• 제목/요약/키워드: Pb(Zr,Ti)$O_3$

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Pb[(Sb1/2 Nb1/2)0.08 Zr0.49 Ti0.48]O3에서의 MnO2 첨가에 따른 미세구조와 전기적 물성변화에 대한 연구 (The Microstructure and Electrical Properties in the Pb(Sb1/2 Nb1/2)O3-PbTiO3-PbZrO3 System with MnO2 Addition)

  • 강원호;박원규;김호기
    • 한국세라믹학회지
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    • 제24권6호
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    • pp.537-542
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    • 1987
  • The microstructure and electrical properties of Pb[(Sb1/2 Nb1/2)0.08 Zr0.49 Ti0.48]O3 with MnO2 addition have been investigated in this work. The amount of MnO2 addition was 0, 0.4, 0.8, 1.2, 2.0 wt%, respectively. The soild solution range of MnO2 that assumed in this composition according to thevariations of micro-structure and electrical properties was 0.4-0.8 wt%.

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$Fe_2O_3$가 첨가된 $Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ - $PbTiO_3$ - $PbZrO_3$ 세라믹의 바이몰프 액츄에이터를 이용한 에너지 하베스팅 (Energy Harvesting from the Bimorph Actuator using $Fe_2O_3$ Added $Pb(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3$ - $PbTiO_3$ - $PbZrO_3$ Ceramics)

  • 징영훈;김창일;이영진;백종후
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.330-330
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    • 2008
  • $Fe_2O_3$ added Pb$(Ni_{1/3}Nb_{2/3})O_3-PbTiO_3-PbZrO_3 $ (PNN-PT-PZ) ceramics were produced in order to use them as a bimoph acturator for energy harvesting. Especially, the 0.25 wt% $Fe_2O_3$ added 0.4PNN-0.357PT-0.243PZ, having the composition of morphotropic phase boundary, showed good piezoelectric properties of $d_{33}$ of 810 pC/N, $k_p$ of 77% and $Q_m$ of 55 along with a high Curie temperature of $210^{\circ}C$. A bimorph actuator, composed of the two piezoelectric layers bonded together with a phosphorous bronze layer as a central metallic electrode, was successfully fabricated. The bimorph actuator, vibrated with a 1.3 mm amplitude at 68 Hz, produced high electric power of approximately 60 mW.

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R.F. Magnetron Sputtering으로 다양한 Interlayer 층위에 형성시킨 PZT 박막의 미세구조와 강유전 특성 (Microstructure and Ferroelectric Properties of PZT Thin Films Deposited on various Interlayers by R.F. Magnetron Sputtering)

  • 박철호;최덕영;손영국
    • 한국세라믹학회지
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    • 제39권8호
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    • pp.742-749
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    • 2002
  • R. F. magnetron sputtering법을 이용하여 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판 위에 $Pb_{1.1}Zr_{0.53}Ti_{0.47}O_3$ target을 사용하여 박막을 제조하였다. Interlayer(PbO, $TiO_2$, PbO/$TiO_2$)층을 삽입함으로써 박막의 결정성을 향상시켰고, 박막의 기판온도도 상당히 낮출 수 있었다. 순수한 PZT에 비하여 interlayer를 삽입한 PZT는 높은 유전상수과 낮은 유전손실 및 높은 누설전류를 가지는 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이러한 PZT 박막과 interlayer 층은 증착온도에서 서로 반응하여 하나의 고용체를 이루지 않고, 각각 독립적인 층으로 존재함을 XPS 분석을 통해 확인하였다. 여러 interlayer중 특히 PbO/$TiO_2$는 우수한 유전특성(${\varepsilon}_r$=414.94, tan${\delta}$=0.0241, Pr=22${\mu}C/cm^2$)을 나타내었고 가장 효과적인 seed로써의 역할을 하였다.

$\textrm{LaCoO}_{3}/\textrm{Pb(Zr,Ti)O}_{3}/\textrm{(La,Sr)CoO}_{3}$다층구조에서의 강유전체 전계효과에 의한 LaCoO$_{3}$의 전항변조 (Resistance Modulation of $\textrm{LaCoO}_{3}$ by Ferroelectric Field Effect in $\textrm{LaCoO}_{3}/\textrm{Pb(Zr,Ti)O}_{3}/\textrm{(La,Sr)CoO}_{3}$ Heterostructures)

