• Title/Summary/Keyword: PR 성능향상

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Photoresist strip 성능 향상을 위한 플라즈마 약액 활성화 방법 연구

  • Kim, Su-In;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.242-242
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    • 2008
  • 반도체 공정에서 일정한 패턴을 만들기 위하여 Photoresist (PR)를 이용한 식각 공정을 사용하게 된다. 이러한 식각 공정은 반도체 직접도가 증가되면서 더욱 많은 단계의 공정을 요구하게 되었다. 그러나 식각 공정의 증가는 반도체 소자 생산을 위한 더 많은 시간과 비용을 요구하게 된다. 이를 해결하기 위하여 Photoresist를 사용하지 않은 공정으로 공정 단계를 간소화하기 위한 연구를 진행하고 있지만 아직 명확한 대한은 없다. 본 연구에서 는 PR의 strip 시간을 최대한 단축시키고 PR strip 잔여물의 빠른 제거를 위하여 기존 공정에서 사용 중인 strip 약 액을 플라즈마에 의하여 활성화하는 방법으로 PR strip 시간을 최대한 줄이는 방법에 대한 연구를 진행하였으며, 활성화된 strip용액이 더욱 빠른 strip율을 나타내는 것을 확인하였다. 또한 약액 활성화 방법으로 활성화된 strip 용액으로 PR을 일부 제거한 후 PR 표면의 물리적 특성 변화를 분석하여 약액 활성화된 strip 용액으로 인한 PR의 특성을 물리적 방법으로 접근하여 연구를 진행하였다.

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An Extended R-Tree Indexing Method using Prefetching in Main Memory (메인 메모리에서 선반입을 사용한 확장된 R-Tree 색인 기법)

  • Kang, Hong-Koo;Kim, Dong-O;Hong, Dong-Sook;Han, Ki-Joon
    • Journal of Korea Spatial Information System Society
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    • v.6 no.1 s.11
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    • pp.19-29
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    • 2004
  • Recently, studies have been performed to improve the cache performance of the R-Tree in main memory. A general mothed to improve the cache performance of the R-Tree is to reduce size of an entry so that a node can store more entries and fanout of it can increase. However, this method generally requites additional process to reduce information of entries and do not support incremental updates. In addition, the cache miss always occurs on moving between a parent node and a child node. To solve these problems efficiently, this paper proposes and evaluates the PR-Tree that is an extended R-Tree indexing method using prefetching in main memory. The PR-Tree can produce a wider node to optimize prefetching without additional modifications on the R-Tree. Moreover, the PR-Tree reduces cache miss rates that occur in moving between a parent node and a child node. In our simulation, the search performance, the update performance, and the node split performance of the PR-Tree improve up to 38%. 30%, and 67% respectively, compared with the original R-Tree.

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PR-Tree: An Extended R-Tree Indexing Method using Prefetching in Main Memory (PR-Tree: 메인 메모리에서 선반입을 적용한 확장된 R-tree 색인 기법)

  • Kang, Hong-Koo;Kim, Dong-O;Hong, Dong-Sook;Han, Ki-Joon
    • 한국공간정보시스템학회:학술대회논문집
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    • 2003.11a
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    • pp.123-128
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    • 2003
  • 최근 프로세서와 메인 메모리간의 속도 차이가 커지면서 캐시 실패가 메인 메모리에서 동작하는 R-Tree의 성능 저하에 미치는 영향이 커짐에 따라 캐시 실패를 줄여 캐시 성능을 개선하려는 연구가 많이 진행되고 있다. 일반적인 캐시 성능 개선 방법은 엔트리 정보를 줄설 노드에 더 않은 엔트리를 저장함으로써 펜-아웃(fanout)을 증가시키고 캐시 실패를 최소화한다. 그러나 이러한 방법은 엔트리 정보를 줄이는 추가 연산으로 인해 갱신 성능이 떨어지고, 노드간 이동시 발생하는 캐시 실패는 여전히 해결하지 못하고 있다. 본 논문은 이를 해결하기 위해 선반입(prefetching)을 적용한 확장된 R-Tree인 PR-tree(Prefetching R-Tree)를 제안하고 평가하였다 PR-Tree는 펜-아웃을 증가시키고 트리의 높이를 낮추기 위해 실제 캐시 라인의 정수 배인 노드를 생성하고, 선반입을 적용하여 노드 캐시로 인한 메모리 지연을 최소화하였다. 또한 접근할 노드를 선반입하여 노드간 이동시 발생하는 캐시 실패도 최소화하였다. PR-Tree는 실험에서 R-Tree보다 검색 연산에서 최대 38%의 성능 향상을 보였으며, 갱신 연산에서도 최대 30%의 성능 향상을 보였다.

