Vibration Characteristics Analysis of Ultrasonic Levitation System according to the Disk-Type Stator (디스크형 스테이터 형상에 따른 초음파 부상장치의 진동특성 해석)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2005.06a
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- pp.1527-1530
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- 2005