• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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• pp.191-194
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• 2004

Ferroelectric $Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ (PZT) 박막을 $Pt(111)/Ti/SiO_2/Si$ 기판위에 증착되었고, 수소 후열처리 후의 특성변화를 연구하였다. 동시에 10 nm의 $(Pb_{0.72}La_{0.28})Ti_{0.94}O_3$ (PLT) buffer를 사용한 PZT 박막의 수소 후열처리 효과를 관찰하였다. PZT 박막의 경우, 수소 후열처리 전과 후에 강유전 특성이 현저하게 감소한 반면, PLT buffer가 사용된 PZT 박막의 경우, 강유전 특성에 거의 변화가 없었다. 이는 PLT buffer를 사용함으로써 PZT 박막의 배향성이 향상되고, 이에 따라 forming gas에 의한 수소원자가 박막 내로의 침투가 어렵게 된다. 따라서 수소원자에 대한 PZT 박막의 열화되는 현상이 buffer를 사용하는 경우, 거의 나타나지 않게 된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.57-59
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• 2005

Ploycrystalline $Pb(Zr_{0.5},Ti_{0.5})O_3$ and $BaTiO_3$ powder were prepared by sol-gel process. The alumina substrate were sintered at $1400^{\circ}C$ with bottom electrode of Pt for 2 hours. The Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3 multilayered thick films with laminating times were fabricated on alumina substrate by screening printing method. The obtained thick films were sintered at $800^{\circ}C$ with upper electrode of Ag paste for 1 hour. Structural properties of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3 multilayered thick films were investigated. As a result of the Differential Thermal Analysis(DTA) of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3, exothermic peak was observed at around $650^{\circ}C$. The X-ray diffraction (XRD) patterns indicated that BaTi03 and Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 phases and porosities were formed in the interface of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3 multilayered thick films.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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• pp.30.1-30.1
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• 2009

PZT(Pb(Zr, Ti)$O_3$ 압전세라믹스는 뛰어난 압전 특성과 강유전 특성을 가지고 있어서 현재 널리 사용되고 있다. 하지만 PZT세라믹스는 큐리온도 이상에서 그 특성을 잃게 되고 높은 온도에서의 응용이 제한된다. 따라서 높은 큐리온도를 가지는 압전체를 개발하기 위한 연구가 많이 이루어지고 있다. $PbTiO_3$의 경우에는 $Bi(Zn_{0.5}Ti_{0.5})$, $BiFeO_3$등의 Bi계 세라믹스를 치환하면서 큐리온도가 올라가는 결과가 보고되고 있다. 하지만 이것은 PZT세라믹스 보다 압전 및 유전 특성이 상당히 낮다. 따라서 본 연구에서는 $(1-x)PbZrO_3-xPbTiO_3$조성에 Bi(Me)$O_3$(Me:Zn, Ti, Fe, Al)를 치환하여 압전특성 및 강유전 상전이 온도를 조사하였다. 모든 시편들은 고상반응법으로 제조하였고, 제조한 시편으로 조성에 따른 압전특성 및 유전특성의 변화를 측정하였다. 그리고 이를 통해 큐리온도는 PZT의 MPB조성근처에서 Bi계 세라믹의 치환은 $T_C$가 낮아 졌으나, Tetragonal 상을 가지고 있는 Ti-rich인 조성에서는 $T_C$가 높아지는 것을 관찰하였다.

• 한국입자에어로졸학회지
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• 제4권1호
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• pp.21-25
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• 2008

$Pb(Zr_{0.53}Ti_{0.47})O_3$ (PZT) was synthesized by a multiple wet dry process. Precipitates prepared from reaction between $ZrOCl_2{\cdot}8H_2O$ and $TiOCl_2$ and $NH_4OH$ in an aqueous solution was dried at $100^{\circ}C$, and calcined at $500^{\circ}C$ and $700^{\circ}C$. The mixture mixed with PbO and as-dried or calcined $Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_4$ (ZT) powders was calcined again at 700 and $800^{\circ}C$. Well crystallized ZT and PZT were formed at even $700^{\circ}C$. PZT piezoelectric ceramics of more than 98.5% in a relative density was obtained by sintering at as low as $900^{\circ}C$.

• 한국세라믹학회지
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• 제35권7호
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• pp.647-647
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• 1998

비대칭적인 전극 구조를 가지는 Pb(Zr,Ti)$O_3$(PZT) 박막의 비대칭적인 스위칭 특성을 연구하기 위해 Pulsed Laser Deposituin(PLD)방법으로 $LaAlO_3$ 기판 위에 (La,Sr)$CoO_3$/Pb(Zr,Ti)$O_3$/(La,Sr)$CoO_3$(LSCO) 다층구조를 성장시켰다. PZT 박막 캐시터의 전극이 모두 같은 조성일 때, 즉 $(La_0.5Sr_0.5)CoO_3$(LSCO)일 때 PZT 박막의 이력곡선은 대칭성을 보여주고 있다. 그러나 산화물 전극의 조성이 변할 때 PZT 박막 캐패시터는 비대칭성을 보여주고 있다. $LaCoO_3(LCO)$를 상층 전극, $La_0.5,Sr_0.5)CoO_3$(LSCO)를 하층 전극으로 사용하였을 때 이력 곡선은 음의 방향으로 분극된 상태가 불안정 하여 음의 잔류 분극의 완화 현상을 보여준다. 반면 상층 전극이 LSCO, 하층 전극이 LCO인 PZT 박막 캐패시터는 양의 방향의 분극 상태가 불안정하여 양의 잔류 분극이 완화현상을 보여준다. 이러한 이력 곡선의 완화 현상은 LCO/PZT 계면에서의 전자 밴드 구조의 변형에 의한 내부 전계의 형성 때문이라 생각할 수 있다. 내부 전계는 LCO/PZT와 LSCO/PZT 계면에서의 전자 밴드 구조의 변형에 의한 내부 전계의 형성 때문이라 생각할 수 있다.내부 전계는 LCO/PZT 계면에서의 인가된 전압 강하 차이에 의해 발생되며 전압 강하는 각각의 계면에서 0.6V와 -0.12V의 크기를 갖는다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.189-190
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• 2005