  • 김선웅;이재찬
    • 한국재료학회지
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    • 제7권12호
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    • pp.1058-1062
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    • 1997
  • 강유전체 전계효과를 관찰하기 위해 LaCoO$_{3}$/Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(La, Sr)CoO$_{3}$ 다층구조를 LcOo$_{3}$가 기판 위에 pulsed laser deposition(PLD)법으로 에피택셜하게 성장시켰다. 이러한 다층구조에서는 전도성 채널층으로 Si대신 반도성 LaCoO$_{3}$가 사용 되었다. LaCoO$_{3}$(LCO)의 비저항은 산소 분위기에 의하여 변화되었는데 특히 증착시 산소 분위기에 의존함을 보였다. LCO의 비저항은 0.1-100Ωcm범위에서 변화되었다. LCO층에 유도되는 강유전체 전계효과는 Pb(Zr, Ti)O$_{3}$(PZT)의 분극 상태에 따른 LCO의 저항 변화를 측정함으로써 관찰되었는데 1020$\AA$ 두께를 가진 LCO층에서는 4%의 저항 변화를 얻었으며 680$\AA$의 LCO에서는 9%의 증가된 저항 변화를 얻었다. DC 바이어스(-5V)를 가한 후에는 저항 변화가 45%까지 증가하였다. 이러한 결과는 적당한 비저항을 갖는 LCO를 사용한 LCO/PZT/LSCO다층구조가 강유전체 전계효과 트랜지스터로 사용될 수 있다는 가능성을 제시하고 있다.

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$Pb(Sb_{1/2}Nb_{1/2})O_3-PbTiO_3-PbZrO_3$ 세라믹스에서의 유전 및 압전 특성 (Dielectric and Piezoelectric Properties of $Pb(Sb_{1/2}Nb_{1/2})O_3-PbTiO_3-PbZrO_3$ Ceramics)

  • 차유정;김창일;정영훈;이영진;백종후
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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    • pp.310-310
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    • 2008
  • 본 연구에서는 (1-x) Pb(Zr0.515Ti0.485)$O_3$ - x Pb$(Sb_{1/2}Nb_{1/2})O_3$ + 0.5wt% $MnO_2$ 조성에 Pb$(Sb_{1/2}Nb_{1/2})O_3$ (PSN) (x=0.02, 0.04, 0.06, 0.08) 변화에 따른 미세구조 및 압전, 유전특성에 관해 고찰하였다. PSN 치환량이 증가함에 따라 정방정 (tetragonal)구조에서 삼방정(rhombohedral)구조로 상전이가 일어났으며, 결정립의 크기가 작아지는 것을 확인하였다. 전기기계결합계수 (kp) 는 PSN이 4 mol % 치환됨에 따라 증가하였으며, 더 이상 치환 시 감소하였다. PSN 치환에 따른 전기적 특성은, 결정구조, 결정립의 크기 및 2 차상 등의 미세구조와 긴밀한 관계가 있는 것으로 보여진다. 상경계(Morphotropic Phase Boundary) 영역인 0.96 Pb(Zr0.515Ti0.485)$O_3$ - 0.04 Pb$(Sb_{1/2}Nb_{1/2})O_3$ + 0.5wt% $MnO_2$ 조성에서 $\varepsilon{^T}_{33}/\varepsilon_o$ = 1109, $k_p$= 70.8 (%), $d_{33}$= 325 (pC/N)의 우수한 특성을 나타내었다.

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$0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$계를 이용한 세라믹 필터 특성 (Characteristics of the Ceramic Filter Using $0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48}O_3$Ceramic System)

  • 김남진;윤석진;유광수;김현재;정형진
    • 한국결정성장학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.71-76
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    • 1992
  • $0.05Pb(Al_{2/3}W_{1/3})O_3-0.95Pb(Zr_{0.52}Ti0.48)O_3$를 기본 조성으로 $MnO_2,Fe_2O_3$를 첨가제로 하여 사진식각법(Photolithography)을 이용 세라믹 필터를 제작하였다. $MnO_2$의 첨가량이 증가함에 따라 전기 기계 결합 계수(Kp)가 낮아지며, $Fe_2O_3$의 경우 Kp값은 57% 정도로 우수하나 기계적 품질 계수(Qm)는 $MnO_2$첨가의 경우에 비해 상대적으로 낮은 값을 보여주고 있다. $MnO_2$0.3wt% 첨가의 경우 3dB 대역폭은 155kHz, $ Fe_2O_3$0.1wt%인 경우 260kHz로써 Qmr값이 크기에 반비례하였으며, 군지연시간 특성은 $MnO_2$의 경우 Gaussian 특성을,$Fe_2O_3$의 경우 Butterworth 특성을 나타내었다.

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