스크린 인쇄법 및 PZT sol 처리의 복합공정을 적용하여 $30{\mu}m$ 두께의 PMW-PZT 후막을 Pt/$TiO_2$/$SiN_x$Si 기판위에 제작하였다. 그 결과 PZT sol 처리 횟수가 증가함에 따라 후막의 소결 밀도가 증가하고 전기적, 압전 특성의 증진되는 것을 관찰할 수 있었다. $800^{\circ}C$에서 소결한 10회 sol 처리한 PMW-PZT 후막은 745의 유전상수 및 155 pC/N의 $d_33$ 값을 나타내었다.
In this study, in order to develop low temperature sintering piezoelectric ceramics for LTCC (Low-Temperature Cofired Ceramic) multilayer piezoelectric actuator, PMW-PMN-PZT ceramics using $0.2wt%\; Li_2CO_3$ and $0.25wt%\;CaCO_3$ as sintering aids were investigated according to the varation of PMW substution. Composition ceramics could be sintered at $900^{\circ}C$ by adding sintering aids. As the amount of PMW substitution increased, the crystal structure of PMW-PMN-PZT ceramics moved from tetragonal phase to rhombohedral phase gradually, and MPB(Morphotrophic Phase Boundary) region appeared at 2 mol% PMW substitution. At the sintering temperature of $900^{\circ}C$, the density, electromechanical coupling factor(kp), mechanical quality factor(Qm), dielectric constant(${\epsilon}r$), piezoelectric constant(d33) and Curie temperature(Tc) of 2 mol% PMW substituted PMW-PMN-PZT ceramics showed the optimal values of $7.88g/cm^3$, 0.58, 1002, 1264, 352 pC/N and $336^{\circ}C$, respectively, for LTCC multilayer piezoelectric actuator application.
In this study, in order to develop low temperature sintering piezoelectric actuator, $Pb_{0.985}Bi_{0.01}(Mg_{1/2}W_{1/2})_{0.03}(Ni_{1/3}Nb_{2/3})_{0.13}(Zr_{0.50},Ti_{0.50})_{0.84}$ (PMW-PNN-PZT) ceramic systems were fabricated using $CaCO_3-Li_2CO_3$, sintering aid through a post-annealing process. The sinterability of PMW-PNN-PZT ceranics was remarkably enhanced by liquid phase sintering of $CaCO_3$ and $Li_2CO_3$. But, it was confimed form the X-ray diffraction pattern that the secondary phase along grain boundaries, deteriorated the piezoelectric properties. The secondary phase along grain boundaries was significantly removed by annealing after sintering. The 0.2wt% $Li_2CO_3$-0.25wt% $CaCO_3$-added PMW-PNN-PZT ceramics post-annealed at 900$^{\circ}C$ for 90min exhibited the excellent electromechanical coupling factor($k_p$) of 63.3% and piezoelectric constant($d_{33}$) of 452pC/N, respectively, for multilayer piezoelectricactuatorapplication.
In this study, in order to develop the composition ceramics for ultrasonic sensor with high $d_{33}*g_{33}$, $Pb_{1-3x/2}Bix(Mg_{1/2}W_{1/2})_{0.03}(Ni_{1/3}Nb_{2/3})_{0.09}(Zr_{0.5}Ti_{0.5})_{0.88}O_3$(PMW-PNN-PZT) system ceramics were prepared using CuO as sintering aids. And then, their microstructure, piezoelectric and dielectric characteristics were systemetically investigated with bismuth substitution. The PMW-PNN-PZT ceramic specimens could be sintered at sintering temperature of $940^{\circ}C$ by adding sintering aids. At x=0.015 specimen, the density, electromechanical coupling factor($k_p$), dielectric constant, piezoelectric constant($d_{33}$) and piezoelectric figure of merit($d_{33}*g_{33}$) indicated the optimal properties of $7.90g/cm^3$, 0.67, 2,511, 628 pC/N, and $17.7pm^2/N$, respectively, for duplex ultrasonic sensor application.
In this study, $(1-x)Pb(Mg_{1/2}W_{1/2})_{0.03}(Ni_{1/3}Nb_{2/3})_{0.09}(Zr_{0.5}Ti_{0.5})_{0.88}O_3+xCeMnO_3$ (x= 0~0.02) ceramics were prepared by Columbite precursor method. The phase structure, ferroelectric and piezoelectric properties were systematically investigated. It was found that PMW-PNN-PZT possessed superior electrical properties due to its composition close to the MPB (morphotropic phase boundary). Coercive electric field of 10.05 [kV/cm] and density of 7.88 [$g/cm^3$] were obtained when the substitution amount of $CeMnO_3$ is x=0.02. In contrast, specimens with x=0.01 showed the mechanical quality factor($Q_m$) of 1,091 and the electromechanical coupling factor($k_p$) of 0.613.
In this paper, in order to develop low temperature sintering piezoelectric ceramics for piezoelectric transformer, PMW-PMN-PZT ceramics using 0.25wt%$CaCO_3$ and 0.2wt%$Li_2CO_3$ as sintering aids were fabricated according to the variation of amount of PMW and Zr/Ti ratio. Specimens could be sintered at 900$^{\circ}C$ by adding sintering aids. As Zr/Ti ratio was increased, kp was increased and Qm was decreased by approaching MPB region, and kp showed the largest value of 0.58 at Zr/Ti:50/50. The variation of amount of PMN substitution affected the liquid phase sintering of the ceramics using sintering aids, and decreased piezoelectric properties.
In this paper, effect of MnO$_2$ addition(0, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5wt%) on the microstructure, dielectric and piezoelectric properties of [xPMW - (0.15-x) PNN] - [yPT-(0.85-y)PZ] (x=0, 0.01, 0.02, 0.03, 0.05, y = 0.35, 0.40, ().425, 0.45, 0.5) were investigated. When Ti/Zr ratio was 1.0, dielectric and piezoelectric properties were highest value. With PMW 2mol%, dielectric constant, dielectric constant (d$\_$33/, d$\_$31/) and electromechanical coupling factor (kp, k$\_$31/) were highest values of 1995, 479, 186(x10$\^$-12/C/N), 0.61, 0.36, respectively. With the addition of MnO$_2$, dielectric constant, electromechanical coupling factor (kp, k$\_$31/) were decreased, but with 0.3wt% MnO$_2$, eletromechanical coupling factor was highest value of 0.63. With the addition of MnO$_2$, mechanical quality(Q$\_$m/ was increased.
In this study, in order to develop low temperature sintering piezoelectric actuator, $Pb(Mg_{1/2}W_{1/2})_{0.03}(Ni_{1/3}Nb_{2/3})_x(Zr_{0.50},Ti_{0.50})_{1-x-0.03}$ (PMW-PNN-PZT) ceramic systems were fabricated using $CaCO_3-Li_2CO_3$ sintering aid and their dielectric and piezoelectric properties were investigated with the variation of PNN substitution. The piezoelectric actuator requires high piezoelectric constant $d_{33}$ and high electromechanical coupling factor kp. At the PMW-PNN-PZT ceramics with 9mol% PNN substitution sintered at $900^{\circ}C$, the density, electromechanical coupling factor kp, dielectric constant, piezoelectric constant $d_{33}$ and mechanical quality factor Qm showed the excellent values of 7.86 [$g/cm^3$], 0.584, 1881, 485 [pC/N] and 76, respectively for piezoelectric actuator application.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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