Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Oblique and glancing angle deposition for the realization of perfect-like film

완전화 박막 구현을 위한 빗각 및 스침각 증착 기술

  • 정재인 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 양지훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 박혜선 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 정재훈 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부) ;
  • 송민아 (포항산업과학연구원 융합소재연구본부)
  • Published : 2013.05.30
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Abstract

진공증착으로 제조된 박막은 주상정 조직으로 성장하여 박막 내에 기공을 포함하는 것이 일반적이다. 박막의 조직변화를 통한 특성 향상은 박막을 치밀하게 제조하거나 자연 산화막 등과 같이 원하는 형상의 조직을 형성하는 것이며 이를 위해 완전화 박막이라는 개념이 등장하였다. 본 논문에서는 완전화 박막의 제조를 위한 빗각 및 스침각 증착 기술을 소개하고 금속 및 화합물 박막의 빗각 증착 사례를 소개하고자 한다.

Keywords