Highly Sensitive MEMS-Type Micro Sensor for Hydrogen Gas Detection by Modifying the Surface Morphology of Pd Catalytic Metal (Pd 촉매금속의 표면형상 변형에 의한 고감도 MEMS 형 마이크로 수소가스 센서 제조공정)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.24 no.10
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- pp.532-537
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- 2014