A Study on the basic process for fabrication of high aspect ratio micro structure using partial viscous extension of photoresist (광경화성 수지의 국부적 점성 신장을 이용한 고세장비 마이크로 구조물 제작에 관한 기초공정 연구)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2011.06a
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- pp.645-646
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- 2011