 증착 사례를 소개하고자 한다.
Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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2011.05a
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pp.31-32
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2011
완전화 박막은 박막의 구조를 원하는 목적에 최적이 되도록 제어하는 방법을 이용하여 만들어진 박막을 의미하는 것으로 금속이나 화합물 박막을 제조하되 각종 구조 제어 Tool을 이용하여 나노화나 다층화 및 치밀화를 통해 구현될 수 있다. 최근 고성능의 증착 및 제어 Tool이 개발되고 스침각 증착 (Glancing Angle Deposition; GLAD) 방법 등의 기술이 개발되면서 User-defined 박막을 통해 User-friendly 응용을 위한 연구개발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 완전화 박막 구현을 위한 연구동향을 파악하고 완전화 박막 제조를 위한 기술적 과제와 몇 가지의 시도에 대한 기초 연구 자료를 소개한다.
Visual Effects have been revered as 'Spectacular' film elements for a long time, and once there was a misunderstanding that they destroyed the actual 'Story'. But, now they are becoming a valuable tool for storytellers. A film pursues a perfect narrative structure and visual reality so that the audience can believe the story as a real. Giving a narrative motif to the audience, they use Visual Effects that provide the technical solutions and -at the same time- they create and preserve the diegetic world that Is either believable or not. This research suggests that we analyze precisely and make a classified table of the narrative use of Visual Effects based on the previous research of Shilo T. McClean. First, we can ask if the narrative motif would be there in front of the camera, From there, we then can get two desired answers. One is, if there is nothing to visually stand up, Visual Effects can intervene as an alternative tool for creating the diegetic world. The other is that Visual Effects can be used for preserving the diegetic world as a necessary tool. Then, in the latter, we can consider whether there is a storyteller's purpose to be added, so we can distinguish the details. This classified Visual Effects for the narrative is able to dispense proof that they can be worthy as to provide a 'Spectacuiar' aura as to create and preserve the diegetic world. I would like to argue that this research could be a foundation for the inter-progress of future studies for visual effects as well as for their amazing technological improvements.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2011.02a
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pp.506-507
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2011
경사코팅 기술(Oblique Angle Deposition; OAD)은 입사 증기가 기판에 수직으로 입사하지 않고 90도 보다 작은 각도로 비스듬히 입사하도록 조절하여 코팅하는 물리증착 기술의 하나로 피막의 조직을 다양하게 제어할 수 있는 방법으로 알려져 있다. 초기의 경사 코팅 기술은 경사각을 가진 정지된 기판 상에 코팅하였으나 최근에는 기판의 각도와 회전을 동시에 조절하여 이루어지는 소위 스침각 증착(Glancing Angle Deposition; GLAD) 기술이 개발되어 다양한 형태의 구조를 제어하는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히, 컴퓨터를 이용하여 입사각과 방위각을 정밀 제어함에 의해 나노 스케일의 Zigzag 및 나선형, 기둥형 조직 등 복잡한 형태의 박막을 제조하는 것이 가능하게 되었다. 현재, GLAD 기술과 다양한 형태의 나노 조직을 이용하여 각종 센서는 물론 태양전지와 같은 에너지 소자, 필터와 같은 광학코팅 등에 응용하기 위한 연구가 세계적으로 폭넓게 진행되고 있다. 본 연구에서는 조직의 치밀도 향상을 통한 특성 향상을 위해 Al 및 TiN 박막을 제조함에 있어서 경사코팅 기술을 응용하여 단층 및 다층 피막(각도를 반대로 하여 여러 층을 제조)을 제조하고 그 특성을 비교하였다. Al 박막은 UBM (Un-Balanced Magnetron) 스퍼터링 소스를 이용하여 타겟 표면과 기판 표면이 이루는 각도 즉, 입사빔과 기판이 이루는 각도를 각각 0, 30, 45, 60 및 90도의 각도에서 강판 및 실리콘 웨이퍼 상에 시편을 제조하되 단층 및 다층으로 시편을 제조하고 치밀도 및 내식성과 반사율 및 조도 등의 특성을 비교하였다. 그 결과 경사각으로 코팅한 시편에서 조도 및 반사율이 향상됨은 물론 치밀도 및 내식성이 향상됨을 확인하였다. 특히, 염수분무에 의한 내식성 시험에서 경사 코팅된 시편의 경우 내식성이 현저히 향상되었는데, 이는 경사 코팅 방법이 박막의 치밀도를 향상시켜 나타난 현상으로 판단된다. TiN 박막은 Cathodic Arc 방식을 이용하되 Al 박막과 동일한 방법으로 코팅을 하고 내식성 및 경도 등의 특성을 비교하였다. TiN 박막은 경사각이 커지면서 경도가 낮아지며 특히 다층막의 경우 경도 감소가 현저함을 알 수 있었다. 다만, 45도에서는 다른 경사각에 비해 약간의 경도 상승이 측정되었다. 경사각 코팅에서의 경도 감소는 피막의 경사에 의해 탐침이 미끄러지거나 또는 우선 방위에 의한 경도 증가 효과가 나타나지 않아 생기는 현상으로 판단되었다. Ferroxyl 시험을 이용한 기공도 시험에서는 경사각 코팅의 경우가 기공이 다소 감소함을 확인하였다.
Background: The prognosis of lung cancer remains poor and early detection and curative surgery is still the most effective treatment for many. In the early detection of lung cancer, sputum cytology and simple chest x-ray are used, but both of these tests are far from being perfect. So we studied the characteristics of patients diagnosed as lung cancer without demonstrable mass lesion on simple chest x-ray to help in the early diagnosis of lung cancer. Methods: We conducted a retrospective study on 11 subjects who were diagnosed as lung cancer at Seoul National University Hospital between August 1986 and June 1989 and had no demonstrable mass lesion on simple chest x-rays. Results: Ten of 11 patients were male, 8 had a history of smoking, most frequent symptoms were sputum, cough, and hemoptysis, and 3 patients either had wheezing or stridor. In 3 of the cases, although there were no mass lesion, there were ill-defined infiltration, major fissure thickening, and fibrostreaky density mimiking tuberculosis where the tumor was eventually found and in one patient tumor was masked by a rib shadow. Also in one case, lateral chest film demonstrated a retrocardiac mass. Both bronchoscopy and computed tomogram were useful in the localization of the tumor. Seven of 11 had relatively early disease (less than StageII). Four of 11 are still alive without any evidence of recurrence between 2 and a half and 4 years after the operation. Conclusion: We conclude that in patients with respiratory symtoms in whom cancer cannot be ruled out, sputum cytology and lateral chest x-rays should be taken and that if necessary further studies like computed tomogram and bronchoscopy should be done to aid in the early diagnosis of lung cancer.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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