Ploycrystalline $Pb(Zr_{0.5},Ti_{0.5))O_3$ and $BaTiO_3$ powder were prepared by sol-gel process. The alumina substrate were sintered at $1400^{\circ}C$ with bottom electrode of Pt for 2 hours. The Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3 multilayered thick films with laminating times were fabricated on alumina substrate by screening printing method. The obtained thick films were sintered at $800^{\circ}C$ with upper electrode of Ag paste for 1 hour. Structural properties of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3 multilayered thick films were investigated. As a result of the Differential Thermal Analysis(DTA) of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3, exothermic peak was observed at around 650 $^{\circ}C$. The X-ray diffraction (XRD) patterns indicated that BaTiO3 and Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 phases and porosities were formed in the interface of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / BaTiO3multilayered thick films.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1960-1961
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• 2005

Ploycrystalline $Pb(Zr_{0.5},Ti_{0.5})O_3$ and $BaTiO_3$ powder were prepared by sol-gel process. The alumina substrate were sintered at $1400^{\circ}C$ with bottom electrode of Pt for 2 hours. The Pb(Zr0.5, Ti0.5)O3/BaTiO3 multilayered thick films with laminating times were fabricated on alumina substrate by screening printing method. The obtained thick films were sintered at $800^{\circ}C$ with upper electrode of Ag paste for 1 hour, Structural properties of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3/BaTiO3 multilayered thick films were investigated. As a result of the Differential Thermal Analysis(DTA) of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3, exothermic peak was observed at around $650^{\circ}C$. The X-ray diffraction (XRD) patterns indicated that BaTiO3 and Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 phases and porosities were formed in the interface of Pb(Zr0.5,Ti0.5)O3 / EaTiO3 multilayered thick films.

• 대한화학회지
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• 제46권3호
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• pp.242-251
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• 2002

졸-겔 형판 합성법을 이용하여 페로브스카이트 구조를 갖는 나노튜브를 합성하고 그 특성을 조사하였다. PbTiO3(PT), PbZrO3(PZ)와 PbZrO3-PbTiO3(PZT)고용체 나노튜부는 반응물, Ti(OPri)4, Zr(OBu)3와 Pb(OAc)2-3H2O 들의 킬레이트 졸-겔 합성법에 의해서 합성하였다. 산화 알루미늄 형판은 200nm의 직경을 갖는 훠트만 아노디스크가 사용되었다. 6.0M-NaOH 용액에서 형판을 제거한 다음, 주사현미경 분석에 의해서 50m 길이와 200nm 외곽 직경의 생성물 나노튜브를 확인할 수 있었다. 투과현미경 분석과 전자회절 분석에 의하여 나노튜브가 다결정임을 확인하였다. DSC 분석에 의하여 PT 나노튜브의 상전이 온도는 특이하게도 234.4$^{\circ}C$ 임이 확인되었으며, 이때의 입자크기는 X-선 분석의 하나인 Scherrer 식에 의해서 15.4nm 임이 계산되었다.

• 한국세라믹학회지
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• 제31권6호
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• pp.581-586
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• 1994

Effect of excess and deficiency of PbO on the sintering and electrical properties of tetragonal Pb(Zr0.5Ti0.5)O3 were investigated. Fired density revealed maximum value with 4 wt% of excess PbO, and decreased with increasing amount of both excess and deficient PbO. Grain size increased with excess PbO, and decreased with deficiency of PbO. It appeared that excess PbO forms a liquid phase to enhance grain growth and completely volatilizes after sintering, whereas ZrO2 particles formed in PbO-deficient PZT inhibit grain growth. The change in the values of the equivalent circuit elements of PZT corresponded well with thar of porosity formed by excess and deficiency of PbO; kp, Co and Cm decreased while Qm, Rm and Lm increased conosiderably with porosity. This change was more pronounced in PbO-deficient type probably due to change in Zr/Ti ratio of PZT.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2009년도 제40회 하계학술대회
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• pp.1240_1241
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• 2009

In this paper, sol-gel-spin coated $Pb(ZrTi)O_3$ thin film with $ZrO_2$ buffer-layer and $PbTiO_3$ seed-layer was investigated for vibration MEMS energy harvester to scavenge power from ambient vibration via d33 piezoelectric mode. Piezoelectric thin film deposition techniques on insulating layer is the important key for $d_{33}$ mode of piezoelectric vibration energy harvester. $ZrO_2$ buff-layer was utilized as an insulating layer. $PbTIO_3$ seed-layer was applied as an inter-layer between PZT and $ZrO_2$ layer to improve the crystalline of PZT thin film. The fabricated PZT thin film had a remanent polarization of 5.3uC/$cm^2$ and the coercive field of 60kV/cm. The fabricated energy harvester using PZT thin film with PTO seed-layer generated 1.1uW of electrical power to $2.2M{\Omega}$ of load with $4.4V_{pvp}$ from vibration of 0.39g at 528Hz.