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Prefetch R-tree: A Disk and Cache Optimized Multidimensional Index Structure (Prefetch R-tree: 디스크와 CPU 캐시에 최적화된 다차원 색인 구조)

  • Park Myung-Sun
    • The KIPS Transactions:PartD
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    • v.13D no.4 s.107
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    • pp.463-476
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    • 2006
  • R-trees have been traditionally optimized for the I/O performance with the disk page as the tree node. Recently, researchers have proposed cache-conscious variations of R-trees optimized for the CPU cache performance in main memory environments, where the node size is several cache lines wide and more entries are packed in a node by compressing MBR keys. However, because there is a big difference between the node sizes of two types of R-trees, disk-optimized R-trees show poor cache performance while cache-optimized R-trees exhibit poor disk performance. In this paper, we propose a cache and disk optimized R-tree, called the PR-tree (Prefetching R-tree). For the cache performance, the node size of the PR-tree is wider than a cache line, and the prefetch instruction is used to reduce the number of cache misses. For the I/O performance, the nodes of the PR-tree are fitted into one disk page. We represent the detailed analysis of cache misses for range queries, and enumerate all the reasonable in-page leaf and nonleaf node sizes, and heights of in-page trees to figure out tree parameters for best cache and I/O performance. The PR-tree that we propose achieves better cache performance than the disk-optimized R-tree: a factor of 3.5-15.1 improvement for one-by-one insertions, 6.5-15.1 improvement for deletions, 1.3-1.9 improvement for range queries, and 2.7-9.7 improvement for k-nearest neighbor queries. All experimental results do not show notable declines of the I/O performance.

Improvement of PR Stripper Efficient and Change of Surface Hardness for HDI-PR Used by PLVA Method (PLVA 방법을 활용한 PR Stripper의 성능 향상과 HDI-PR 표면의 내력 변화 연구)

  • Kim, Soo-In;Lee, Chang-Woo
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.6
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    • pp.544-548
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    • 2008
  • At the semiconductor industry, Photoresist(PR) strip progress has high cost and time consuming process. Accordingly, many research group have been focused on the shortening of the PR strip progress. But the replacements of newly developed materials rather than normally used strip have accompanied by cost consumption. Therefore, we suggested the Plasma Liquid-Vapor Activation (PLVA) method of general PR strip solution for saving the PR strip time and the high strip rate of PR residue. The PLVA method was very effective for PR strip progress. Also, the ion damaged PR(high dose implanted photoresist: HDI-PR) was almost impossible to strip. However, it was very difficult to characterize the change of chemical composition of HDI-PR between with and without PLVA method. Thus, physical properties of HDI-PR surface with and without PLVA method were measured by using the nano-indenter system.

Study of The Performance Analysis of a Solar Power Utility with 1.3MW (1.3MW급 태양광 발전소 성능 분석에 관한 연구)

