A comparative investigation of pH-sensing properties of LPCVD $Si_3N_4$ sensors configured in three different structures
(세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD $Si_3N_4$ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2004.07c
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- pp.1694-1696
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- 2004