• 한국정밀공학회지
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• 제18권6호
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• pp.159-165
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• 2001

Recently Moire and PMP(Phase Measuring Profilometry) are adopted as a practical methodology for non-contact 3-D measurement of free surface. These methods extract the 3-D informations from the images of the object projected with stripe-pattern light. This paper presents a simple projector generating stripe-pattern light using expensive polygon mirror. In this projector, slit-beam is generated with a Laser diode and a rod lens and the laser diode is switched on/off synchronizing with the rotation of the polygon mirror. So its structure is very simple and light-weighted compared to the existent projection methods using several lenses and it is also easy to change the pitch and the phase of the stripe pattern. Experimental results show that the intensity profile of the stripe pattern can be approximated with sinusoidal curve by reducing the pitch of the stripe pattern.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제17권1호
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• pp.684-692
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• 2016

LQFP/TQFP(Low-profile Quad Flat Package/Thin Quad Flat Package) 패키지 공정에서는 높은 수준의 품질 관리를 위해 3차원 형상 측정 방법을 도입하고 있어 본 연구에서는 최종 외관 불량 검사를 위하여 projection moire 방식의 3D 영상 검사를 위한 광학 시스템과 영상처리 알고리즘을 개발하였다. LQFP/TQFP칩에서 발생하는 불량들은 2D 불량항목과 3D 불량 항목으로 구분하여 불량 항목을 상세히 정의하였다. 광학계를 설계함에 있어서 2D 측정 광학계는 돔 조명을 사용하여 일정한 광분포도를 갖도록 설계하고, 3D 측정 광학계는 PZT를 이용하여 모아레 패턴이 90도씩 정확한 위상을 갖도록 이송을 위한 기구적 메커니즘을 설계한다. 물체의 모아레 측정시 위상 변화에서 나타나는 $2{\pi}$ 모호성을 해결하기 위해 측정된 모아레 무늬를 비교하여 $2{\pi}$ 위상의 모호성이 발생하는 부분에서 수정된 다른 위상을 참고하는 알고리즘을 적용하였다. 개발된 검사 시스템은 LQFP/TQFP 외관 검사 공정에 적용하였으며, 실험에서 최대 높이의 측정 오차는 $1.34{\mu}m$ 이내로, 3차원 외관형상 불량 검사 조건을 만족할 만한 성능을 보였다.