  • Park, Jaegyun;Yun, Jungnam;Lee, Somi;Yun, Kyungshick
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.06a
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    • pp.71.1-71.1
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    • 2010
  • 본 연구는 1.3 MW급 태양광 발전소에서 기온 및 일사량에 따른 발전성능이 유지 보수 및 사후관리에 따라 성능이 향상될 수 있음을 실측자료를 통해 입증하는데 목적이 있다. 실측자료는 2008년 5월 전북 부안에 설치된 태양광 발전소에서 측정된 기온 및 일사량에 따른 발전량을 이용하였으며, 측정기간은 2009년 1월~2009년 12월까지 1년간 모니터링을 한 데이터를 기반으로 분석하였고, 발전소 성능 지표인 PR(Performance Ratio)을 계산하여 자료로 활용하였다. 또한, 실측자료는 PVSYST를 이용하여 실측자료와 동일한 조건에서 예측된 시뮬레이션 발전량 및 PR값과 비교 분석하였다. 실측자료와 해석결과의 비교에서 월단위로 측정된 실측 발전량과 예측 발전량은 유사한 경향을 나타냈으며, 실측 발전량은 예측 발전량 대비 약 5% 낮게 나타났다. 또한, 실측 PR값은 예측 PR값보다 약 4.97% 높게 나타났는데, 이는 해석을 위해 적용되는 일사량(기상청)과 실측 일사량이 다르고, Team Function 방식으로 구동되는 인버터와 시뮬레이션에서의 인버터 구동방식의 차이 때문인 것으로 판단된다. 한편, 일조량의 증가에 따른 1.3MW급 태양광 발전소의 발전량은 비례적으로 증가하는 경향을 나타냈으며, 7월의 경우 기후특성으로 인하여 국부적으로 감소하는 특성을 나타낸다.

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Enhanced Parallel R-tree on a Parallel I/O System Based on Striping (스트라이핑 기반 병렬 입출력 시스템에서의 Enhanced Parallel R-tree)

  • 이춘근;김정원;정기동
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 1998.10b
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    • pp.117-119
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    • 1998
  • 대용량의 데이터를 다루는 지리정보 시스템은 I/O가 시스템의 병목현상을 발생시킨다. 따라서, I/O의 병렬화로 GIS의 데이터 요구를 만족시키려는 연구가 이루어져 왔다. PR(Parallel R-tree)[1]도 이러한 연구에 속한다. 한편, 지리 정보 시스템의 질의는 영역질의가 대부분이다. 영역질의는 특성상 인접한 객체들의 동시에 요구한다. 그러므로, 인접한 데이터를 물리적으로 인접하게 배치하면 I/O의 성능이 향상된다. 본 논문에서는 인접한 객체를 물리적으로 인접한 위치에 저장하는 방식인 EPR(Enhanced PR)기법과 단말노드 구조를 제안하고 그 성능을 평가하였다.

PR Focus-빠르게 변화하는 그래픽카드시장

  • Korea Venture Business Association
    • Venture DIGEST
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    • s.63
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    • pp.7-7
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    • 2004
  • 그래픽카드 업계가 양분되고 있다. 칩셋업계의 양대 산맥인 ATI와 NVIDIA로의 양분이 아니다. 기존 AGP 방식으로 성능향상에 역점을 두는 업체와 차세대 인터페이스로 떠오르고 있는 PCI 익스프레스 방식으로 발빠르게 전환하는 업체로의 양분이다. 게임∙영화 등 동영상 콘텐츠가 증가하면서 그래픽카드의 비중이 커지고 있고 성능 역시 나날이 진보를 거듭하고 있다.

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The Implementation Performance Evaluation of PR-File Based on Circular ar Domain (순환도메인을 기반으로 하는 PR-화일의 구현 및 성능 평가)

  • Kim, Hong-Ki;Hwang, Bu-Hyun
    • The Transactions of the Korea Information Processing Society
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    • v.3 no.1
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    • pp.63-76
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    • 1996
  • In this paper, we propose a new dynamic spatial index structure, called PR -file, for handling spatial objects and the modified hierarchical variance which measures the degree of spatial locality at each level. Under the assumption that a multidimensional search space has a circular domain, PR-file uses the modified hierarchical variance for clustering spatially adjacent objects. The insertion and splitting algorithms of PR_file preserve and index which has a low hierarchical variance regardless of object distributions. The simulation result shows that PR- file has a high hit ratio during a retrieval of objects by using an index with low hierarchical variance. And it shows a characteristic that the larger the bucket capacity, the higher the bucket utilization.

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